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激光辅助MicroLED巨量转移技术进展
被引量：
7
1
作者
孙宁宁
杨彪
+5 位作者
陈福荣
胡金龙
余海洋
卞敬
段永青
黄永安
《中国科学：技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2022年第4期513-528,共16页
巨量转移是将几百万甚至上千万颗微米尺度的MicroLED芯片从源基板精准转移到显示基板上的制造技术,在转移良率、精度和速率等方面存在诸多挑战,成为制约新一代显示产品的技术瓶颈.基于激光-材料界面的相互作用已经发展了多种激光辅助转...
巨量转移是将几百万甚至上千万颗微米尺度的MicroLED芯片从源基板精准转移到显示基板上的制造技术,在转移良率、精度和速率等方面存在诸多挑战,成为制约新一代显示产品的技术瓶颈.基于激光-材料界面的相互作用已经发展了多种激光辅助转移技术,该种技术具有对器件损伤小、高度可选择性、响应快速高效等优势,目前成为极具潜力的巨量转移解决方案.本文首先介绍了巨量转移目前的技术实现方式和技术难点,随后评述了基于激光辅助的超薄微器件转移技术的最新进展,包括激光辅助的基本原理、转移工艺过程和目前达到的技术水平,最后探讨了在MicroLED芯片巨量转移领域的发展前景及挑战.
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关键词
微型发光二极管
巨量
转移
激光
辅助
转移
激光
剥离
动态释放层
原文传递
题名
激光辅助MicroLED巨量转移技术进展
被引量：
7
1
作者
孙宁宁
杨彪
陈福荣
胡金龙
余海洋
卞敬
段永青
黄永安
机构
华中科技大学机械科学与工程学院
出处
《中国科学：技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2022年第4期513-528,共16页
基金
国家自然科学基金项目(批准号:51635007)
湖北省自然科学基金项目(编号:2020CFA028)
数字制造装备与技术国家重点实验室开放课题(编号:DMETKF2021010)资助。
文摘
巨量转移是将几百万甚至上千万颗微米尺度的MicroLED芯片从源基板精准转移到显示基板上的制造技术,在转移良率、精度和速率等方面存在诸多挑战,成为制约新一代显示产品的技术瓶颈.基于激光-材料界面的相互作用已经发展了多种激光辅助转移技术,该种技术具有对器件损伤小、高度可选择性、响应快速高效等优势,目前成为极具潜力的巨量转移解决方案.本文首先介绍了巨量转移目前的技术实现方式和技术难点,随后评述了基于激光辅助的超薄微器件转移技术的最新进展,包括激光辅助的基本原理、转移工艺过程和目前达到的技术水平,最后探讨了在MicroLED芯片巨量转移领域的发展前景及挑战.
关键词
微型发光二极管
巨量
转移
激光
辅助
转移
激光
剥离
动态释放层
Keywords
MicroLED
mass transfer
laser-assisted transfer
laser lift off
dynamic release
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
TN873
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光辅助MicroLED巨量转移技术进展
孙宁宁
杨彪
陈福荣
胡金龙
余海洋
卞敬
段永青
黄永安
《中国科学：技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2022
7
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