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电声显微成像和应用 被引量:3
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作者 殷庆瑞 曾华荣 +2 位作者 杨阳 惠森兴 徐政魁 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期338-343,共6页
扫描电声显微镜 (SEAM)是融现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和脉冲图像处理以及计算机技术为一体的一种新型无损分析和显微成像工具。其成像机理是基于材料的微观热弹性能或者电学性能的变化 ,获取目前其他手段... 扫描电声显微镜 (SEAM)是融现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和脉冲图像处理以及计算机技术为一体的一种新型无损分析和显微成像工具。其成像机理是基于材料的微观热弹性能或者电学性能的变化 ,获取目前其他手段无法得到的信息。它可以原位 (insitu)同时观察试样的二次电子像和电声像 (SEAM) ,兼有声学显微术非破坏性内部成像和电子显微术高分辨率快速成像的特点。本文重点阐述扫描电声显微镜的工作原理、结构和组成、电声显微成像的特点 ,以及电声成像的基本理论和影响分辨率的主要因素。并显示了扫描电声显微镜在观察功能晶体和陶瓷的电畴结构、金属材料的应力分布、半导体材料的缺陷和位错、MEMS器件的内部信息以及超导陶瓷的相变特性等方面的实际应用。为了和电声成像的实验结果进行比较 ,本文也介绍了在扫描探针显微镜基础上建立起来的扫描探针声学成像技术在电光陶瓷上的实际应用。 展开更多
关键词 扫描电声显微镜 电声成像 电畴结构 应力分布 脉冲图像处理 电声技术 压电传感技术 弱信号检测 电子光学技术
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半导和非半导性BaTiO_3陶瓷电声像衬度来源的差异
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作者 张冰阳 杨阳 +4 位作者 江福明 惠森兴 姚烈 殷庆瑞 钱梦禄 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第10期797-800,共4页
利用SEAM技术对半导和非半导性的BaTiO3陶瓷材料进行了电声成像观察研究.在半导性的这种材料电声成像中,由于掺杂的作用削弱和屏蔽了样品本身电学性能参数变化对电声像衬度的贡献,使得热波耦合机制起到主要作用;在非半导... 利用SEAM技术对半导和非半导性的BaTiO3陶瓷材料进行了电声成像观察研究.在半导性的这种材料电声成像中,由于掺杂的作用削弱和屏蔽了样品本身电学性能参数变化对电声像衬度的贡献,使得热波耦合机制起到主要作用;在非半导性的这种材料电声成像中,其电学性能参数的变化决定了电声像衬度的不同. 展开更多
关键词 钛酸钡陶瓷 陶瓷材料 电声成像 半导性 非半导性
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电声成像模拟测量装置方案设计及优选
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作者 李琴 万科峰 +3 位作者 黄志强 马骁 朱涵斌 张波 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第20期26-30,共5页
针对测井仪器在使用和推广中,缺乏系统的、理论性应用基础方面的室内研究手段而难形成商业化规模,制约了其发展的问题,根据微电阻率成像和超声成像的工作原理及实际运动测量的模式,并结合实验室用的特点,设计了一套井周电声成像探测器... 针对测井仪器在使用和推广中,缺乏系统的、理论性应用基础方面的室内研究手段而难形成商业化规模,制约了其发展的问题,根据微电阻率成像和超声成像的工作原理及实际运动测量的模式,并结合实验室用的特点,设计了一套井周电声成像探测器模拟测量装置,该装置实现了x、y、z及d(圆周)4个方向的运动,在x、d方向设计了多种方案。利用模糊评判的原理,对d和x方向的多种方案进行了综合评价,建立了隶属函数及权重,通过专家打分的形式建立因素集及模糊综合评判集,选取以x为双直线电机传动,d为锥齿轮传动方式为最优方案,该测量装置能为成像技术的深入研究提供手段。 展开更多
关键词 微电阻率成像 电声成像探测器模拟测量装置 模糊综合评判
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扫描电声显微镜Ⅱ
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作者 殷庆瑞 《材料导报》 EI CAS CSCD 2001年第2期46-46,共1页
扫描电声显微术(SEAM)是把现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和图像处理技术以及计算机技术融为一体的一种新型的无损分析和显微成像技术。它既具有声学显微术非破坏性内部成像的本领,又具有电子显微术高分辨率和... 扫描电声显微术(SEAM)是把现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和图像处理技术以及计算机技术融为一体的一种新型的无损分析和显微成像技术。它既具有声学显微术非破坏性内部成像的本领,又具有电子显微术高分辨率和快速成像的特点。它的独特的成像机理是基于材料的微观电学和热弹性能的变化,用它能获取目前其它手段无法得到的信息。它可以原位(in situ)观察试样的二次电子像(SEM)、电声像(SEAM)、热释电像和EBIC(V)像。 展开更多
关键词 扫描电声显微镜 电声成像机理 电声显微术
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KYKY-1型扫描电声显微镜
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《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2004年第2期i002-i002,共1页
关键词 扫描电声显微镜 KYKY-1型 分析仪器 技术指标 电声成像控制仪 锁相放大器 图象处理
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