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网状阴极辉光放电法在钛合金表面渗镀Ta的应用 被引量:1
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作者 陈飞 张跃飞 +3 位作者 潘俊德 唐宾 窦瑞芬 徐重 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期148-150,共3页
设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成。结构简单,溅射率高。将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的耐蚀性,是一种高耐蚀合金。
关键词 网状阴极辉光放电法 钛合金 阴极溅射
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网状阴极溅射法在钛合金表面渗镀Ta的耐蚀性研究
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作者 陈飞 潘俊德 +3 位作者 窦瑞芬 张跃飞 唐宾 徐重 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期54-56,共3页
研究设计了一种网状阴极溅射靶 ,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成。结构简单 ,溅射率高。将其用于双层辉光离子渗钽中 ,在钛合金TC4(Ti 6Al 4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织 ,进一步提高了钛合金的耐蚀性 。
关键词 网状阴极溅射法 钛合金 耐蚀性 表面处理
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