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热敏BARC显影工艺时长影响因素研究
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作者 孙洪君 关丽 +2 位作者 张德强 黄鹏 王俊阳 《现代工业经济和信息化》 2022年第3期251-253,共3页
热敏BARC(Bottom Anti-reflective Coating)是一种新型BARC光刻胶,不仅可以作为抗反射层,具有预防驻波效应的作用,还可以与其他PR或PI光刻胶配合进行显影工艺。通过实验探究热敏BARC光刻胶的显影工艺时长影响因素,尤其是匀胶后热盘烘烤... 热敏BARC(Bottom Anti-reflective Coating)是一种新型BARC光刻胶,不仅可以作为抗反射层,具有预防驻波效应的作用,还可以与其他PR或PI光刻胶配合进行显影工艺。通过实验探究热敏BARC光刻胶的显影工艺时长影响因素,尤其是匀胶后热盘烘烤条件变化,对其图形化工艺显影过程消耗时长的影响。实验结果显示:软烘热盘的工艺烘烤温度变化、软烘热盘的腔体中的气流场变化都可以影响热敏BARC光刻胶的显影工艺消耗时间长短。 展开更多
关键词 热敏barc 热盘温度 腔体气流场 barc显影
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