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背环式磁控溅射靶
被引量:
5
1
作者
王怡德
《真空》
CAS
北大核心
1999年第2期27-30,共4页
本文报导了磁控溅射靶设计的一种新思路,这种长条矩形靶是垂直安装并双面溅射的靶,溅射轨道按“背环”方式来布局的一种新靶型,称为背环靶。背环靶最主要的优点是:与同样靶长的其他靶型相比,溅射有效均匀区最长,因而膜层均匀性和...
本文报导了磁控溅射靶设计的一种新思路,这种长条矩形靶是垂直安装并双面溅射的靶,溅射轨道按“背环”方式来布局的一种新靶型,称为背环靶。背环靶最主要的优点是:与同样靶长的其他靶型相比,溅射有效均匀区最长,因而膜层均匀性和重复性较好。这种靶型,或在该靶型结构思路上变换出来的新靶,在其他机型中应用,也有若干明显的优点。
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关键词
背环靶
溅射
膜
层
均匀性
重复性
磁控
溅射
薄
膜
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职称材料
PVD轴瓦溅射工艺研究
被引量:
3
2
作者
吴文俊
《舰船科学技术》
2010年第8期182-184,189,共4页
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动...
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动层),这是研制PVD轴瓦的重点和难点。通过反复试验,得出了影响溅射膜层附着强度、沉积速度、维氏硬度、减摩层断面微观形貌等性能的有关参数的优化值并确定了工艺流程。铝合金减摩层的组分含量、附着强度、维氏硬度等性能达到或优于图纸要求。铝合金减摩层断面微观形貌及软锡(Sn)相颗粒直径和分布状态等性能达到外同类产品或文献报道的水平。
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关键词
PVD轴瓦
磁控
溅射
偏压
溅射
膜
层
栅
层
减摩
层
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职称材料
题名
背环式磁控溅射靶
被引量:
5
1
作者
王怡德
机构
北京仪器厂
出处
《真空》
CAS
北大核心
1999年第2期27-30,共4页
文摘
本文报导了磁控溅射靶设计的一种新思路,这种长条矩形靶是垂直安装并双面溅射的靶,溅射轨道按“背环”方式来布局的一种新靶型,称为背环靶。背环靶最主要的优点是:与同样靶长的其他靶型相比,溅射有效均匀区最长,因而膜层均匀性和重复性较好。这种靶型,或在该靶型结构思路上变换出来的新靶,在其他机型中应用,也有若干明显的优点。
关键词
背环靶
溅射
膜
层
均匀性
重复性
磁控
溅射
薄
膜
分类号
TB43 [一般工业技术]
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
PVD轴瓦溅射工艺研究
被引量:
3
2
作者
吴文俊
机构
重庆跃进机械厂有限公司
出处
《舰船科学技术》
2010年第8期182-184,189,共4页
文摘
研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动层),这是研制PVD轴瓦的重点和难点。通过反复试验,得出了影响溅射膜层附着强度、沉积速度、维氏硬度、减摩层断面微观形貌等性能的有关参数的优化值并确定了工艺流程。铝合金减摩层的组分含量、附着强度、维氏硬度等性能达到或优于图纸要求。铝合金减摩层断面微观形貌及软锡(Sn)相颗粒直径和分布状态等性能达到外同类产品或文献报道的水平。
关键词
PVD轴瓦
磁控
溅射
偏压
溅射
膜
层
栅
层
减摩
层
Keywords
PVD half bearing
magnetron sputter
bias
sputtering coating
barrier layer
antifriction layer
分类号
U664.121 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
背环式磁控溅射靶
王怡德
《真空》
CAS
北大核心
1999
5
下载PDF
职称材料
2
PVD轴瓦溅射工艺研究
吴文俊
《舰船科学技术》
2010
3
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
统计分析
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