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气相生长金刚石膜对衬底金刚石性能的影响 被引量：3
1
作者 张铁臣 金曾孙 +2 位作者 吕宪义 郭伟力 邹广田 《高压物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1990年第1期36-41,共6页
本文以高压合成金刚石为衬底材料,用热解CVD法在衬底金刚石表面生长了金刚石晶体。结果表明,生长金刚石后的衬底金刚石热性能有明显改善。
关键词 热解cvd法 金刚石 衬底 气相生长 金刚石膜
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热解CVD法沉积金刚石薄膜实验参数对沉积速率和晶粒尺寸的影响 被引量：1
2
作者 许宁 郑志豪 《薄膜科学与技术》 1994年第1期68-74,共7页
关键词 金刚石薄膜 热解cvd法 沉积速度
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热解CVD法同质外延金刚石单晶的研究 被引量：1
3
作者 李胜华 张志明 荘志诚 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期73-77,共5页
以有机低分子化合物丙酮与氢气为反应气体,用热解CVD 法在形状不规则的金刚石小颗粒上,外延出规整的立方八面体单晶金刚石颗粒,表面呈三角形或截角三角形形状,经反射高能电子衍射结构分析,确认是单晶。文中还讨论了金刚石结构中{111}面... 以有机低分子化合物丙酮与氢气为反应气体,用热解CVD 法在形状不规则的金刚石小颗粒上,外延出规整的立方八面体单晶金刚石颗粒,表面呈三角形或截角三角形形状,经反射高能电子衍射结构分析,确认是单晶。文中还讨论了金刚石结构中{111}面最容易显露的实验结果. 展开更多
关键词 金刚石 单晶 热解cvd法 同质外延
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