期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
氧化硅水平隧穿结电子源及其应用
1
作者
朱韬远
李志伟
+2 位作者
詹芳媛
杨威
魏贤龙
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期737-748,共12页
电子源是真空电子设备的核心部件,片上微型电子源是实现微型化、片上化真空电子器件的关键和基础。氧化硅水平隧穿结电子源是本课题组近几年发展的一种新型片上微型电子源,其具有发射效率高、发射电流密度大、工作电压低、能耐受粗真空...
电子源是真空电子设备的核心部件,片上微型电子源是实现微型化、片上化真空电子器件的关键和基础。氧化硅水平隧穿结电子源是本课题组近几年发展的一种新型片上微型电子源,其具有发射效率高、发射电流密度大、工作电压低、能耐受粗真空和时间响应快等优点,展现出较大的应用潜力。文章将从电子发射微观过程及理论模型、阵列化集成以及在真空电子器件中的应用三个方面系统介绍氧化硅水平隧穿结电子源,并对本课题组在该方向上所做的工作进行梳理与总结。
展开更多
关键词
氧化硅水平隧穿结
电子
源
片上
微型
电子
源
微型
真空
电子
器件
下载PDF
职称材料
片上电子源的真空阳极键合
被引量：
1
2
作者
陶俊明
刘文超
+3 位作者
郭等柱
赵振征
陈清
魏贤龙
《真空电子技术》
2020年第4期28-33,共6页
本文介绍了一种新型片上微型电子源的真空阳极键合方法,以构建一个和片上微型电子源集成在一起的片上微型真空腔室。采用导线搭接的方法完成了硅玻璃交替的多层键合结构,实现了包含五层键合结构的片上微型真空三极管。使用氦质谱检漏仪...
本文介绍了一种新型片上微型电子源的真空阳极键合方法,以构建一个和片上微型电子源集成在一起的片上微型真空腔室。采用导线搭接的方法完成了硅玻璃交替的多层键合结构,实现了包含五层键合结构的片上微型真空三极管。使用氦质谱检漏仪对键合界面进行真空漏率的检测,提出了一种可改善电极跨越键合界面引起界面漏气的简单方法。
展开更多
关键词
阳极键合
片上
微型
电子
源
微纳真空
电子
器件
片上
微型
真空腔室
下载PDF
职称材料
题名
氧化硅水平隧穿结电子源及其应用
1
作者
朱韬远
李志伟
詹芳媛
杨威
魏贤龙
机构
北京大学电子学院纳米器件物理和化学教育部重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期737-748,共12页
基金
国家自然科学基金项目(62350040)
国家重点研发计划项目(2019YFZ0210201)。
文摘
电子源是真空电子设备的核心部件,片上微型电子源是实现微型化、片上化真空电子器件的关键和基础。氧化硅水平隧穿结电子源是本课题组近几年发展的一种新型片上微型电子源,其具有发射效率高、发射电流密度大、工作电压低、能耐受粗真空和时间响应快等优点,展现出较大的应用潜力。文章将从电子发射微观过程及理论模型、阵列化集成以及在真空电子器件中的应用三个方面系统介绍氧化硅水平隧穿结电子源,并对本课题组在该方向上所做的工作进行梳理与总结。
关键词
氧化硅水平隧穿结
电子
源
片上
微型
电子
源
微型
真空
电子
器件
Keywords
Silicon oxide horizontal tunneling junction electron sources
On-chip micro-electron sources
Micro-vacuum electronic devices
分类号
TN389 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
片上电子源的真空阳极键合
被引量：
1
2
作者
陶俊明
刘文超
郭等柱
赵振征
陈清
魏贤龙
机构
北京大学电子学系纳米器件物理与化学教育部重点实验室
北京大学软件与微电子学院
北京大学(天津滨海)新一代信息技术研究院
出处
《真空电子技术》
2020年第4期28-33,共6页
基金
国家重点研发计划项目(2019YFA0210201)。
文摘
本文介绍了一种新型片上微型电子源的真空阳极键合方法,以构建一个和片上微型电子源集成在一起的片上微型真空腔室。采用导线搭接的方法完成了硅玻璃交替的多层键合结构,实现了包含五层键合结构的片上微型真空三极管。使用氦质谱检漏仪对键合界面进行真空漏率的检测,提出了一种可改善电极跨越键合界面引起界面漏气的简单方法。
关键词
阳极键合
片上
微型
电子
源
微纳真空
电子
器件
片上
微型
真空腔室
Keywords
Anode bonding
On-chip micro electron source
Micro-nano vacuum electronic device
On-chip micro vacuum chamber
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧化硅水平隧穿结电子源及其应用
朱韬远
李志伟
詹芳媛
杨威
魏贤龙
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
片上电子源的真空阳极键合
陶俊明
刘文超
郭等柱
赵振征
陈清
魏贤龙
《真空电子技术》
2020
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
