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电子回旋共振波射频溅射系统设计
被引量：
2
1
作者
程春玉
蔺增
《真空》
CAS
2013年第6期27-31,共5页
电子回旋共振波(ECWR)技术于20世纪70年代提出,是利用电磁波与电学各向异性材料(如带有外加静磁场的低压等离子体)的相互作用来产生等离子体的。ECWR技术有产生高密度等离子体、离子能量可控制在很窄的范围内、离子能量和离子流量可独...
电子回旋共振波(ECWR)技术于20世纪70年代提出,是利用电磁波与电学各向异性材料(如带有外加静磁场的低压等离子体)的相互作用来产生等离子体的。ECWR技术有产生高密度等离子体、离子能量可控制在很窄的范围内、离子能量和离子流量可独立控制等优点,可有效控制薄膜的生长过程。本文以ECWR技术为背景,介绍了一种电子回旋共振波射频溅射镀膜系统的设计。
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关键词
电子
回旋
共振
波
射频溅射
亥姆赫兹线圈
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职称材料
电子回旋共振波等离子体及其应用
被引量：
1
2
作者
殷冀平
蔺增
巴德纯
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期324-333,共10页
电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术。与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生高离子电流密度、能量分布集中...
电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术。与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生高离子电流密度、能量分布集中的等离子体,能够实现半导体薄膜的低压高速沉积,具有离化率高、放电反应室内无电极、适合大面积薄膜沉积等优点。在实际实验及应用中常使用双电源驱动等离子体放电系统,利用电子回旋共振波原理进行等离子体放电,而使用另一个独立的射频(或者直流)电源系统来驱动等离子体束流的引出,在等离子体放电过程中可实现独立、精确控制离子电流密度和离子能量等参数,在半导体薄膜沉积、精密刻蚀、等离子体源等领域有着重要的应用。本文主要介绍了电子回旋共振波等离子体原理、特点,并结合实验与诊断方法朗缪尔探针等技术来展示其研究应用进展。
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关键词
电子
回旋
共振
波
薄膜沉积
等离子体源
朗缪尔探针
下载PDF
职称材料
基于LabVIEW的朗缪尔单探针数据处理系统
被引量：
1
3
作者
殷冀平
乔宏
+1 位作者
蔺增
巴德纯
《真空》
CAS
2020年第6期48-53,共6页
朗缪尔单探针处理系统是使用单探针对符合麦克斯韦电子分布的等离子体放电进行测量诊断的基于LabVIEW运行的处理软件。该系统通过格拉布斯准则实现了对大误差数据的剔除。使用Savitzky-Golay滤波器对V-I曲线进行平滑处理,在将离子流排除...
朗缪尔单探针处理系统是使用单探针对符合麦克斯韦电子分布的等离子体放电进行测量诊断的基于LabVIEW运行的处理软件。该系统通过格拉布斯准则实现了对大误差数据的剔除。使用Savitzky-Golay滤波器对V-I曲线进行平滑处理,在将离子流排除后,对过渡区曲线进行处理与计算,得到等离子体放电相关参数。使用该套处理系统能够快捷准确地将繁杂的探针数据处理工作变得更为简单,为朗缪尔探针的实际应用提供了基础。使用该套探针处理系统处理了电子回旋共振波等离子体放电随功率变化的V-I曲线并得到准确的结果。
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关键词
朗缪尔单探针处理系统
LABVIEW
格拉布斯准则
Savitzky-Golay滤
波
器
电子
回旋
共振
波
等离子体放电
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职称材料
题名
电子回旋共振波射频溅射系统设计
被引量：
2
1
作者
程春玉
蔺增
机构
东北大学机械工程与自动化学院
出处
《真空》
CAS
2013年第6期27-31,共5页
文摘
电子回旋共振波(ECWR)技术于20世纪70年代提出,是利用电磁波与电学各向异性材料(如带有外加静磁场的低压等离子体)的相互作用来产生等离子体的。ECWR技术有产生高密度等离子体、离子能量可控制在很窄的范围内、离子能量和离子流量可独立控制等优点,可有效控制薄膜的生长过程。本文以ECWR技术为背景,介绍了一种电子回旋共振波射频溅射镀膜系统的设计。
关键词
电子
回旋
共振
波
射频溅射
亥姆赫兹线圈
Keywords
ECWR, RF sputtering, Helmhohz loops
分类号
TB79 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
电子回旋共振波等离子体及其应用
被引量：
1
2
作者
殷冀平
蔺增
巴德纯
机构
机械工程与自动化学院东北大学
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期324-333,共10页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助(N130403002
N141008001/3)
文摘
电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术。与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生高离子电流密度、能量分布集中的等离子体,能够实现半导体薄膜的低压高速沉积,具有离化率高、放电反应室内无电极、适合大面积薄膜沉积等优点。在实际实验及应用中常使用双电源驱动等离子体放电系统,利用电子回旋共振波原理进行等离子体放电,而使用另一个独立的射频(或者直流)电源系统来驱动等离子体束流的引出,在等离子体放电过程中可实现独立、精确控制离子电流密度和离子能量等参数,在半导体薄膜沉积、精密刻蚀、等离子体源等领域有着重要的应用。本文主要介绍了电子回旋共振波等离子体原理、特点,并结合实验与诊断方法朗缪尔探针等技术来展示其研究应用进展。
关键词
电子
回旋
共振
波
薄膜沉积
等离子体源
朗缪尔探针
Keywords
Electron cyclotron wave resonance
Film deposition
Plasma source
Langmuir probe
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
下载PDF
职称材料
题名
基于LabVIEW的朗缪尔单探针数据处理系统
被引量：
1
3
作者
殷冀平
乔宏
蔺增
巴德纯
机构
东北大学机械工程与自动化学院
上海卫星装备研究所
辽宁省植入器械与界面科学重点实验室
出处
《真空》
CAS
2020年第6期48-53,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51775096)
中国科学院-威高研究发展计划攻关项目([2017]006)
沈阳市科学技术计划项目(F16-080-8-00)。
文摘
朗缪尔单探针处理系统是使用单探针对符合麦克斯韦电子分布的等离子体放电进行测量诊断的基于LabVIEW运行的处理软件。该系统通过格拉布斯准则实现了对大误差数据的剔除。使用Savitzky-Golay滤波器对V-I曲线进行平滑处理,在将离子流排除后,对过渡区曲线进行处理与计算,得到等离子体放电相关参数。使用该套处理系统能够快捷准确地将繁杂的探针数据处理工作变得更为简单,为朗缪尔探针的实际应用提供了基础。使用该套探针处理系统处理了电子回旋共振波等离子体放电随功率变化的V-I曲线并得到准确的结果。
关键词
朗缪尔单探针处理系统
LABVIEW
格拉布斯准则
Savitzky-Golay滤
波
器
电子
回旋
共振
波
等离子体放电
Keywords
Single Langmuir probe processing system
LabVIEW
Grubbs criterion
Savitzky-Golay filter
electron cyclotron wave resonance plasma discharge
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
TB77 [理学—物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子回旋共振波射频溅射系统设计
程春玉
蔺增
《真空》
CAS
2013
2
下载PDF
职称材料
2
电子回旋共振波等离子体及其应用
殷冀平
蔺增
巴德纯
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
下载PDF
职称材料
3
基于LabVIEW的朗缪尔单探针数据处理系统
殷冀平
乔宏
蔺增
巴德纯
《真空》
CAS
2020
1
下载PDF
职称材料
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