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电化学迁移研究进展 被引量:6
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作者 易盼 董超芳 +1 位作者 肖葵 魏丹 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期64-73,共10页
随着电子电路和元器件的集成化、小型化,电子元器件中间距急剧减小,导致其对电化学迁移更加敏感。本文从研究方法、失效机制方面,综述当前电子元器件中电化学迁移行为的研究进展,探讨改善电子元器件电化学迁移敏感性的方法,提出更为行... 随着电子电路和元器件的集成化、小型化,电子元器件中间距急剧减小,导致其对电化学迁移更加敏感。本文从研究方法、失效机制方面,综述当前电子元器件中电化学迁移行为的研究进展,探讨改善电子元器件电化学迁移敏感性的方法,提出更为行之有效的电化学迁移防护方法。 展开更多
关键词 子元器件 化学迁移 化学迁移防护方法
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