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一种激光长刻机的工作原理
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作者 仝艳新 《航空精密制造技术》 2009年第1期57-59,共3页
介绍了一种静态激光长刻机的工作原理,并介绍了该光刻方法的关键技术和工艺。
关键词 光刻法 激光长刻机 重复曝光
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