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题名E-fuse阵列高效率测试验证方案及实现
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作者
陈礼清
林光启
赵瑞豪
梅杰
胡启誉
张克堂
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机构
中芯国际集成电路制造有限公司产品部
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出处
《电子测量技术》
2014年第11期11-15,共5页
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文摘
随着电编程熔丝(E-fuse)技术在集成电路领域中的应用越来越广泛,对测试验证环节的要求也越来越高,测试人员也面临更大的挑战,因此在电编程熔丝开发过程中,如何提高E-fuse测试验证效率是研究的重点和难点之一。基于E-fuse阵列在测试验证上的效率低、样品需求多、数据分析难等问题,对现有的测试验证方法提出了一种E-fuse阵列bits层面上实现编程的测试方案。相比较传统测试流程,该方案可以节省38.8%甚至90%以上的测试验证时间,同时还具有测试设置方便、样品需求少、数据精确度高等特性。
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关键词
测试技术
电可编程熔丝
高效率
验证
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Keywords
testing technology
electrically programmable fuse
high efficiency
verification
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名eFuse器件的电迁移三维有限元仿真
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作者
王锦任
王家佳
赵晨阳
刘海南
李多力
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机构
中国科学院大学集成电路学院
中国科学院微电子研究所
中国科学院硅器件技术重点实验室
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出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2023年第7期577-584,599,共9页
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文摘
应用有限元分析软件建立了电可编程熔丝(eFuse)器件的三维有限元模型,通过离子流通量散度法和最小原子浓度法对eFuse器件的电迁移熔断过程进行了多物理场耦合有限元仿真,仿真结果能够较好地拟合器件的实际熔断效果。通过仿真对比了不同阴极面积和不同编程电压条件下的电迁移过程及熔断效果。结果表明,更大的阴极面积能够提高熔丝局部的温度梯度,从而提高熔断效率;更高的编程电压能够提供更高的电流密度和温度,从而加速电迁移的发生并增大了eFuse熔断区的面积。提出了一种具有外部辅助加热功能的eFuse器件结构,并在不同条件下进行了电迁移熔断仿真,结果表明该结构能够显著提高eFuse器件局部的离子流通量散度,从而提高eFuse存储单元的熔断效率和编程良率。
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关键词
电可编程熔丝(eFuse)
电迁移
有限元仿真
离子流通量散度
热断裂
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Keywords
electrical fuse(eFuse)
electromigration
finite element simulation
ionic flux divergence
thermal rupture
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分类号
TN389
[电子电信—物理电子学]
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