-
题名微机械硅桥的热激励挠曲及谐振频率变化的理论分析
被引量：3
- 1
-
-
作者
刘月明
刘君华
张少君
-
机构
西安交通大学
西安理工大学
-
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2000年第3期163-167,共5页
-
基金
国家自然基金资助项目!( 6 9776 0 37)
陕西省自然科学研究资助项目!( 97C12 )
-
文摘
本文分析了镀膜双层微机械硅桥的热激励挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计 .同时在充分考虑金属镀膜影响的情况下 ,给出了谐振频率变化的计算模型 ,该模型通过和测试数据的对比 ,验证了其正确性 .
-
关键词
热激励
热挠曲
谐振频率
微机械硅桥
传感器
-
Keywords
silicon bridge \ thermal excitation\ thermal deflection\ resonant frequency
-
分类号
TP212.12
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名转子的热稳定试验
被引量：2
- 2
-
-
作者
方国华
-
机构
杭州汽轮机股份有限公司
-
出处
《工业汽轮机》
2013年第1期30-34,共5页
-
文摘
本文首先阐述转子热稳定性试验目的和本意，分析了热挠曲类型与产生的原因。简要介绍了热稳定试验装置、试验前转子的准备与试验程序、评定方法。最后说明了热稳定性试验的必要性。
-
关键词
汽轮机
转子
热稳定性
热挠曲
热跑
-
分类号
TS262.6
[轻工技术与工程—发酵工程]
-
-
题名硅微传感器的热挠曲及谐振频率的计算
- 3
-
-
作者
刘月明
刘君华
张少君
-
机构
西安交通大学电气工程学院
西安理工大学
-
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第2期132-134,共3页
-
基金
国家自然科学基金资助项目! (6 9776 0 37)
陕西省自然科学研究资助项目!(97C12 )
-
文摘
分析了硅微机械谐振式传感器在热激励下的挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计。同时通过算例和测试数据的对比 ,验证了谐振频率计算模型的正确性。
-
关键词
硅微机谐振传感器
热挠曲
谐振频率
-
Keywords
silicon micromachine resonant sensors
thermal excitation
deflection
resonant frequency
-
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名用于谐振式传感器的微型双层薄板热挠曲的研究
被引量：1
- 4
-
-
作者
姚振华
朱长纯
程敏
刘君华
-
机构
西安交通大学真空微电子与微电子机械研究所
-
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第2期59-61,共3页
-
基金
国家自然科学基金
博士点基金
-
文摘
本文对微机械中热胀系数不同的材料构成的双层复合薄板在均匀温升下的挠曲特性进行了研究 ,提出了在均匀温升下双层薄板热挠曲求解的能量法 ,并给出了小挠度下中心挠度与板厚的解析关系 ,为薄膜谐振式传感器温度特性的研究和新型温度传感器的设计与开发打下了基础 .
-
关键词
薄膜微机械
谐振式传感器
双层薄板热挠曲
-
Keywords
membrane micro machine
resonance sensor
double layer membrance
thermal buckling
uniform temperature elevation
-
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
