电子束蒸发球面夹具系统膜厚均匀性的研究 被引量：8

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作者 潘永刚 刘政 +2 位作者 王奔 张四宝 吕辰瑞 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2021年第5期323-327,共5页

基于电子束蒸发小面源非余弦膜厚的分布公式,研究了电子束蒸发球面夹具系统光学薄膜厚度的分布均匀性。同时建立数学模型,通过MathCAD编程求解修正挡板的形状及摆放位置,控制光学薄膜厚度的分布均匀性。以蒸发Ta_(2)O_(5)薄膜为例,优化... 基于电子束蒸发小面源非余弦膜厚的分布公式,研究了电子束蒸发球面夹具系统光学薄膜厚度的分布均匀性。同时建立数学模型,通过MathCAD编程求解修正挡板的形状及摆放位置,控制光学薄膜厚度的分布均匀性。以蒸发Ta_(2)O_(5)薄膜为例,优化修正挡板的位置及形状,并制备厚度为600 nm的Ta_(2)O_(5)单层薄膜。实验结果表明,采用该模型优化设计的修正挡板,实际厚度不均匀性为0.6%,验证了该模型的可行性与正确性。 展开更多

关键词 薄膜 均匀性 电子束蒸发 球面夹具 修正挡板

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2.4米主镜反射膜膜厚均匀性的优化设计

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作者 陈鑑辉 伦宝利 秦松年 《天文研究与技术》 CSCD 2023年第5期463-470,共8页

膜厚均匀性是制备高性能光学薄膜的一项重要指标。为进一步提高2.4 m主镜反射膜膜厚均匀性,针对大口径望远镜镀膜设计了膜厚均匀性优化方案。基于真空热蒸发遵循的余弦分布律,结合ZZ3200型真空镀膜机的几何结构和望远镜镀膜的实际需求,... 膜厚均匀性是制备高性能光学薄膜的一项重要指标。为进一步提高2.4 m主镜反射膜膜厚均匀性,针对大口径望远镜镀膜设计了膜厚均匀性优化方案。基于真空热蒸发遵循的余弦分布律,结合ZZ3200型真空镀膜机的几何结构和望远镜镀膜的实际需求,编写膜厚计算程序,模拟膜厚理论分布情况,给出膜厚优化设计方法和优化结果。方法一:在蒸发源内侧合适的位置加入修正挡板,结果表明,挡板的曲率半径安装误差在3 mm以内,膜厚均匀性峰谷(Peak to Valley,PV)值由不加挡板时的15%下降到4%,该方法具有一定的普适性,但是挡板安装位置要精确控制;方法二:结合反射主镜中间的圆孔结构,设计双圈蒸发源,结果表明,当内外圈蒸发源的中心距分别为10 cm和130 cm,且满足外圈蒸发源的数量为内圈的12倍时,膜厚均匀性峰谷值为1.85%。该方法是针对中心具有圆孔镜面设计的,适用于大多数反射式天文望远镜镀膜。 展开更多

关键词 望远镜镀膜 膜厚均匀性 球面夹具 修正挡板

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可调倾角非球面加工夹具仿真软件的设计

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作者 林晓辉 郭隐彪 +1 位作者 张世汉 杨峰 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期843-846,共4页

对可调倾角非球面加工夹具进行运动学分析,确定工作台转角与电机转角之间的关系,以及工件坐标系原点相对于基坐标系的位置向量.使用VC++6.0作为编程开发平台,结合开放性图形库(OpenGL)技术,将3D Studio(3DS)模型导入VC环境中,并正确地... 对可调倾角非球面加工夹具进行运动学分析,确定工作台转角与电机转角之间的关系,以及工件坐标系原点相对于基坐标系的位置向量.使用VC++6.0作为编程开发平台,结合开放性图形库(OpenGL)技术,将3D Studio(3DS)模型导入VC环境中,并正确地显示出模型.在此基础上对夹具的各部分进行分别的控制,进而实现可倾角夹具的仿真.此外,用Matlab进行图像处理,然后利用VC与Matlab的混合编程,在VC中调用计算结果. 展开更多

关键词 非球面夹具 VC++ 开放性图形库 3DS

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三轴可调倾角非球面加工夹具运动学分析

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作者 张世汉 郭隐彪 +1 位作者 柯晓龙 姜晨 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期553-558,共6页

三轴可调倾角非球面加工夹具可以消除楔形非球面加工中由于二次装夹而造成的误差且提高加工效率.为了精确控制工作台面倾角及位姿,根据机器人学中三自由度机械手臂的分析理论,建立夹具的D-H坐标系,进行正向、反向运动学分析,求解其雅可... 三轴可调倾角非球面加工夹具可以消除楔形非球面加工中由于二次装夹而造成的误差且提高加工效率.为了精确控制工作台面倾角及位姿,根据机器人学中三自由度机械手臂的分析理论,建立夹具的D-H坐标系,进行正向、反向运动学分析,求解其雅可比矩阵,给出了工作台面与各运动构件之间位置、姿态、速度的关系,并运用ADAMS分析验证相关理论分析结果,为夹具控制软件的设计提供依据. 展开更多

关键词 楔形非球面夹具 机械手臂 运动学分析 ADAMS仿真

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利用废卡盘改制球面夹具

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作者 黄建华 《机械工人（冷加工）》 2002年第1期24-24,共1页

在车床加工球面时,按常规加工使用中、小滑板相互赶刀法才能车成,而且在加工中很难达到球面形状和精度要求,为此我们利用废三爪自定心卡盘改制车削球面夹具装置(见图),现介绍如下。

关键词 车床夹具 废卡盘 改制 球面夹具

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利用废卡盘改制球面夹具

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作者 黄建华 《企业技术开发》 2001年第7期40-40,共1页

关键词 车床 球面加工 球面夹具 废三爪卡盘 车削 结构改造

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加工大球面夹具

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作者 王华书 《机械工人（冷加工）》 1996年第3期11-11,共1页

我厂生产的管磨机中的主要关键件采用如图1所示的轴承座和图2所示的球面瓦。设计要求球面瓦和轴承座之间的配合是球面配合,且有接触点要求。由于内外环面的刮研十分困难,因此,必须由机械加工来保证其配合精度。但加工该工件如制作专机,... 我厂生产的管磨机中的主要关键件采用如图1所示的轴承座和图2所示的球面瓦。设计要求球面瓦和轴承座之间的配合是球面配合,且有接触点要求。由于内外环面的刮研十分困难,因此,必须由机械加工来保证其配合精度。但加工该工件如制作专机,需要很大投资。为此。 展开更多

关键词 夹具 球面夹具 制造

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球面检验夹具校准件的改进

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作者 阎文辉 《汽车工艺》 1991年第3期49-49,37,共2页

汽车零件差速器桥壳的内球面加工精度可用片状样板检查,但更好的是用图1所示的球面检验夹具。测量盘放在桥壳上,以孔定位作检验基准,转动测头即可测出球面的形状和尺寸误差。而夹具测头则需用一精度较高的校准件来进行校准。我厂的校准... 汽车零件差速器桥壳的内球面加工精度可用片状样板检查,但更好的是用图1所示的球面检验夹具。测量盘放在桥壳上,以孔定位作检验基准,转动测头即可测出球面的形状和尺寸误差。而夹具测头则需用一精度较高的校准件来进行校准。我厂的校准件,最初是按一般原则设计成半球形。由于它是较完整的半个内球面,精度又要求5μm,粗糙度Ra=0.4μm,制造相当困难,后经反复研究,设计出如图2所示的校准件。新校准件是半个内圆面,圆孔直径等于球面直径。使用时。 展开更多

关键词 球面检验夹具 夹具 校准件

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球面磨床专用夹具非线性接触夹紧性能分析

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作者 龚肖新 卢强 《机床与液压》 北大核心 2016年第20期44-47,共4页

运用ANSYS Workbench对球面磨床的专用夹具部件进行多工况的非线性接触分析,研究夹具各个零件之间的接触状态,分析夹具整体结构和球体的变形量、极限应力、扭转角度以及结合面之间滑移量,确定夹紧螺栓预紧力,校核夹紧机构的可靠性。此... 运用ANSYS Workbench对球面磨床的专用夹具部件进行多工况的非线性接触分析,研究夹具各个零件之间的接触状态,分析夹具整体结构和球体的变形量、极限应力、扭转角度以及结合面之间滑移量,确定夹紧螺栓预紧力,校核夹紧机构的可靠性。此方法为球面磨床专用夹具的设计与校核提供参考。 展开更多

关键词 球面磨床专用夹具 非线性接触状态 极限应力 扭转角度

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旋风切削外球面夹具

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作者 查继明 《机械工人（冷加工）》 2000年第5期17-17,共1页

在汽车制造行业中,操纵系统以及转动部位经常使用球形零件,而球形零件由于其件数大,加工要求高,所以用常规方法来加工,一方面,生产效率较低,另一方面,生产成本也较高。基于这种情况,我们对球径小于Sφ40mm的球体,专门设计了一套简单易操... 在汽车制造行业中,操纵系统以及转动部位经常使用球形零件,而球形零件由于其件数大,加工要求高,所以用常规方法来加工,一方面,生产效率较低,另一方面,生产成本也较高。基于这种情况,我们对球径小于Sφ40mm的球体,专门设计了一套简单易操作,而且生产效率较高的工艺装备。 展开更多

关键词 汽车 球形零件 旋风切削外球面夹具

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一种新型的多球面加工夹具

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作者 朱贤银 《矿山机械》 北大核心 2003年第11期79-79,共1页

关键词 多球面加工夹具 车床 结构 工作原理

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