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磁力研磨法对陶瓷管内表面超精密抛光技术的试验研究 被引量:29
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作者 陈燕 张广彬 +1 位作者 韩冰 李昌 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期131-137,共7页
应用磁力研磨法,利用外部磁场控制陶瓷管内部的磁粒刷运动,从而实现对整个陶瓷管内表面的超精密抛光.通过理论分析和试验结果相结合的方法验证了应用磁力研磨法对陶瓷管内表面进行光整加工方法的可行性;为了提高研磨效率,利用ANSYS软件... 应用磁力研磨法,利用外部磁场控制陶瓷管内部的磁粒刷运动,从而实现对整个陶瓷管内表面的超精密抛光.通过理论分析和试验结果相结合的方法验证了应用磁力研磨法对陶瓷管内表面进行光整加工方法的可行性;为了提高研磨效率,利用ANSYS软件模拟分析并结合试验验证,提出了在陶瓷管内部增加V型磁铁,改变磁回路的磁力线分布,增大了工作区域的磁感应强度,研磨效率成倍增加;通过试验分别对研磨液用量、铁粒子粒径、金刚石粒子粒径等参数对陶瓷管内表面研磨质量和效率的影响进行分析和研究,对工艺参数进行了优化设计.试验结果证明磁力研磨后陶瓷管内表面粗糙度值Ra可以由原始的0.4μm降至0.02μm,达到镜面抛光的效果,为陶瓷管内表面超精密抛光加工提供了一种新方法. 展开更多
关键词 陶瓷管 磁力研磨 混合磨料 V型磁铁
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磨料水射流切割技术分析及研究 被引量:11
2
作者 吴海 刘波 +1 位作者 王国涛 何红阳 《机械管理开发》 2010年第4期9-10,共2页
分析磨料水射流切割技术的基本原理和切割机理;可寻求影响高压水射流切割技术的相关规律。
关键词 混合磨料 高压水射流 切割机理
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Portable mixed abrasive water jet equipment for rescue in high gas mine shaft 被引量:7
3
作者 ZENG Rui DU Chang-long +1 位作者 XU Rui ZHAO Jing 《Journal of Coal Science & Engineering(China)》 2011年第2期207-211,共5页
In order to rescue a trapped miner and clean out roadways quickly in a high gas mine shaft after a mining mishap, a special portable cold-cutting equipment is needed, the main technology parameters were calculated acc... In order to rescue a trapped miner and clean out roadways quickly in a high gas mine shaft after a mining mishap, a special portable cold-cutting equipment is needed, the main technology parameters were calculated according to the advanced cold-cutting technology of high pressure abrasive water jet and the portable mixed abrasive water jet equipment (PAWE) was designed to meet the needs of emergency rescue in high gas mine shafts. Tested the PAWE in a high gas environment, and the result shows that the maximum cutting depth of solid iron pipe is 18 mm and the recoilforce of the sprayer is 28.9 N under the conditions that actual cutting pressure is 29 MPa, starting target distance is 10 ram, cutting speed is 180 mm/min and concentration of abrasive is 32%. The course of the experiment in the high gas environment was smooth and continuous, without any explosion. The PAWE is easy to move and operate, but the nozzle which was worn badly in the sprayer should be changed every 8 minutes. 展开更多
关键词 PORTABLE ABRASIVE water jet emergency rescue GAS
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混合磨料对LED用蓝宝石衬底CMP质量的影响 被引量:7
4
作者 于江勇 刘玉岭 +2 位作者 牛新环 李英的 夏显召 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第B08期84-86,共3页
分析了混合磨料在蓝宝石衬底化学机械抛光(CMP)过程中的作用机理,并对比了SiO2水溶胶磨料和SiO2与Al2O3混合磨料对蓝宝石衬底去除速率的影响。研究表明,在主磨料SiO2水溶胶中加入浓度为20mL/L同粒径纳米级的Al2O3可以使CMP过程中的化学... 分析了混合磨料在蓝宝石衬底化学机械抛光(CMP)过程中的作用机理,并对比了SiO2水溶胶磨料和SiO2与Al2O3混合磨料对蓝宝石衬底去除速率的影响。研究表明,在主磨料SiO2水溶胶中加入浓度为20mL/L同粒径纳米级的Al2O3可以使CMP过程中的化学作用与机械作用达到相互平衡,使抛光去除速率得到明显提高。在距抛光终点5~10min通过调整工艺参数与抛光液配比,使表面粗糙度由2.32nm降至0.236nm。 展开更多
关键词 蓝宝石衬底 化学机械抛光 混合磨料 去除 速率
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不同磨料对蓝宝石CMP的影响 被引量:6
5
作者 赵云鹤 檀柏梅 +2 位作者 牛新环 甄加丽 郭倩 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第2期120-125,共6页
在化学机械抛光(CMP)系统中,磨料是决定去除速率和表面状态的重要因素。在单一磨料下进行了单因素实验,在不同的压力、转速、流量和温度下对比了SiO2磨料和Al2O3磨料对蓝宝石去除速率及表面状态的影响;同时也探究了混合磨料对蓝宝石去... 在化学机械抛光(CMP)系统中,磨料是决定去除速率和表面状态的重要因素。在单一磨料下进行了单因素实验,在不同的压力、转速、流量和温度下对比了SiO2磨料和Al2O3磨料对蓝宝石去除速率及表面状态的影响;同时也探究了混合磨料对蓝宝石去除速率的影响。研究表明,在单一磨料的CMP实验中,当压力为4 psi(1 psi=6 894.76 Pa)、转速为80 r/min、流量为70 mL/min和温度为35℃时,SiO2磨料对蓝宝石的去除速率高,表面状态好;在混合磨料的CMP实验中,和单一的SiO2磨料相比,Al2O3/SiO2混合磨料对蓝宝石的去除速率要低很多,而SiO2/CeO2混合磨料的去除速率要比单一SiO2磨料的略高一些。 展开更多
关键词 蓝宝石 化学机械抛光(CMP) 单一磨料 混合磨料 去除速率
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磁性磨粒辅助磁针磁力研磨的应用研究 被引量:5
6
作者 周传强 韩冰 +2 位作者 肖春芳 陈燕 刘新龙 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期275-282,共8页
目的解决磁针磁力研磨工艺中磁针对工件表面碰撞损伤及存在研磨盲区的问题。方法在磁针中加入磁性磨粒增加磁针束的柔性,同时磁针为磁性磨粒提供研磨压力和切削力。将三相正弦交流电接入定子线圈,利用交流电的相位差产生旋转磁场,驱动... 目的解决磁针磁力研磨工艺中磁针对工件表面碰撞损伤及存在研磨盲区的问题。方法在磁针中加入磁性磨粒增加磁针束的柔性,同时磁针为磁性磨粒提供研磨压力和切削力。将三相正弦交流电接入定子线圈,利用交流电的相位差产生旋转磁场,驱动混合磨料对微小复杂工件进行研磨。在混合磨料总质量不变的条件下,依次采用磁针、磁性磨粒和不同质量混合比的混合磨料进行对比试验。结果相较于单一磨料,使用混合磨料加工40 min后的工件表面形貌较好,表面粗糙度值下降幅度大,且有较大的材料去除量。当磁针与磁性磨粒的质量混合比为1∶2时,加工后的工件表面形貌最佳,无明显加工纹理和磁针碰撞痕迹,工件表面粗糙度值由原始的1.0μm下降到0.54μm左右,材料去除量为2.8 mg左右,微小沟槽内无研磨盲区。结论在电磁研磨工艺中,使用磁针和磁性磨粒质量比为1∶2的混合磨料可提高研磨效果,避免磁针的碰撞对工件表面造成损伤,磁针可将磁性磨粒挤入工件微小沟槽,无研磨盲区。 展开更多
关键词 电磁研磨 混合磨料 微小复杂工件 表面质量 微小沟槽
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STI CMP中SiO_(2)/CeO_(2)混合磨料对SiO_(2)介质层CMP性能的影响 被引量:4
7
作者 刘志 王辰伟 +4 位作者 周建伟 张新颖 刘光耀 李越 闫妹 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第11期865-872,共8页
为了在浅沟槽隔离(STI)化学机械平坦化(CMP)过程中提高对SiO_(2)介质层去除速率的同时保持晶圆表面一致性,研究了SiO_(2)/CeO_(2)混合磨料的协同作用以及对SiO_(2)介质层去除速率及一致性的影响。结果显示,相比于单一磨料,采用混合磨料... 为了在浅沟槽隔离(STI)化学机械平坦化(CMP)过程中提高对SiO_(2)介质层去除速率的同时保持晶圆表面一致性,研究了SiO_(2)/CeO_(2)混合磨料的协同作用以及对SiO_(2)介质层去除速率及一致性的影响。结果显示,相比于单一磨料,采用混合磨料能够兼顾介质去除速率和一致性。采用质量分数10%SiO_(2)(粒径为80 nm)与质量分数0.7%CeO_(2)磨料混合抛光后,对介质层的去除速率达到347 nm/min,片内非均匀性(WIWNU)为9.38%。通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)观察颗粒状态发现,晶圆表面吸附大量的SiO_(2)颗粒会阻碍CeO_(2)磨料与晶圆表面接触,从而降低对晶圆中心的去除速率,使化学作用更均匀。通过将小粒径SiO_(2)磨料(40 nm)与CeO_(2)磨料混合,使介质层去除速率进一步提升至374 nm/min, WIWNU降低到8.83%,用原子力显微镜(AFM)表征抛光后晶圆的表面质量,小粒径SiO_(2)混合磨料抛光后的SiO_(2)介质层表面粗糙度为0.35 nm,在达到较高抛光性能的同时获得了较好的表面质量。 展开更多
关键词 化学机械平坦化(CMP) 二氧化硅(SiO_(2)) 混合磨料 片内非均匀性(WIWNU) 协同作用
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刚玉和碳化硅混合磨料陶瓷砂轮的研究 被引量:3
8
作者 张岩 王季媛 +1 位作者 王辉 李海燕 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 1999年第2期32-34,共3页
关键词 刚玉 碳化硅 混合磨料 陶瓷砂轮 砂轮
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工程试验法在新型树脂切割砂轮研究中的应用 被引量:2
9
作者 王改民 陈金身 智红梅 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2005年第2期67-70,共4页
本文报道了工程试验法在棕刚玉-黑碳化硅混合磨料树脂切割砂轮研究中的应用。实验表明:工程试验法能够以最少的试验次数优选出最佳的试验配方。优选的配方为:棕刚玉与黑碳化硅之比在90:10-95:5;酚醛树脂在18% -20%;填料在6%-8%;成型密度... 本文报道了工程试验法在棕刚玉-黑碳化硅混合磨料树脂切割砂轮研究中的应用。实验表明:工程试验法能够以最少的试验次数优选出最佳的试验配方。优选的配方为:棕刚玉与黑碳化硅之比在90:10-95:5;酚醛树脂在18% -20%;填料在6%-8%;成型密度在2.24g/cm3左右。该产品与单一棕刚玉树脂切割砂轮相比,在不增加综合成本的情况下各项使用性能均有明显的提高。切割效率从2.52g/s提高到2.97g/s,提高了17.86%,;耐用度从3.61g/g提高到4.29g/g,提高了18.84%;砂轮工作线速度从70m/s提高到75m/s以上,提高了7.14%;回转强度从6240r/min提高到6560r/min,提高了5.1%。该产品具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 工程试验法 切割砂轮 混合磨料 切割效率 耐用度
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混合磨料辅助电磁抛光法对喷嘴的试验研究 被引量:2
10
作者 于克强 李彦俊 +1 位作者 李阔 陈燕 《机械设计与制造》 北大核心 2021年第8期95-98,共4页
航空发动机中的微小燃油喷嘴在机加工后棱边产生毛刺和飞边等表面缺陷,尤其是一些窄小的棱边和沟槽,用传统加工方法很难去除或去除效率低下。利用旋转电磁场磁力研磨工艺,辅以磁针与磁性磨粒的混合磨料。均匀且强大的旋转电磁场及磁力... 航空发动机中的微小燃油喷嘴在机加工后棱边产生毛刺和飞边等表面缺陷,尤其是一些窄小的棱边和沟槽,用传统加工方法很难去除或去除效率低下。利用旋转电磁场磁力研磨工艺,辅以磁针与磁性磨粒的混合磨料。均匀且强大的旋转电磁场及磁力线可以穿透物体,带动磁针旋转,同时被磁场磁化的磁针两端吸附磁性磨粒,形成以磁针为载体的磁力研磨刷,大量磁力研磨刷与喷嘴产生相对运动而形成随机频繁的相互撞击、滑擦,达到抛光喷嘴表面和去毛刺的目的。通过3D超景深电镜观察了研磨前后喷嘴表面微观形貌。试验结果表明:利用混合磨料能够有效地去除喷嘴微小表面区域和沟槽的毛刺、飞边等缺陷,使表面形貌得到改善。 展开更多
关键词 喷嘴 旋转电磁场 磁力研磨 磁针 混合磨料 毛刺
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磨料混合对硅通孔铜膜抛光效果的影响 被引量:1
11
作者 郑晴平 王如 吴彤熙 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2022年第12期117-124,共8页
磨料的粒径分布严重影响铜膜抛光效果,单一粒径磨料在抛光过程中,部分较大或较小磨料的作用难以准确评估。针对这一问题,采用不同且粒径相近(40、60和80 nm)的磨料混合来表征反映粒径分散性对铜膜抛光的影响,研究单一磨料、2种和3种粒... 磨料的粒径分布严重影响铜膜抛光效果,单一粒径磨料在抛光过程中,部分较大或较小磨料的作用难以准确评估。针对这一问题,采用不同且粒径相近(40、60和80 nm)的磨料混合来表征反映粒径分散性对铜膜抛光的影响,研究单一磨料、2种和3种粒径磨料混合的抛光液对硅通孔铜膜抛光的影响。结果表明:在相同质量分数条件下,不同粒径磨料混合能提高铜膜抛光速率和改善表面质量;2种粒径磨料混合时,粒径差距越大,则抛光速率越快;3种粒径磨料混合时其抛光速率和抛光表面质量优于单一粒径和2种粒径混合,当40、60和80 nm 3种粒径磨料的比例为1∶3∶2时,抛光效果最好。建立铜片与抛光垫之间磨料分布的物理模型,揭示混合磨料提高铜膜去除速率的机制,计算出磨料与铜片的接触面积。 展开更多
关键词 硅通孔 化学机械抛光 混合磨料 去除速率 粗糙度
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新型硅基抛光磨料的研究进展 被引量:1
12
作者 王丹 秦飞 +3 位作者 刘卫丽 孔慧 宋志棠 施利毅 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1608-1612,共5页
二氧化硅具有优异的抛光性能,是最重要的抛光磨料之一。然而随着新材料、新结构的出现,CMP磨料的需求出现多样化趋势,通过对纳米颗粒的物理化学性质进行微观设计达到满足不同材料抛光需求的目的成为新的研究方向。目前SiO_2基体的新型... 二氧化硅具有优异的抛光性能,是最重要的抛光磨料之一。然而随着新材料、新结构的出现,CMP磨料的需求出现多样化趋势,通过对纳米颗粒的物理化学性质进行微观设计达到满足不同材料抛光需求的目的成为新的研究方向。目前SiO_2基体的新型磨料包括异形磨料、混合磨料和复合磨料。混合磨料、异形磨料已经取得一定进展;复合磨料尚处于发展阶段,是未来磨料研究的主要方向和趋势。就SiO_2为基体的几种新型磨料的应用和抛光原理进行了简要说明。 展开更多
关键词 二氧化硅 复合磨料 非球形 混合磨料 掺杂 化学机械抛光
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平面磁研磨使用铁粉混合磨料的研究
13
作者 王风辉 刘云 进村武男 《新技术新工艺》 北大核心 1997年第6期14-15,共2页
使用铁粉混合磨料对硬质材料的平面磁研磨方法,可大幅度提高研磨效率,降低磨料成本,并能得到表面粗糙度Rmax=0.05μm的超精密研磨的效果。
关键词 铁粉 混合磨料 硬质材料 平面磁研磨
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钢管涂敷生产的抛射除锈处理 被引量:1
14
作者 张宏 侯强 《中国石油和化工标准与质量》 2017年第10期35-36,共2页
钢管的表面处理是控制防腐层质量的关键环节,通常都是在工厂生产线上进行的,抛射除锈因其除锈效率高、磨料利用率高、更适合大规模作业,所以在管道防腐领域应用广泛。文中结合生产实际,阐述了抛射除锈作业中磨料使用需要注意的几个问题。
关键词 钢管涂敷 表面处理 抛射除锈 混合磨料
原文传递
新型树脂切割砂轮的研制
15
作者 王改民 郭广玲 《郑州工业高等专科学校学报》 2001年第3期4-7,共4页
本文介绍一种新型的混合磨料树脂结合剂切割砂轮的制造技术,对其切割机理进行了探讨,系统阐述了影响树脂切割砂轮的切割效率、耐用度等方面的因素。
关键词 树脂切割砂轮 混合磨料 切割效率 耐用度 切割机理
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石英玻璃管磁粒研磨机理与光整试验研究 被引量:1
16
作者 刘冬冬 朱子俊 +1 位作者 李逵 韩冰 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2019年第9期18-23,共6页
为了提高激光陀螺光学腔体内壁的光整度,采用混合磨料法对石英玻璃管内表面进行粗磨光整试验,研究了径向辅助磁极与球形辅助磁极链及不同质量比条件下的铁粒子和金刚石粒子对玻璃管内表面研磨效果的影响。结果表明:在球形磁极链作为辅... 为了提高激光陀螺光学腔体内壁的光整度,采用混合磨料法对石英玻璃管内表面进行粗磨光整试验,研究了径向辅助磁极与球形辅助磁极链及不同质量比条件下的铁粒子和金刚石粒子对玻璃管内表面研磨效果的影响。结果表明:在球形磁极链作为辅助磁极,铁粒子与金刚石粒子质量比为1∶1混合时,研磨加工60 min,石英玻璃管研磨前后的表面粗糙度值Ra由原始5.83μm下降至0.51μm。试件表面的纹理得到去除,峰谷差值得到有效的降低,研磨后管内表面的均匀性达到最好。 展开更多
关键词 混合磨料 石英玻璃管 辅助磁极 质量比 表面粗糙度
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前混合磨料射流供砂系统的控制
17
作者 王希平 刘本立 《高压水射流》 1991年第44期92-98,共7页
关键词 射流 混合磨料 供砂系统 钢材 切割
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刚玉—碳化硅混合磨料陶瓷砂轮的试制与磨削
18
作者 丁辛喜 《火花塞与特种陶瓷》 1994年第2期45-46,F003,共3页
关键词 刚玉 碳化硅 混合磨料 陶瓷砂轮
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Preparation of composite abrasives by electrostatic self-assembly method and its polishing properties in Cu CMP
19
作者 Huang Yishen Xu Xuefeng +2 位作者 Yao Chunyan Hu Jiande Peng Wei 《Engineering Sciences》 EI 2014年第2期75-81,92,共8页
The adsorption characteristics of cationic polyelectrolyte poly dimethyl diallyl ammonium chloride (PDADMAC) and anionic polyelectrolyte poly (sodium-p-styrenesulfonate) (PSS) on benzoguanamine formal- dehyde (... The adsorption characteristics of cationic polyelectrolyte poly dimethyl diallyl ammonium chloride (PDADMAC) and anionic polyelectrolyte poly (sodium-p-styrenesulfonate) (PSS) on benzoguanamine formal- dehyde (BGF) particles are investigated. The charging characteristics of BGF particles are changed and con- trolled using electrostatic self-assembly method. A variety of PE,-BGF/SiO2 composite abrasives are obtained. The as-prepared samples are analyzed by zeta potential analysis, transmission electron microscope (TEM) and thermogravimetric (TG) analysis. The composite abrasive slurries are prepared for copper polishing. The poli- shing results indicate that it is SiO2 abrasives, not only coated SiO2 abrasive on polymer particles but also free SiO2 abrasive in slurry, that offer the polishing action. The material removal rates of copper polishing are 264 nm/min, 348 nm/min and 476 nm/min using single SiO2 abrasive slurry, PE0-BGF/SiO2 mixed abrasive slur- ry and PE3-BGF/SiO2 composite abrasive slurry, respectively. The surface roughness Ra of copper wafer (with 5μm×5μm district) is decreased from 0.166 μm to 3.7 nm, 2.6 nm and 1.5 nm, and the surface peak-valley values Rrv are less than 20 nm, 14 nm and 10 nm using these kinds of slurries, respectively. Key words : chemico-mechanical polishing; polishing slurry; composite abrasives ; polyelectrolyte ; copper 展开更多
关键词 chemico-mechanical polishing polishing slurry composite abrasives POLYELECTROLYTE copper
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前混合磨料水射流喷嘴内液固两相流的数值模拟 被引量:15
20
作者 胡贵华 俞涛 刘小健 《机电一体化》 2005年第6期20-23,共4页
首先定性分析出在一定压力下,磨粒在等直径、不同圆柱段长度的喷嘴出口处存在 一个最大速度;然后运用大型CFD商业软件Fluent 6.1.18对在一定压力下,其他结构一定而不同 圆柱段长度的不锈钢喷嘴内液固两相流进行数值模拟,得到出口处磨... 首先定性分析出在一定压力下,磨粒在等直径、不同圆柱段长度的喷嘴出口处存在 一个最大速度;然后运用大型CFD商业软件Fluent 6.1.18对在一定压力下,其他结构一定而不同 圆柱段长度的不锈钢喷嘴内液固两相流进行数值模拟,得到出口处磨粒速度最大的最佳长度的 喷嘴,斤对该喷嘴内液同两相流速度分布规律进行了分析,为前混合磨料水射流切割机制研究提 出了有意义的途径。 展开更多
关键词 混合磨料水射流 磨粒 两相流 数值模拟 速度分布
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