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SiGe/GAP合金的高温退火特性 被引量:2
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作者 高敏 D.M.Rowe 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第9期713-717,共5页
对SiGe/GaP合金进行的退火研究发现,当这种合金经受了高温-低温-高温三步骤退火后,材料的温差电功率因子(α~2σ)得到了进一步的改善。
关键词 硅-锗合金 高温退火 温差电性质
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