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用电子束光刻术制造矩形孔菲涅尔微透镜阵列
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作者 Teruhiro Shiono Kentaro Sotsune +2 位作者 Osamu YamaZaki Kiyotaka Wasa 陆锡南 《应用光学》 CAS CSCD 1991年第4期54-58,共5页
本文提出一种矩形孔菲涅尔微透镜阵列。这些微透镜阵列的制作采用了专为制造微光学元件而研制的电子束写入系统。实验表明,这种透镜阵列具有聚焦均匀的特性,以及每一透镜具有衍射限聚焦特性,其效率为74％。
关键词 电子束光刻术 菲涅尔 微透镜 列阵
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