期刊文献+
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
背环式磁控溅射靶 被引量:5
1
作者 王怡德 《真空》 CAS 北大核心 1999年第2期27-30,共4页
本文报导了磁控溅射靶设计的一种新思路,这种长条矩形靶是垂直安装并双面溅射的靶,溅射轨道按“背环”方式来布局的一种新靶型,称为背环靶。背环靶最主要的优点是:与同样靶长的其他靶型相比,溅射有效均匀区最长,因而膜层均匀性和... 本文报导了磁控溅射靶设计的一种新思路,这种长条矩形靶是垂直安装并双面溅射的靶,溅射轨道按“背环”方式来布局的一种新靶型,称为背环靶。背环靶最主要的优点是:与同样靶长的其他靶型相比,溅射有效均匀区最长,因而膜层均匀性和重复性较好。这种靶型,或在该靶型结构思路上变换出来的新靶,在其他机型中应用,也有若干明显的优点。 展开更多
关键词 背环靶 溅射 均匀性 重复性 磁控溅射
下载PDF
PVD轴瓦溅射工艺研究 被引量:3
2
作者 吴文俊 《舰船科学技术》 2010年第8期182-184,189,共4页
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动... 研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动层),这是研制PVD轴瓦的重点和难点。通过反复试验,得出了影响溅射膜层附着强度、沉积速度、维氏硬度、减摩层断面微观形貌等性能的有关参数的优化值并确定了工艺流程。铝合金减摩层的组分含量、附着强度、维氏硬度等性能达到或优于图纸要求。铝合金减摩层断面微观形貌及软锡(Sn)相颗粒直径和分布状态等性能达到外同类产品或文献报道的水平。 展开更多
关键词 PVD轴瓦 磁控溅射 偏压 溅射 减摩
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部