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一种非完全覆盖多镀层微圆板谐振器热弹性阻尼通用计算框架
1
作者
杨龙飞
李普
+1 位作者
叶一舟
方昱斌
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2023年第2期235-243,275,共10页
热弹性阻尼(thermoelastic damping, TED)是决定微机械谐振器品质因子上限的关键参数之一。该研究首次提出了一种计算具有多个非完全覆盖镀层微圆板谐振器TED的通用理论框架。该解析模型可退化到完全覆盖双层微圆板TED模型,数值方法同...
热弹性阻尼(thermoelastic damping, TED)是决定微机械谐振器品质因子上限的关键参数之一。该研究首次提出了一种计算具有多个非完全覆盖镀层微圆板谐振器TED的通用理论框架。该解析模型可退化到完全覆盖双层微圆板TED模型,数值方法同样验证了当前模型的有效性。同时提出可用工程设计领域快速计算的简单模型,并分析了该简单模型的适用范围。最后研究了具有2个非完全镀层微圆板TED频率谱特性,发现了频率谱的三Debye峰现象。
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关键词
微机械谐振器
热
弹性
阻尼
(
ted
)
品质因子
热
弹性
理论
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职称材料
题名
一种非完全覆盖多镀层微圆板谐振器热弹性阻尼通用计算框架
1
作者
杨龙飞
李普
叶一舟
方昱斌
机构
南京理工大学智能制造学院
东南大学机械工程学院
重庆大学光电工程学院
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2023年第2期235-243,275,共10页
基金
国家自然科学基金(62104022)
MEMS教育部重点实验室(2242020k30039)
中国博士后科学基金(2021M691598)。
文摘
热弹性阻尼(thermoelastic damping, TED)是决定微机械谐振器品质因子上限的关键参数之一。该研究首次提出了一种计算具有多个非完全覆盖镀层微圆板谐振器TED的通用理论框架。该解析模型可退化到完全覆盖双层微圆板TED模型,数值方法同样验证了当前模型的有效性。同时提出可用工程设计领域快速计算的简单模型,并分析了该简单模型的适用范围。最后研究了具有2个非完全镀层微圆板TED频率谱特性,发现了频率谱的三Debye峰现象。
关键词
微机械谐振器
热
弹性
阻尼
(
ted
)
品质因子
热
弹性
理论
Keywords
micromechanical resonator
thermoelastic damping(
ted
)
quality factor
thermoelastity
分类号
TH113 [机械工程—机械设计及理论]
O343 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种非完全覆盖多镀层微圆板谐振器热弹性阻尼通用计算框架
杨龙飞
李普
叶一舟
方昱斌
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2023
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