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题名调频连续波光纤压力传感器及其测量特性分析
被引量：5
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作者
白浪
郑刚
张雄星
孙彬
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机构
西安工业大学光电工程学院
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第3期208-215,共8页
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文摘
为了满足压力测量中的高灵敏度、高分辨率、高可靠性等要求,本文提出了一种基于调频连续波激光干涉解调原理的高精度膜片式珐珀腔光纤压力传感器。首先推导了基于该原理的压力测量模型,然后搭建了一套测量装置,通过气泵向SUS631不锈钢膜片组成的密封腔连续给压,得出气压在0~600 kPa范围内变化时膜片中心(即珐珀腔腔长变化量)随气压变化的特性曲线;之后,测试25℃环境条件下不同压力测量值的稳定性,讨论引起腔长变化量漂移的原因;最后,在消除系统误差后得出了压力测量的分辨率。结果表明:该传感器的灵敏度为286.55 nm/kPa,分辨率为0.287 nm/Pa,压力传感器的测量随机误差呈正态分布。该调频连续波光纤压力传感器可以进行高灵敏度、高分辨率和高稳定性测量。
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关键词
测量
调频连续波激光干涉
珐珀腔干涉仪
膜片压力原理
压力传感头
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Keywords
measurement
frequency-modulated continuous-wave laser interference
Fabry-Perot cavity interferometer
diaphragm pressure measurement
pressure sensor head
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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