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题名高时间分辨力瞬态热反射显微热成像装置
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作者
刘岩
翟玉卫
荆晓冬
丁立强
任宇龙
吴爱华
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《宇航计测技术》
CSCD
2022年第5期73-78,共6页
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文摘
瞬态热反射显微热成像能够测量电子器件表面温度分布,兼具高时间分辨力和高空间分辨力,在GaN HEMT等大功率器件热测试中应用日益广泛。研发了瞬态热反射显微热成像装置,利用窄脉冲照明,捕捉特定短时间内被测器件表面的图像,实现瞬态热反射热成像,时间分辨力达到1μs。以微带电阻作为被测器件开展了瞬态测温实验,激励脉宽10μs,测试得到了不同时刻微带电阻上温度分布,可以观察到升温和降温过程的细节,温度上升和下降时间在(2~3)μs,有效验证了装置的时间分辨力性能。
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关键词
热反射显微热成像
温度分布
瞬态
高时间分辨力
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Keywords
Thermoreflectance microscopy
Thermal distribution
Transient
High temporal resolution
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分类号
TN322.8
[电子电信—物理电子学]
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