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砷化镓半导体外延层的电子声成像
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作者 张冰阳 江福明 +6 位作者 殷庆瑞 惠森兴 姚烈 杨阳 高鸿楷 何益民 侯洵 《分析测试学报》 CAS CSCD 1996年第6期27-31,共5页
本实验利用扫描电子声显微镜对CaAs半导体外延片生长缺陷进行了电子声成像。通过分析不同条件下获得的电声图像,讨论了CaAs半导体外延片在电声成像中其电声信号的产生机制。
关键词 SEAM 砷化镓 缺陷 电子声成像
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