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机械加工表面微观形貌激光测量分析仪的设计 被引量：1
1
作者 朱静 陈良海 +1 位作者 伏乃林 王林高 《南通工学院学报（自然科学版）》 2002年第3期74-76,共3页
提出了用于测量加工表面微观轮廓高度的高频亮度调制、同源频率合成、软件鉴相的激光相位微距测量方法 ,提出了开放式PC系统结构。介绍了机械加工表面微观形貌激光测量评价仪的原理、测量电路设计与数字信号处理软件设计。该方法具有分... 提出了用于测量加工表面微观轮廓高度的高频亮度调制、同源频率合成、软件鉴相的激光相位微距测量方法 ,提出了开放式PC系统结构。介绍了机械加工表面微观形貌激光测量评价仪的原理、测量电路设计与数字信号处理软件设计。该方法具有分辨率高、动态响应快、评价指标参数多样且可扩充等特点。 展开更多
关键词 机械加工表面微观形貌激光测量分析仪 设计 高频亮度调制 激光相应测距 数字信号处理 频率合成
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