期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
触针式轮廓测量机构的动态分析及非线性误差的消除 被引量：1
1
作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 周兆英 薛实福 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期606-611,共6页
在接触式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是实现高精度轮廓测量的关键。本文介绍了一种新型的十字片贫弹性支承的测量机构，建立了数学模型，对该机构的动态进行了分析，并得到触针测量力变化规律。同时，通过合理设计位移传感器的安... 在接触式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是实现高精度轮廓测量的关键。本文介绍了一种新型的十字片贫弹性支承的测量机构，建立了数学模型，对该机构的动态进行了分析，并得到触针测量力变化规律。同时，通过合理设计位移传感器的安装角度，消除了测量中的非线性二次项误差，保证了测量结果的真实性。 展开更多
关键词 轮廓仪 片簧支承 测量力 非线性误差 位移传感器
下载PDF
接触式轮廊测量中触针测量力的分析 被引量：2
2
作者 王云庆 李庆祥 周兆英 《现代计量测试》 1996年第1期18-21,17,共5页
接触式轮廓测量仪中，适当测量力的施加是十分重要的，本文介绍了依靠十字片簧弹性支承变形来提供测量力的测量机构．在分析其动态特性的基础上，导出了触针测量力的变化规律。
关键词 轮廓仪 片簧支承 触针 测量力
下载PDF
LSI 薄膜台阶测量仪的研制
3
作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期268-273,共6页
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满... 本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。 展开更多
关键词 台阶测量仪 触针 片簧支承 模糊控制 薄膜台阶
下载PDF
十字片簧弹性支承测量机构的特性分析与设计 被引量：3
4
作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《机械设计》 CSCD 北大核心 1997年第11期11-13,共3页
在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数设计。实验测得：测量力变化率为３５．６Ｎ／ｍ，固有... 在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数设计。实验测得：测量力变化率为３５．６Ｎ／ｍ，固有频率达到１９．２Ｈｚ。最后，通过仿真实验得到测量机构运动中回转中心偏移情况。 展开更多
关键词 轮廓测量仪 片簧支承测量机 特性分析
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部