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环境扫描电子显微镜工作原理及实现 被引量：10
1
作者 干蜀毅 陈长琦 +1 位作者 朱武 王先路 《真空电子技术》 2003年第6期29-32,共4页
系统介绍了环境扫描电子显微镜(ESEM)的研制历程和采用的关键技术。从常规扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理出发,列出了SEM成像信号产生的方式及特点。针对SEM在实际应用中暴露出的缺陷,ESEM提出了解决问题的措施。多重狭缝的采用,使... 系统介绍了环境扫描电子显微镜(ESEM)的研制历程和采用的关键技术。从常规扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理出发,列出了SEM成像信号产生的方式及特点。针对SEM在实际应用中暴露出的缺陷,ESEM提出了解决问题的措施。多重狭缝的采用,使样品室内压强可以大幅提高;而气体二次电子探头(GSED)的发明,使作为成像信号的二次电子信号得到加强。 展开更多
关键词 环境扫描电子显微镜(ESEM) 多重狭缝 成像信号 二次电子 ET探头 环境二次电子探头 气体二次电子探头
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扫描电子显微镜探头新进展 被引量：3
2
作者 干蜀毅 陈长琦 +1 位作者 朱武 王先路 《现代科学仪器》 2001年第1期47-49,共3页
介绍了扫描电子显微镜 (SEM)信号探头研究的最新成果。针对常规扫描电子显微镜缺陷而开发的新型探头不仅改善了仪器成像质量 ,也极大地扩展了仪器的使用范围 ,简化了样品的准备工作过程。
关键词 扫描电子显微镜 ET探头 环境二次电子探头 气体二次电子探头
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