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微波ECR等离子体参数测量及分析
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作者 陶孟仙 《佛山科学技术学院学报（社会科学版）》 1996年第2期23-26,共4页
利用双探针测试了微波ＥＣＲ等离子体参数，发现获得大面积均匀等离子体源强烈依赖于轴向磁场梯度，等离子体参数受气压影响亦很大．测量结果与理论分析一致．
关键词 电子回族共振(ecr) 等离子体参数 磁场位形
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