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电共轭流体微型泵的实验研究(英文)
被引量：
1
1
作者
王海波
张如照
+1 位作者
邹海龙
金俊完
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期151-154,共4页
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改...
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500μm,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。
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关键词
微型泵
MEMS
电
共轭
流体
三角柱-缝隙
电
极对
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职称材料
带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器
2
作者
王海波
张如照
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2017年第8期1155-1160,共6页
针对现有电共轭流体射流发生器(普通型)在微小流量输出情况下出现的严重压降问题,结合电流体动力学中离子拖曳泵送和传导泵送的运行机制,理论上解析了压降问题产生的原理,基于此,在普通型射流发生器的基础上设计了一种带有旁路微流道的...
针对现有电共轭流体射流发生器(普通型)在微小流量输出情况下出现的严重压降问题,结合电流体动力学中离子拖曳泵送和传导泵送的运行机制,理论上解析了压降问题产生的原理,基于此,在普通型射流发生器的基础上设计了一种带有旁路微流道的改进型射流发生器。采用蒸镀、UV-LIGA、RIE等MEMS制造技术成功制作出了形貌质量俱佳的普通型和改进型射流发生器,并利用输出性能测量实验开展了对比验证。实验结果证明了通过在主流道侧添加旁路微流道来解决射流发生器的压降问题,并借此来提高其输出能力的可行性。
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关键词
电
共轭
流体
射流发生器
旁路微流道
MEMS
对比试验
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职称材料
题名
电共轭流体微型泵的实验研究(英文)
被引量：
1
1
作者
王海波
张如照
邹海龙
金俊完
机构
西南交通大学机械工程学院
东京工业大学精密工学研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期151-154,共4页
基金
supported by National Natural Science Foundation of China(51205329)
文摘
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500μm,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。
关键词
微型泵
MEMS
电
共轭
流体
三角柱-缝隙
电
极对
Keywords
micropump
MEMS
electro-conjugate fluid
triangular prism slit electrode pair
分类号
TH-39 [机械工程]
TH38
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职称材料
题名
带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器
2
作者
王海波
张如照
机构
西南交通大学机械工程学院
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2017年第8期1155-1160,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51205329)资助
文摘
针对现有电共轭流体射流发生器(普通型)在微小流量输出情况下出现的严重压降问题,结合电流体动力学中离子拖曳泵送和传导泵送的运行机制,理论上解析了压降问题产生的原理,基于此,在普通型射流发生器的基础上设计了一种带有旁路微流道的改进型射流发生器。采用蒸镀、UV-LIGA、RIE等MEMS制造技术成功制作出了形貌质量俱佳的普通型和改进型射流发生器,并利用输出性能测量实验开展了对比验证。实验结果证明了通过在主流道侧添加旁路微流道来解决射流发生器的压降问题,并借此来提高其输出能力的可行性。
关键词
电
共轭
流体
射流发生器
旁路微流道
MEMS
对比试验
Keywords
electro-conjugate fluid
jet generator
structural optimization
MEMS
experiments
分类号
TH38 [机械工程—机械制造及自动化]
TK05 [动力工程及工程热物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电共轭流体微型泵的实验研究(英文)
王海波
张如照
邹海龙
金俊完
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
下载PDF
职称材料
2
带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器
王海波
张如照
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
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