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正电子湮没谱学研究半导体材料微观结构的应用进展
被引量:
4
1
作者
曹兴忠
宋力刚
+3 位作者
靳硕学
张仁刚
王宝义
魏龙
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期25-38,共14页
正电子湮没谱学技术在研究材料微观缺陷、微观结构方面有着独特的优势,尤其是在针对阳离子空位等负电性空位型缺陷的研究中,可以获取材料内部微观缺陷的种类与分布的关键信息.正电子湮没寿命和多普勒展宽能谱是正电子湮没谱学的最基本...
正电子湮没谱学技术在研究材料微观缺陷、微观结构方面有着独特的优势,尤其是在针对阳离子空位等负电性空位型缺陷的研究中,可以获取材料内部微观缺陷的种类与分布的关键信息.正电子湮没寿命和多普勒展宽能谱是正电子湮没谱学的最基本的分析方法,在半导体材料的空位形成、演化机理以及分布等研究方面能够发挥独特的作用;此外,慢正电子束流技术在半导体薄膜材料的表面和多层膜材料的界面的微观结构和缺陷的深度分布的研究中有广泛的应用.通过正电子技术所得到的微观结构和缺陷、电子密度和动量分布等信息对研究半导体微观结构、优化半导体材料的工艺和性能等方面有着指导作用.本文综述了正电子湮没谱学技术在半导体材料方面的应用研究进展,主要围绕正电子研究平台在半导体材料微观缺陷研究中对材料的制备工艺、热处理、离子注入和辐照情况下,各种缺陷的微观结构的表征及其演化行为的研究成果展开论述.
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关键词
正
电子
湮没谱学
半导体材料
电子
(
动量
、
密度
)
分布
微观结构
下载PDF
职称材料
题名
正电子湮没谱学研究半导体材料微观结构的应用进展
被引量:
4
1
作者
曹兴忠
宋力刚
靳硕学
张仁刚
王宝义
魏龙
机构
中国科学院高能物理研究所
武汉科技大学理学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期25-38,共14页
基金
国家自然科学基金(批准号:0275076
10575112
+6 种基金
60606011
10835006
11175191
11475193
11475197
11575205
11505192)资助的课题~~
文摘
正电子湮没谱学技术在研究材料微观缺陷、微观结构方面有着独特的优势,尤其是在针对阳离子空位等负电性空位型缺陷的研究中,可以获取材料内部微观缺陷的种类与分布的关键信息.正电子湮没寿命和多普勒展宽能谱是正电子湮没谱学的最基本的分析方法,在半导体材料的空位形成、演化机理以及分布等研究方面能够发挥独特的作用;此外,慢正电子束流技术在半导体薄膜材料的表面和多层膜材料的界面的微观结构和缺陷的深度分布的研究中有广泛的应用.通过正电子技术所得到的微观结构和缺陷、电子密度和动量分布等信息对研究半导体微观结构、优化半导体材料的工艺和性能等方面有着指导作用.本文综述了正电子湮没谱学技术在半导体材料方面的应用研究进展,主要围绕正电子研究平台在半导体材料微观缺陷研究中对材料的制备工艺、热处理、离子注入和辐照情况下,各种缺陷的微观结构的表征及其演化行为的研究成果展开论述.
关键词
正
电子
湮没谱学
半导体材料
电子
(
动量
、
密度
)
分布
微观结构
Keywords
positron annihilation spectroscopy
semiconductor
electron density and momentum distribution
microstructure
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
正电子湮没谱学研究半导体材料微观结构的应用进展
曹兴忠
宋力刚
靳硕学
张仁刚
王宝义
魏龙
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
4
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职称材料
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