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FPN的影响因素分析及相关应用
被引量：
2
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作者
徐德洋
王蓬勃
孙立宁
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第19期104-110,共7页
钢笔纳米刻蚀技术(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的扫描探针刻蚀技术,具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书写等优点。FP...
钢笔纳米刻蚀技术(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的扫描探针刻蚀技术,具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书写等优点。FPN刻蚀过程主要受探针的孔径大小、空气湿度、接触时间、书写速度、墨水的特性等因素影响。在介绍FPN相关原理及影响因素的基础上,综合介绍了包括电化学FPN技术(Electrochemical FPN,EcFPN)和主动控制技术FPN(Active FPN,AFPN)在内的FPN相关技术研究的最新成果及其在生物领域、微电子领域和光学器件方面的相关应用。
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关键词
钢笔纳米刻蚀
技术
原子力显微镜
电化学
fpn
技术
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职称材料
题名
FPN的影响因素分析及相关应用
被引量：
2
1
作者
徐德洋
王蓬勃
孙立宁
机构
苏州大学江苏省先进机器人技术重点实验室
苏州大学苏州纳米科技协同创新中心
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第19期104-110,共7页
基金
国家自然科学基金(51205267)
文摘
钢笔纳米刻蚀技术(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的扫描探针刻蚀技术,具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书写等优点。FPN刻蚀过程主要受探针的孔径大小、空气湿度、接触时间、书写速度、墨水的特性等因素影响。在介绍FPN相关原理及影响因素的基础上,综合介绍了包括电化学FPN技术(Electrochemical FPN,EcFPN)和主动控制技术FPN(Active FPN,AFPN)在内的FPN相关技术研究的最新成果及其在生物领域、微电子领域和光学器件方面的相关应用。
关键词
钢笔纳米刻蚀
技术
原子力显微镜
电化学
fpn
技术
Keywords
fountain pen nanolithography
AFM
electrochemical
fpn
分类号
TH742.9 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
FPN的影响因素分析及相关应用
徐德洋
王蓬勃
孙立宁
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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