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飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究
被引量：
5
1
作者
梁德志
王敏
+1 位作者
杜晨林
伍晓宇
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期174-177,共4页
为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量,通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验。采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量,并分析了微通道的形貌。结果表明,在飞秒激光功率为50mW、刻蚀...
为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量,通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验。采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量,并分析了微通道的形貌。结果表明,在飞秒激光功率为50mW、刻蚀速率为0.010mm/s、20~×显微物镜聚焦的实验条件下,可以制备出深度为1466μm、深宽比为32的石英玻璃微通道。此研究对3维结构维纳制造技术有一定的应用价值。
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关键词
超快
光
学
微通道
激
光诱导
背部
湿
刻
石英玻璃
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职称材料
题名
飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究
被引量：
5
1
作者
梁德志
王敏
杜晨林
伍晓宇
机构
深圳大学光电工程学院
深圳大学机电与控制工程学院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期174-177,共4页
基金
深圳市科技计划基础研究资助项目(JCYJ20140509172609175)
文摘
为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量,通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验。采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量,并分析了微通道的形貌。结果表明,在飞秒激光功率为50mW、刻蚀速率为0.010mm/s、20~×显微物镜聚焦的实验条件下,可以制备出深度为1466μm、深宽比为32的石英玻璃微通道。此研究对3维结构维纳制造技术有一定的应用价值。
关键词
超快
光
学
微通道
激
光诱导
背部
湿
刻
石英玻璃
Keywords
ultrafast optics
microchannel
laser-induced backside wet etching
silica glass
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究
梁德志
王敏
杜晨林
伍晓宇
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017
5
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参考文献
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