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1064 nm MOPA激光器非晶硅薄膜太阳能电池清边工艺研究 被引量：3
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作者 李勇 秦应雄 《应用激光》 CSCD 北大核心 2019年第2期275-278,共4页
利用1064nm MOPA光纤激光器对非晶硅薄膜太阳能电池制备工序中的激光清边工序进行了实验研究,探讨了激光器脉冲宽度、填充线间距、扫描速度等工艺参数对加工效果的影响。在脉冲宽度100ns,重复频率80kHz.填充线间距35μm,输出功率比100%... 利用1064nm MOPA光纤激光器对非晶硅薄膜太阳能电池制备工序中的激光清边工序进行了实验研究,探讨了激光器脉冲宽度、填充线间距、扫描速度等工艺参数对加工效果的影响。在脉冲宽度100ns,重复频率80kHz.填充线间距35μm,输出功率比100%,扫描速度3500mm/s,光斑交叠比wx=0.83,wy=0.88的参数下,获得了清边区表面理想,电阻值>1000MΩ的良好清边效果。 展开更多
关键词 非晶硅薄膜太阳能电池 激光清边 工艺参数
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