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直流三极偏压溅射沉积碳化钛膜
被引量:
4
1
作者
张建民
《真空》
CAS
北大核心
1994年第1期29-31,共3页
本文利用直流三极偏压溅射法在刀具上沉积了碳化钛膜,用球坑仪测量了膜厚,并用HX-1000显微硬度计测量了膜的维氏硬度:实际试验表明,刀具的使用寿命提高了3~5倍。
关键词
溅射沉积
碳化钛
球
坑
仪
硬度
下载PDF
职称材料
用球坑仪测量固体表面的硬度——球坑直径与磨坑时间的关系
被引量:
1
2
作者
张建民
《真空》
CAS
北大核心
1997年第2期16-17,共2页
本文利用球坑仪对四种常用材料铝、铜、铁和钢进行了磨坑试验,测量了不同时刻的球坑直径,给出了球坑直径与磨坑时间的数学关系。
关键词
球
坑
仪
球
坑
直径
金属材料
硬度试验
磨
坑
时间
下载PDF
职称材料
物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究
3
作者
邓仲华
常振东
+3 位作者
徐雷
胡江玮
蔡妍
牟仁德
《真空》
CAS
2022年第6期73-77,共5页
为了满足热障涂层批量生产时对厚度快速、准确检测的需要,本文选用球坑测厚法对物理气相沉积热障涂层厚度进行了测量研究。首先在GH3039高温合金基体上分别制备厚约120μm的NiCrAlYSi涂层和Zr O_(2)·Y_(2)O_(3)(YSZ)涂层,研究了研...
为了满足热障涂层批量生产时对厚度快速、准确检测的需要,本文选用球坑测厚法对物理气相沉积热障涂层厚度进行了测量研究。首先在GH3039高温合金基体上分别制备厚约120μm的NiCrAlYSi涂层和Zr O_(2)·Y_(2)O_(3)(YSZ)涂层,研究了研磨液粒径、研磨时间等参数与磨坑直径的关系,随后根据试验结果对高温合金试片涂覆的NiCrAlYSi/YSZ热障涂层使用球坑测厚法进行了厚度测量,并与金相测厚法结果进行了对比。结果表明:NiCrAlYSi涂层和YSZ涂层磨坑直径与研磨时间均满足抛物线增加关系;相同条件下,所用研磨液粒径为5μm和10μm时获得的磨坑直径相当,均比1μm时的大;针对同一涂层,球坑测厚法与金相测厚法测量结果吻合度高,误差在6%以内。
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关键词
热障涂层
物理气相沉积
涂层厚度
球
坑
仪
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职称材料
用球坑仪测量多层膜的厚度
4
作者
张建民
《真空》
CAS
北大核心
1992年第5期23-25,28,共4页
本文叙述了球坑仪的结构及工作原理,用一台自制的球坑仪测量了镍箔片和铬/铜/ 铁三层膜的厚度。
关键词
球
坑
仪
厚度
测量
薄膜
材料
膜
下载PDF
职称材料
题名
直流三极偏压溅射沉积碳化钛膜
被引量:
4
1
作者
张建民
机构
陕西师范大学物理系
出处
《真空》
CAS
北大核心
1994年第1期29-31,共3页
文摘
本文利用直流三极偏压溅射法在刀具上沉积了碳化钛膜,用球坑仪测量了膜厚,并用HX-1000显微硬度计测量了膜的维氏硬度:实际试验表明,刀具的使用寿命提高了3~5倍。
关键词
溅射沉积
碳化钛
球
坑
仪
硬度
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
用球坑仪测量固体表面的硬度——球坑直径与磨坑时间的关系
被引量:
1
2
作者
张建民
机构
陕西师范大学物理系
出处
《真空》
CAS
北大核心
1997年第2期16-17,共2页
文摘
本文利用球坑仪对四种常用材料铝、铜、铁和钢进行了磨坑试验,测量了不同时刻的球坑直径,给出了球坑直径与磨坑时间的数学关系。
关键词
球
坑
仪
球
坑
直径
金属材料
硬度试验
磨
坑
时间
分类号
TH871.5 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究
3
作者
邓仲华
常振东
徐雷
胡江玮
蔡妍
牟仁德
机构
京东方科技集团股份有限公司
中国航发北京航空材料研究院
出处
《真空》
CAS
2022年第6期73-77,共5页
基金
国家重大科技专项(J2019-VI-0002-0115)。
文摘
为了满足热障涂层批量生产时对厚度快速、准确检测的需要,本文选用球坑测厚法对物理气相沉积热障涂层厚度进行了测量研究。首先在GH3039高温合金基体上分别制备厚约120μm的NiCrAlYSi涂层和Zr O_(2)·Y_(2)O_(3)(YSZ)涂层,研究了研磨液粒径、研磨时间等参数与磨坑直径的关系,随后根据试验结果对高温合金试片涂覆的NiCrAlYSi/YSZ热障涂层使用球坑测厚法进行了厚度测量,并与金相测厚法结果进行了对比。结果表明:NiCrAlYSi涂层和YSZ涂层磨坑直径与研磨时间均满足抛物线增加关系;相同条件下,所用研磨液粒径为5μm和10μm时获得的磨坑直径相当,均比1μm时的大;针对同一涂层,球坑测厚法与金相测厚法测量结果吻合度高,误差在6%以内。
关键词
热障涂层
物理气相沉积
涂层厚度
球
坑
仪
Keywords
thermal barrier coating
PVD
coating thickness
ball crater tester
分类号
TB44 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
用球坑仪测量多层膜的厚度
4
作者
张建民
机构
陕西师范大学物理系
出处
《真空》
CAS
北大核心
1992年第5期23-25,28,共4页
文摘
本文叙述了球坑仪的结构及工作原理,用一台自制的球坑仪测量了镍箔片和铬/铜/ 铁三层膜的厚度。
关键词
球
坑
仪
厚度
测量
薄膜
材料
膜
分类号
TB39 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流三极偏压溅射沉积碳化钛膜
张建民
《真空》
CAS
北大核心
1994
4
下载PDF
职称材料
2
用球坑仪测量固体表面的硬度——球坑直径与磨坑时间的关系
张建民
《真空》
CAS
北大核心
1997
1
下载PDF
职称材料
3
物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究
邓仲华
常振东
徐雷
胡江玮
蔡妍
牟仁德
《真空》
CAS
2022
0
下载PDF
职称材料
4
用球坑仪测量多层膜的厚度
张建民
《真空》
CAS
北大核心
1992
0
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职称材料
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