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直流三极偏压溅射沉积碳化钛膜 被引量:4
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作者 张建民 《真空》 CAS 北大核心 1994年第1期29-31,共3页
本文利用直流三极偏压溅射法在刀具上沉积了碳化钛膜,用球坑仪测量了膜厚,并用HX-1000显微硬度计测量了膜的维氏硬度:实际试验表明,刀具的使用寿命提高了3~5倍。
关键词 溅射沉积 碳化钛 硬度
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用球坑仪测量固体表面的硬度——球坑直径与磨坑时间的关系 被引量:1
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作者 张建民 《真空》 CAS 北大核心 1997年第2期16-17,共2页
本文利用球坑仪对四种常用材料铝、铜、铁和钢进行了磨坑试验,测量了不同时刻的球坑直径,给出了球坑直径与磨坑时间的数学关系。
关键词 直径 金属材料 硬度试验 时间
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物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究
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作者 邓仲华 常振东 +3 位作者 徐雷 胡江玮 蔡妍 牟仁德 《真空》 CAS 2022年第6期73-77,共5页
为了满足热障涂层批量生产时对厚度快速、准确检测的需要,本文选用球坑测厚法对物理气相沉积热障涂层厚度进行了测量研究。首先在GH3039高温合金基体上分别制备厚约120μm的NiCrAlYSi涂层和Zr O_(2)·Y_(2)O_(3)(YSZ)涂层,研究了研... 为了满足热障涂层批量生产时对厚度快速、准确检测的需要,本文选用球坑测厚法对物理气相沉积热障涂层厚度进行了测量研究。首先在GH3039高温合金基体上分别制备厚约120μm的NiCrAlYSi涂层和Zr O_(2)·Y_(2)O_(3)(YSZ)涂层,研究了研磨液粒径、研磨时间等参数与磨坑直径的关系,随后根据试验结果对高温合金试片涂覆的NiCrAlYSi/YSZ热障涂层使用球坑测厚法进行了厚度测量,并与金相测厚法结果进行了对比。结果表明:NiCrAlYSi涂层和YSZ涂层磨坑直径与研磨时间均满足抛物线增加关系;相同条件下,所用研磨液粒径为5μm和10μm时获得的磨坑直径相当,均比1μm时的大;针对同一涂层,球坑测厚法与金相测厚法测量结果吻合度高,误差在6%以内。 展开更多
关键词 热障涂层 物理气相沉积 涂层厚度
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用球坑仪测量多层膜的厚度
4
作者 张建民 《真空》 CAS 北大核心 1992年第5期23-25,28,共4页
本文叙述了球坑仪的结构及工作原理,用一台自制的球坑仪测量了镍箔片和铬/铜/ 铁三层膜的厚度。
关键词 厚度 测量 薄膜 材料
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