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SEM扫描云纹法的相移技术研究
被引量：
2
1
作者
尚海霞
谢惠民
+1 位作者
戴福隆
王习术
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期5-7,共3页
提出一种扫描电镜(SEM)扫描云纹法的相移新技术,通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动,对获取的云纹图像实现0-2π范围内的四步相移,从而获得了更高的位移测量灵敏度。同时对SEM扫描云纹法的测量原理以及相移实验技术的原理进行了详细...
提出一种扫描电镜(SEM)扫描云纹法的相移新技术,通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动,对获取的云纹图像实现0-2π范围内的四步相移,从而获得了更高的位移测量灵敏度。同时对SEM扫描云纹法的测量原理以及相移实验技术的原理进行了详细的阐述。并将该技术应用到电子封装试件栅的相移分析中。实验结果证明了该方法的可行性,该方法为微米云纹法的条纹处理提供了一种新途径。
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关键词
SEM
扫描
云纹
法
电子束
云纹
相移技术
全息光栅
原文传递
高分辨率电镜微米云纹法及其应用
2
作者
谢惠民
戴福隆
+6 位作者
李标
吕云光
Chai
Gin
Boay
A
Asundi
《实验力学》
CSCD
北大核心
2002年第z1期245-257,共13页
文中就云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法,聚焦离子束云纹测量微区变形的原理和适用性进行了讨论.应用1200线/毫米的云纹光栅并结合云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法测量QFP和BGA型电子封装组...
文中就云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法,聚焦离子束云纹测量微区变形的原理和适用性进行了讨论.应用1200线/毫米的云纹光栅并结合云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法测量QFP和BGA型电子封装组件的热变形.提出一种新型聚焦离子束云纹法,在MEMS结构上制栅形成FIB扫描云纹,成功的实验结果表明这种方法的可行性.
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关键词
云纹
干涉法
电子束
云纹
原子力
云纹
SEM扫描
云纹
聚焦离子
束
云纹
全息光栅
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职称材料
SEM环境下纤维推出技术结合电子束云纹技术表征复合材料界面细观力学性能
被引量：
4
3
作者
郎风超
朱静
+4 位作者
李云芳
潘俊臣
姜爱峰
杨诗婷
邢永明
《复合材料学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期1383-1389,共7页
纤维推出技术是研究复合材料界面细观力学性能的常用方法。本文将该方法在SEM环境下与电子束云纹技术相结合开发一套基于SEM环境下的纤维推出实验系统。利用该系统测试了SiC/Ti-15-3复合材料的界面剪切强度、摩擦应力、摩擦系数及残余...
纤维推出技术是研究复合材料界面细观力学性能的常用方法。本文将该方法在SEM环境下与电子束云纹技术相结合开发一套基于SEM环境下的纤维推出实验系统。利用该系统测试了SiC/Ti-15-3复合材料的界面剪切强度、摩擦应力、摩擦系数及残余应力分布等细观力学性能。结果表明:对于厚度为500μm的SiC/Ti-15-3复合材料界面剪切强度为35 MPa,摩擦应力为32.8 MPa,纤维与界面间的摩擦系数为0.082,径向残余应力为-400 MPa。该系统在SEM环境可以实现直径为几微米的纤维推出,扩展了纤维推出技术的应用范围,提高了纤维推出过程的对准精度,减小了测量误差。并且与电子束云纹技术相结合,实时测量纤维推出后界面残余应力分布情况,为复合材料界面的设计、评估及优化提供必要的实验方法。
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关键词
复合材料
扫描
电子
显微镜
纤维推出技术
电子束
云纹
技术
细观力学性能
原文传递
电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术
被引量：
3
4
作者
谢惠民
戴福隆
+1 位作者
岸本哲
张维
《光学技术》
CAS
CSCD
2000年第6期526-528,共3页
本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围...
本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围更大。在本研究中 ,运用电子束刻蚀法并结合真空镀膜技术制作出 0 .1μm间距 ( 10 0 0 0线 /mm光栅 )的电子束云纹光栅。应用所制作的 10 μm/1μm双频光栅与相对应的电子束参考栅干涉 ,分别得到对应的电子束云纹场。文中对制栅工艺及方法进行了详细的讨论。
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关键词
电子束
刻蚀法
变形测量
电子束
云纹
光栅
原文传递
镶嵌粒子周围应变场的实验和数值模拟研究
被引量：
1
5
作者
杨诗婷
邢永明
+2 位作者
姜爱峰
白双月
李继军
《材料导报（纳米与新材料专辑）》
EI
CAS
2016年第1期168-171,共4页
采用电子束云纹法对陶瓷粒子嵌入316L不锈钢表面后粒子周围应变场进行了实验测量,分析了镶嵌粒子周围应变场的分布规律;运用LS-DYNA对嵌入粒子周围及内部应变场进行了有限元模拟,并与实验结果进行比较;同时对2个粒子嵌入情况进行了有限...
采用电子束云纹法对陶瓷粒子嵌入316L不锈钢表面后粒子周围应变场进行了实验测量,分析了镶嵌粒子周围应变场的分布规律;运用LS-DYNA对嵌入粒子周围及内部应变场进行了有限元模拟,并与实验结果进行比较;同时对2个粒子嵌入情况进行了有限元模拟,分析了粒子之间的距离对应变场及残余应力场的影响。结果表明:距嵌入粒子边缘距离越小,塑性应变越大,随着距离的增加,塑性应变逐渐减小,最后趋于零,x方向的最大塑性应变为10.75%,y方向的最大塑性应变为11.33%;实验结果和数值模拟结果吻合较好,最大误差为10.8%;粒子之间的距离越近,对应变场及残余应力场的分布范围影响越大,而对最大残余应力值的影响较小。
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关键词
冷喷涂
电子束
云纹
法
应变场
LS-DYNA
下载PDF
职称材料
三维电子束云纹法
被引量：
1
6
作者
温辉辉
花韬
+2 位作者
李传崴
刘战伟
谢惠民
《实验力学》
CSCD
北大核心
2015年第4期407-413,共7页
三维电子束(3D电子束)云纹法是一种微尺度三维变形测量方法。该方法通过在试件表面制作高密度光栅,结合双目视觉立体成像技术,在SEM中形成两个角度的电子束云纹图,即可分析获得三维变形信息。考虑到离面变形与面内变形计算时的相互耦合...
三维电子束(3D电子束)云纹法是一种微尺度三维变形测量方法。该方法通过在试件表面制作高密度光栅,结合双目视觉立体成像技术,在SEM中形成两个角度的电子束云纹图,即可分析获得三维变形信息。考虑到离面变形与面内变形计算时的相互耦合关系,本文对现有的3D电子束云纹法进行了进一步发展,系统推导了3D电子束云纹法的通用理论公式。利用变形前后不同角度拍摄的电子束云纹图,可分别迭代计算出面内变形、离面变形和形貌等信息。对全息光栅鼓泡变形的验证实验证明了本文发展的3D电子束云纹法理论的正确性。
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关键词
三维
电子束
云纹
法
三维形貌
立体成像技术
面内变形
原文传递
题名
SEM扫描云纹法的相移技术研究
被引量：
2
1
作者
尚海霞
谢惠民
戴福隆
王习术
机构
清华大学工程力学系
出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期5-7,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(19472038)
清华大学振动与结构工程开放实验室基金
文摘
提出一种扫描电镜(SEM)扫描云纹法的相移新技术,通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动,对获取的云纹图像实现0-2π范围内的四步相移,从而获得了更高的位移测量灵敏度。同时对SEM扫描云纹法的测量原理以及相移实验技术的原理进行了详细的阐述。并将该技术应用到电子封装试件栅的相移分析中。实验结果证明了该方法的可行性,该方法为微米云纹法的条纹处理提供了一种新途径。
关键词
SEM
扫描
云纹
法
电子束
云纹
相移技术
全息光栅
Keywords
Diffraction gratings
Electron beams
Holographic optical elements
Moire fringes
Scanning electron microscopy
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
TN16 [机械工程—仪器科学与技术]
原文传递
题名
高分辨率电镜微米云纹法及其应用
2
作者
谢惠民
戴福隆
李标
吕云光
Chai
Gin
Boay
A
Asundi
出处
《实验力学》
CSCD
北大核心
2002年第z1期245-257,共13页
文摘
文中就云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法,聚焦离子束云纹测量微区变形的原理和适用性进行了讨论.应用1200线/毫米的云纹光栅并结合云纹干涉法,电子束云纹法,原子力云纹法,扫描电镜云纹法测量QFP和BGA型电子封装组件的热变形.提出一种新型聚焦离子束云纹法,在MEMS结构上制栅形成FIB扫描云纹,成功的实验结果表明这种方法的可行性.
关键词
云纹
干涉法
电子束
云纹
原子力
云纹
SEM扫描
云纹
聚焦离子
束
云纹
全息光栅
分类号
TB12 [理学—工程力学]
下载PDF
职称材料
题名
SEM环境下纤维推出技术结合电子束云纹技术表征复合材料界面细观力学性能
被引量：
4
3
作者
郎风超
朱静
李云芳
潘俊臣
姜爱峰
杨诗婷
邢永明
机构
内蒙古工业大学理学院
中国航天科工集团第六研究院
出处
《复合材料学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期1383-1389,共7页
基金
国家自然科学基金(11762013,11562016,11862021)
内蒙古工业大学科学研究项目(ZZ201812,ZY201818)。
文摘
纤维推出技术是研究复合材料界面细观力学性能的常用方法。本文将该方法在SEM环境下与电子束云纹技术相结合开发一套基于SEM环境下的纤维推出实验系统。利用该系统测试了SiC/Ti-15-3复合材料的界面剪切强度、摩擦应力、摩擦系数及残余应力分布等细观力学性能。结果表明:对于厚度为500μm的SiC/Ti-15-3复合材料界面剪切强度为35 MPa,摩擦应力为32.8 MPa,纤维与界面间的摩擦系数为0.082,径向残余应力为-400 MPa。该系统在SEM环境可以实现直径为几微米的纤维推出,扩展了纤维推出技术的应用范围,提高了纤维推出过程的对准精度,减小了测量误差。并且与电子束云纹技术相结合,实时测量纤维推出后界面残余应力分布情况,为复合材料界面的设计、评估及优化提供必要的实验方法。
关键词
复合材料
扫描
电子
显微镜
纤维推出技术
电子束
云纹
技术
细观力学性能
Keywords
composites
SEM
fiber push-out test
electron beam moirémethod
meso-mechanical properties
分类号
TB333 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术
被引量：
3
4
作者
谢惠民
戴福隆
岸本哲
张维
机构
清华大学工程力学系
清华大学结构与振动开放实验室客座研究人员
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
2000年第6期526-528,共3页
基金
国家教育部清华大学结构与振动开放实验室基金资助项目
日本科学技术厅 STA基金资助项目
文摘
本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围更大。在本研究中 ,运用电子束刻蚀法并结合真空镀膜技术制作出 0 .1μm间距 ( 10 0 0 0线 /mm光栅 )的电子束云纹光栅。应用所制作的 10 μm/1μm双频光栅与相对应的电子束参考栅干涉 ,分别得到对应的电子束云纹场。文中对制栅工艺及方法进行了详细的讨论。
关键词
电子束
刻蚀法
变形测量
电子束
云纹
光栅
Keywords
electron beam lithography
electron beam Moire method
high frequency grating
deformation measurement
分类号
TH741.606 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
镶嵌粒子周围应变场的实验和数值模拟研究
被引量：
1
5
作者
杨诗婷
邢永明
姜爱峰
白双月
李继军
机构
内蒙古工业大学理学院
出处
《材料导报（纳米与新材料专辑）》
EI
CAS
2016年第1期168-171,共4页
基金
国家自然科学基金(11562016)
教育部高等学校博士学科点专项科研基金(20121514130001)
+1 种基金
内蒙古工业大学校基金(x201415)
内蒙古自然科学基金(2013MS0107)
文摘
采用电子束云纹法对陶瓷粒子嵌入316L不锈钢表面后粒子周围应变场进行了实验测量,分析了镶嵌粒子周围应变场的分布规律;运用LS-DYNA对嵌入粒子周围及内部应变场进行了有限元模拟,并与实验结果进行比较;同时对2个粒子嵌入情况进行了有限元模拟,分析了粒子之间的距离对应变场及残余应力场的影响。结果表明:距嵌入粒子边缘距离越小,塑性应变越大,随着距离的增加,塑性应变逐渐减小,最后趋于零,x方向的最大塑性应变为10.75%,y方向的最大塑性应变为11.33%;实验结果和数值模拟结果吻合较好,最大误差为10.8%;粒子之间的距离越近,对应变场及残余应力场的分布范围影响越大,而对最大残余应力值的影响较小。
关键词
冷喷涂
电子束
云纹
法
应变场
LS-DYNA
Keywords
cold spray
electron moirémethod
strain field
LS-DYNA
分类号
O343.3 [理学—固体力学]
下载PDF
职称材料
题名
三维电子束云纹法
被引量：
1
6
作者
温辉辉
花韬
李传崴
刘战伟
谢惠民
机构
北京理工大学宇航学院力学系
西安飞行自动控制研究所
清华大学航天航空学院力学系
出处
《实验力学》
CSCD
北大核心
2015年第4期407-413,共7页
基金
国家自然科学基金(Nos.11232008
11372037)
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-12-0036)的资助
文摘
三维电子束(3D电子束)云纹法是一种微尺度三维变形测量方法。该方法通过在试件表面制作高密度光栅,结合双目视觉立体成像技术,在SEM中形成两个角度的电子束云纹图,即可分析获得三维变形信息。考虑到离面变形与面内变形计算时的相互耦合关系,本文对现有的3D电子束云纹法进行了进一步发展,系统推导了3D电子束云纹法的通用理论公式。利用变形前后不同角度拍摄的电子束云纹图,可分别迭代计算出面内变形、离面变形和形貌等信息。对全息光栅鼓泡变形的验证实验证明了本文发展的3D电子束云纹法理论的正确性。
关键词
三维
电子束
云纹
法
三维形貌
立体成像技术
面内变形
Keywords
three-dimensional electron beam Moire method
three-dimensional morphology
stereographic imaging technique
in-plane deformation
分类号
O343.2 [理学—固体力学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SEM扫描云纹法的相移技术研究
尚海霞
谢惠民
戴福隆
王习术
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
2003
2
原文传递
2
高分辨率电镜微米云纹法及其应用
谢惠民
戴福隆
李标
吕云光
Chai
Gin
Boay
A
Asundi
《实验力学》
CSCD
北大核心
2002
0
下载PDF
职称材料
3
SEM环境下纤维推出技术结合电子束云纹技术表征复合材料界面细观力学性能
郎风超
朱静
李云芳
潘俊臣
姜爱峰
杨诗婷
邢永明
《复合材料学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
4
原文传递
4
电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术
谢惠民
戴福隆
岸本哲
张维
《光学技术》
CAS
CSCD
2000
3
原文传递
5
镶嵌粒子周围应变场的实验和数值模拟研究
杨诗婷
邢永明
姜爱峰
白双月
李继军
《材料导报（纳米与新材料专辑）》
EI
CAS
2016
1
下载PDF
职称材料
6
三维电子束云纹法
温辉辉
花韬
李传崴
刘战伟
谢惠民
《实验力学》
CSCD
北大核心
2015
1
原文传递
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