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题名标准硅球直径测量中的光路对准
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作者
康岩辉
邾继贵
罗志勇
叶声华
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机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
中国计量科学研究院
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期74-79,共6页
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基金
国家科技支撑计划资助项目(2006BAF06B06)
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文摘
针对标准单晶硅球直径精密测量的需要,本文在介绍标准硅球直径测量系统原理并分析其光路特点的基础上,根据建立的数学模型,对激光束斜入射标准板时产生的椭圆干涉图像进行了分析,并对不同入射角度时干涉环中心点带来的直径测量误差进行了研究。分析结果显示,在给定的实验条件下,当入射角为10-3rad时,误差已达6.6nm。提出了一种精确调整光束垂直入射平板的方法,实验结果表明,此方法能够使光束入射角的调整优于10-5rad,满足系统测量的要求。
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关键词
光学测量
直径测量
干涉环
椭圆度
激光光束对准
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Keywords
optical measurement
diameter measurement
interference ring
ellipticity
laser beam alignment
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分类号
TB921
[一般工业技术—计量学]
TH741.1
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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