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激光清洗设备介绍 被引量：2
1
作者 宋峰 田彬 +1 位作者 邹万芳 刘淑静 《清洗世界》 CAS 2006年第4期27-32,共6页
现在,一些激光清洗机已经问世。一套激光清洗机的构造主要包括激光器系统、光束调整传输系统、移动平台系统、实时监测系统、自动控制操作系统等部分。这里介绍了这些部分的构造及整个激光清洗机的工作原理,并对一些已经在实际中应用的... 现在,一些激光清洗机已经问世。一套激光清洗机的构造主要包括激光器系统、光束调整传输系统、移动平台系统、实时监测系统、自动控制操作系统等部分。这里介绍了这些部分的构造及整个激光清洗机的工作原理,并对一些已经在实际中应用的几种激光清洗机给予了详细介绍。 展开更多
关键词 激光清洗机 激光清洗系统
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手持式激光清洗机的光学系统 被引量：2
2
作者 曹长宏 冯进良 《中北大学学报（自然科学版）》 CAS 2008年第1期88-90,共3页
通过对激光清洗机中的出光部分进行分析,利用光纤输出的固体激光器,设计了一种手持式光学聚焦系统,该设备可以通过光学系统来进行调焦,聚焦光束可以在人手或微机的控制下移动,实现在较长时间、较细线宽条件下对工件进行清洗等功能,尤其... 通过对激光清洗机中的出光部分进行分析,利用光纤输出的固体激光器,设计了一种手持式光学聚焦系统,该设备可以通过光学系统来进行调焦,聚焦光束可以在人手或微机的控制下移动,实现在较长时间、较细线宽条件下对工件进行清洗等功能,尤其可以对某些工件的特殊位置进行清洗,这是常规方法所不易实现的.并提出了一些优化的方案,为下一步实验奠定了基础. 展开更多
关键词 激光清洗机 光学聚焦系统 ND:YAG激光器
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一种灯泵Nd:YAG四波长激光清洗机的光路控制系统设计
3
作者 查根胜 孟献国 +2 位作者 贾先德 郭强 范一松 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期165-172,共8页
为了满足激光清洗中对多波长输出的需求,设计了能在一台激光清洗机中实现4个波长激光交替输出的光路控制系统。基于BBO晶体的非线性效应,通过主控制器程序对光路中的运动控件进行切换,实现在同一光路系统中输出4个波长。在激光器输出端... 为了满足激光清洗中对多波长输出的需求,设计了能在一台激光清洗机中实现4个波长激光交替输出的光路控制系统。基于BBO晶体的非线性效应,通过主控制器程序对光路中的运动控件进行切换,实现在同一光路系统中输出4个波长。在激光器输出端用二套振镜系统实现了各个波长激光束的扫描输出,拓展了该激光清洗机的使用范围.实验结果表明设计的光路控制系统稳定可靠,简单易行. 展开更多
关键词 激光技术 激光清洗机 四波长 光路控制
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激光清洗技术发展及应用 被引量：27
4
作者 邢宏楠 冉合利 +1 位作者 赵慧峰 郜丽坤 《清洗世界》 CAS 2018年第5期23-31,共9页
激光清洗相对于传统的一些清洗方法(机械清理、液体清洗),具有清洗效果优良、保护环境等诸多优点。文中对国内外激光清洗技术的发展现状、激光清洗的机理以及激光清洗目前的主要工业应用进行了简要概述。
关键词 激光清洗机理 激光清洗应用 激光清洗
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金属表面污染物的激光清洗研究现状与展望 被引量：25
5
作者 王海将 刘伟嵬 +2 位作者 余跃 唐梓珏 李明政 《内燃机与配件》 2016年第8期75-78,共4页
清洗是绿色再制造过程中的重要工序,传统的清洗方法会对环境造成不同程度污染。近几年国内外学者一直在研究各种有利于环境保护的清洗方法,激光清洗就是其中一种。激光清洗作为一种新型的绿色清洗方法,在许多领域中正在规模化应用,但是... 清洗是绿色再制造过程中的重要工序,传统的清洗方法会对环境造成不同程度污染。近几年国内外学者一直在研究各种有利于环境保护的清洗方法,激光清洗就是其中一种。激光清洗作为一种新型的绿色清洗方法,在许多领域中正在规模化应用,但是在机械清洗领域方面的应用还只是小范围涉及。本文结合国内外激光清洗在金属件上的研究现状,综述了激光清洗技术基本原理、清洗金属件的试验研究、激光清洗的优缺点等,并展望了该领域未来的发展方向。 展开更多
关键词 绿色再制造 激光清洗机理 金属件
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硅片表面纳米颗粒剥离及其成分检测方法研究
6
作者 刘立拓 王春龙 +4 位作者 余晓娅 石俊凯 黎尧 陈晓梅 周维虎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第16期158-165,共8页
硅片表面纳米级污染颗粒的检测与去除是集成电路制造(Integrated Circuit,IC)的关键环节.本文主要对纳秒级脉冲激光作用至硅片表面后纳米颗粒的动力学过程及颗粒成分在线检测方法进行了研究.搭建了双脉冲激光测量实验系统,并通过实验对3... 硅片表面纳米级污染颗粒的检测与去除是集成电路制造(Integrated Circuit,IC)的关键环节.本文主要对纳秒级脉冲激光作用至硅片表面后纳米颗粒的动力学过程及颗粒成分在线检测方法进行了研究.搭建了双脉冲激光测量实验系统,并通过实验对300 nm Cu颗粒进行了双脉冲激光实验观测,通过分析表征颗粒运动轨迹的击穿光谱特征,从实验上观测到了清洗激光作用后颗粒沿垂直硅片表面向上的运动轨迹.在综合考虑空气碰撞阻力、颗粒重力的影响下,建立了激光清洗后颗粒的运动模型,并与实验相结合求解了运动模型参数,计算获得了清洗激光作用后颗粒的初始速度和激光作用时间内颗粒的平均加速度.本文为激光诱导晶圆表面纳米颗粒去吸附以及激光至纳米颗粒动力学过程研究提供了一种模型方法,也为集成电路污染源在线检测提供了一种重要方法. 展开更多
关键词 纳米颗粒运动模型 激光诱导击穿光谱 激光清洗机理 成分检测
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