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水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验 被引量：8
1
作者 齐立红 李忠芳 +1 位作者 尼启良 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期272-275,共4页
实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线极紫外辐射。利用McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20nm波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明,在11～20nm波... 实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线极紫外辐射。利用McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20nm波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明,在11～20nm波段水靶激光等离子体光源存在多条线谱,均由水中氧离子电子跃迁产生。所用单色仪光谱分辨率Δλ≤0.075nm,波长扫描间隔0.5nm。另外,采用在喷嘴处加热的办法,很好地解决了水进入真空系统后绝热膨胀与蒸发过程中温度骤降而结冰的问题,有效地抑制了喷射距离缩短,克服了等离子体对喷嘴腐蚀严重的问题。 展开更多
关键词 激光等离子体光源 光谱测量 软X射线 水靶
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13．9和19．6nm正入射Mo／Si多层膜反射镜的反射率测量 被引量：3
2
作者 李敏 董宁宁 +6 位作者 刘震 刘世界 李旭 范鲜红 王丽辉 马月英 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1666-1672,共7页
为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组... 为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组建了一套适合反射率测量的实验装置,利用此装置测量了实验室制备的多层膜反射镜的反射率。测量之前对单色仪进行了标定并对光源稳定性进行了测量,结果显示,波长准确度是0.08 nm,光源信号抖动范围<5%,光源稳定性好。反射率测量结果显示,实验室能够制备出中心波长分别是13.91和19.60 nm的Mo/Si多层膜反射镜,相应反射率分别为41.9%和22.6%,半宽度为0.56和1.70 nm。同时还用WYKO测量得到13.9和19.6 nmMo/Si多层膜的表面粗糙度分别为0.52和0.55 nm。 展开更多
关键词 Mo/Si多层膜反射镜 反射率测量 表面粗糙度 极紫外光源 激光等离子体光源
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Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验 被引量：2
3
作者 尼启良 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期939-943,共5页
基于Xe的惰性和在13～14nm波段高的辐射强度，Xe被认为是极紫外投影光刻（EuVL）潜在的靶材，为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13．4nm的激光-EUV转... 基于Xe的惰性和在13～14nm波段高的辐射强度，Xe被认为是极紫外投影光刻（EuVL）潜在的靶材，为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13．4nm的激光-EUV转换效率、辐射稳定性及碎屑产生状况。实验结果表明，Xe在13．4nm的最高转换效率可以达到0．75％／2πsr／2%bw，辐射稳定性±4％（1σ），在激光打靶10^5次后无碎屑产生。 展开更多
关键词 Xe液体微滴喷射靶 激光等离子体光源 极紫外投影光刻
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CO_2,O_2,CF_4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱 被引量：2
4
作者 尼启良 陈波 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2465-2468,共4页
基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻(EUVL)应用,研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。该光源由一个可连续控温的不锈钢电磁喷气阀门、YAG激光器和能同步控制喷气阀门和激光器的脉冲发生器组成。使... 基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻(EUVL)应用,研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。该光源由一个可连续控温的不锈钢电磁喷气阀门、YAG激光器和能同步控制喷气阀门和激光器的脉冲发生器组成。使用液氮作致冷剂,控温范围77～473 K。对于足够高的背景气压和低的阀门温度,当气体经过阀门脉冲式地喷入真空靶室内时,气体经过气-液相变碎裂成大量的液体微滴形成液体微滴喷射靶。首先,依据非相对论量子力学理论,使用原子光谱分析常用的Cowan程序,计算了O2,CO2和CF4等几种液体在1011～1012W.cm-2激光功率密度下可能相应产生的O4+,O5+,O6+,O7+,F5+,F6+和F7+离子的电偶极辐射跃迁波长和跃迁概率。其次,在激光焦点功率密度为8×1011W.cm-2时,测量了CO2,O2,CF4液体微滴喷射靶在6～20 nm波段的光谱。理论计算结果与实验结果相比较,得出了所测量谱线的电偶极辐射跃迁波长和跃迁概率以及跃迁能级所应归属的组态和光谱项。 展开更多
关键词 液体微滴喷射靶 激光等离子体光源 极紫外投影光刻
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激光光谱学
5
《中国光学》 EI CAS 2003年第3期11-12,共2页
O433.54 2003031680激光等离子体软X射线光源的一种诊断方法=Diagnosticmethod for laser plasma soft X-ray source[刊,中]/尼启良(中科院长春光机所.吉林,长春(130022)),陈波…∥光学精密工程.—2002,10(3).—235-238介绍了一种新的... O433.54 2003031680激光等离子体软X射线光源的一种诊断方法=Diagnosticmethod for laser plasma soft X-ray source[刊,中]/尼启良(中科院长春光机所.吉林,长春(130022)),陈波…∥光学精密工程.—2002,10(3).—235-238介绍了一种新的、实用的测量激光等离子体软X射线光源光谱的方法。此方法以低噪声的通道电子倍增器探测来自光源的ns量级的脉冲光信号,并由低噪声、响应快的电荷灵敏前置放大器进一步将其放大,前放的输出电荷与输入的脉冲信号的峰值成正比。 展开更多
关键词 激光等离子体光源 低噪声 电荷灵敏前置放大器 通道电子倍增器 诊断方法 线光源 精密工程 光源光谱 脉冲信号 激光光谱学
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下一代光刻技术研究开发情况 被引量：1
6
作者 刘明 陈宝钦 《中国集成电路》 2003年第2期91-92,共2页
一、前言在微电子制造技术中,最为关键的是用于电路版图图形生成和复制的光刻技术,光刻技术的研究与开发在每一代集成电路技术的更新中都扮演着技术先导的角色。目前国际微电子领域最引人关注的热点就是即将到来的光刻技术变革。这一变... 一、前言在微电子制造技术中,最为关键的是用于电路版图图形生成和复制的光刻技术,光刻技术的研究与开发在每一代集成电路技术的更新中都扮演着技术先导的角色。目前国际微电子领域最引人关注的热点就是即将到来的光刻技术变革。这一变革将对整个微电子制造技术的发展产生深远的影响。由于分辨率增强技术的发展,光学光刻的极限分辨率可以达到光源波长的1/2。因此,193nm 展开更多
关键词 光刻技术 极紫外投影光刻 下一代光刻 投影光学系统 微电子 激光等离子体光源
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向商业化迈进的极紫外(EUV)光刻技术
7
作者 本刊编辑部 《电子工业专用设备》 2009年第4期1-7,43,共8页
在介绍EUV光刻原理和EUV光源基本概念的基础上,讨论了目前研究得最多、技术最成熟的激光产生的等离子体LPP光源,着重对EUV光源的初步应用和EUV光刻设备的开发进展情况进行了详细介绍与讨论。目前的研究进展表明,随着激光产生的等离子体... 在介绍EUV光刻原理和EUV光源基本概念的基础上,讨论了目前研究得最多、技术最成熟的激光产生的等离子体LPP光源,着重对EUV光源的初步应用和EUV光刻设备的开发进展情况进行了详细介绍与讨论。目前的研究进展表明,随着激光产生的等离子体EUV光源(LPP)功率的不断提高和EUV光刻设备的逐步成熟,极紫外(EUV)光刻技术将在2012年步入半导体产业的商业化生产。 展开更多
关键词 极紫外光刻 激光等离子体光源 光刻设备 22 nm技术节点 商业化生产
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小型高精度软X射线-极紫外反射率计 被引量：7
8
作者 尼启良 刘世界 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1886-1890,共5页
针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要，搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及... 针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要，搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪工作波段为1～125nm，光谱分辨率〈0．08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏，而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13．5nm和30．4nm的Mo／Si多层膜的反射率，测量结果表明测量重复性优于±0．5％，实现了对多层膜反射率的高精度测量。 展开更多
关键词 软X射线-极紫外反射率计 多层膜 液体靶激光等离子体光源
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激光等离子体X射线源的应用 被引量：3
9
作者 董全力 张杰 +2 位作者 王首钧 赵静 李英骏 《物理》 CAS 北大核心 2007年第8期609-618,共10页
激光等离子体作为X射线光源,具有光源体积小、亮度高、脉冲短等优点。因此,激光等离子体X射线光源在时间分辨诊断测量等方面具有重要的应用。文章简单介绍了这种光源在软X射线投影光刻技术、医学成像、晶体研究以及惯性约束核聚变(ICF)... 激光等离子体作为X射线光源,具有光源体积小、亮度高、脉冲短等优点。因此,激光等离子体X射线光源在时间分辨诊断测量等方面具有重要的应用。文章简单介绍了这种光源在软X射线投影光刻技术、医学成像、晶体研究以及惯性约束核聚变(ICF)研究等方面的应用。这四个方面分别属于信息,生物,材料和能源等四个科学领域。作者的目的在于让这些科研领域及其对应工业界的研究同行了解我们的工作,从而能够实现跨学科、跨领域的合作。 展开更多
关键词 激光等离子体X射线光源 时间分辨诊断测量 跨学科合作
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软X射线投影光刻的关键技术
10
《航空精密制造技术》 1997年第6期10-10,共1页
关键词 投影光刻 软X射线 多层膜 关键技术 光学元件 光刻胶 面形误差 反射掩模 激光等离子体光源 超精密加工
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