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激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究
被引量：
7
1
作者
马艳
张宝武
+4 位作者
郑春兰
马珊珊
李佛生
王占山
李同保
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期1365-1369,共5页
利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处.采用了一种新的技术方案减小了实验对大的激光功率的要求.利用...
利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处.采用了一种新的技术方案减小了实验对大的激光功率的要求.利用激光驻波场会聚准直性较好的Cr原子,并使其沉积在硅基片上形成纳米光栅结构.经原子力显微镜测试表明纳米光栅的周期为215nm.
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关键词
激光
偶
极力
纳米计量
原子沉积
蓝失谐
原文传递
一种新颖的实现纳米条纹沉积方法研究
被引量：
3
2
作者
张文涛
朱保华
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第8期5392-5396,共5页
利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米量级条纹沉积技术是一种新型的研制纳米结构长度传递标准的方法,采用了一种新颖的方法,通过预准直孔的设定,将原子束在空间分成三部分,利用中间部分的原子束和近共振激光驻波场相互作用,在激...
利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米量级条纹沉积技术是一种新型的研制纳米结构长度传递标准的方法,采用了一种新颖的方法,通过预准直孔的设定,将原子束在空间分成三部分,利用中间部分的原子束和近共振激光驻波场相互作用,在激光驻波场辐射压力作用下使原子按照特定周期沉积在基板上,从而实现纳米条纹的制作.利用两侧部分的原子束与探测激光束相互作用,通过其感生荧光来监测中间部分原子束沉积过程中的准直效果,从而为原子的沉积过程提供实时的原子束特性监测.最后对纳米沉积条纹在经由三狭缝预准直结构作用前后的效果进行了三维仿真,结果表明,未采用该三狭缝预准直结构时,纳米沉积条纹的半高宽为32nm,对比度为8∶1,而采用该三狭缝预准直结构之后,纳米沉积条纹的半高宽为6.2nm,对比度为28∶1,大大提高了纳米沉积条纹的质量.
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关键词
原子光刻
激光
偶
极力
原子沉积
原文传递
题名
激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究
被引量：
7
1
作者
马艳
张宝武
郑春兰
马珊珊
李佛生
王占山
李同保
机构
同济大学物理系
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期1365-1369,共5页
基金
上海市纳米技术专项基金(批准号:0259nm034
0452nm029)资助的课题.~~
文摘
利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处.采用了一种新的技术方案减小了实验对大的激光功率的要求.利用激光驻波场会聚准直性较好的Cr原子,并使其沉积在硅基片上形成纳米光栅结构.经原子力显微镜测试表明纳米光栅的周期为215nm.
关键词
激光
偶
极力
纳米计量
原子沉积
蓝失谐
Keywords
laser dipole force, nanometmlogy, atoms deposition, blue detufiing
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
一种新颖的实现纳米条纹沉积方法研究
被引量：
3
2
作者
张文涛
朱保华
机构
桂林电子科技大学电子工程学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第8期5392-5396,共5页
文摘
利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米量级条纹沉积技术是一种新型的研制纳米结构长度传递标准的方法,采用了一种新颖的方法,通过预准直孔的设定,将原子束在空间分成三部分,利用中间部分的原子束和近共振激光驻波场相互作用,在激光驻波场辐射压力作用下使原子按照特定周期沉积在基板上,从而实现纳米条纹的制作.利用两侧部分的原子束与探测激光束相互作用,通过其感生荧光来监测中间部分原子束沉积过程中的准直效果,从而为原子的沉积过程提供实时的原子束特性监测.最后对纳米沉积条纹在经由三狭缝预准直结构作用前后的效果进行了三维仿真,结果表明,未采用该三狭缝预准直结构时,纳米沉积条纹的半高宽为32nm,对比度为8∶1,而采用该三狭缝预准直结构之后,纳米沉积条纹的半高宽为6.2nm,对比度为28∶1,大大提高了纳米沉积条纹的质量.
关键词
原子光刻
激光
偶
极力
原子沉积
Keywords
atom lithography
dipole force
atomic deposition
分类号
O562 [理学—原子与分子物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究
马艳
张宝武
郑春兰
马珊珊
李佛生
王占山
李同保
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
7
原文传递
2
一种新颖的实现纳米条纹沉积方法研究
张文涛
朱保华
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
原文传递
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