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题名反应等离子体修饰熔石英光学元件表面研究
被引量：4
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作者
王锋
吴卫东
蒋晓东
唐永建
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机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期199-204,共6页
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基金
国家自然科学基金(20903083)
中国工程物理研究院科学技术发展基金(2010B0401056)资助课题
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文摘
反应等离子体去除表面2.5μm后,元件表面面形保持平整光滑,大尺度均方根粗糙度小于1.45 nm(测量范围为0.9 mm×1.2 mm),表面Fe,Ce等杂质元素含量逐渐减少,划痕等物理缺陷的密度与尺寸变小。修饰之后的非晶熔石英元件表面出现具有周期性的多晶结构,该多晶结构可增强元件透射率,有效抑制损伤增长,提高元件损伤阈值。随修饰深度增加,元件的损伤概率进一步下降。研究表明通过提高等离子体密度、加大激励源功率等方法改进工艺路线,反应等离子体修饰有望实现熔石英元件的快速、无损、大面积和批量化处理。
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关键词
熔石英光学元件
反应等离子修饰
透射率
损伤阈值
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Keywords
fused silica optical component
reactive plasma modification
transmittance
damage threshold
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分类号
O539
[理学—等离子体物理]
O531
[理学—物理]
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题名熔石英光学元件CO_(2)激光条形码制备研究
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作者
王海军
吴乾坤
栾晓雨
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机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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出处
《科技创新导报》
2022年第18期5-8,共4页
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文摘
分别采用连续CO_(2)激光和脉冲CO_(2)激光在熔石英元件表面制备条形码。采用连续CO_(2)激光制备的线条内部表面光滑,光散射信号极弱,但边缘有大范围的烧伤沉积物,展现出较强的光散射信号,不能形成满足条形码要求的散射光强度分布。采用脉冲CO_(2)激光扫描制备的条形码扫描线条可以形成整体较均匀的光散射信号,散射光强度分布满足条形码要求,并可以被商用条码扫描器识别。
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关键词
熔石英光学元件
CO_(2)激光器
条形码
散射光
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Keywords
Fused silica optics
CO_(2) laser
Bar code
Scattering ligh
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分类号
TH74
[机械工程—光学工程]
O441
[机械工程—仪器科学与技术]
TB34
[机械工程—精密仪器及机械]
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