长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展 被引量：17

1

作者 张立超 高劲松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2395-2401,共7页

综述了深紫外光学薄膜技术在中科院长春光学精密机械与物理研究所的研究进展。为满足高性能深紫外光学系统对薄膜光学元件的需求,在以下方面开展了系统研究:定制了两台深紫外光学薄膜专用沉积设备,分别用于高性能深紫外光学薄膜的热蒸... 综述了深紫外光学薄膜技术在中科院长春光学精密机械与物理研究所的研究进展。为满足高性能深紫外光学系统对薄膜光学元件的需求,在以下方面开展了系统研究:定制了两台深紫外光学薄膜专用沉积设备,分别用于高性能深紫外光学薄膜的热蒸发与离子束溅射沉积工艺,实现了φ410mm光学元件的镀膜;通过优化薄膜沉积工艺,双面镀膜样品在193nm处典型透过率为98.5%～99%;对影响光学元件面形精度的因素进行了考察,可实现的膜厚均匀性为0.1%(rms),能够满足高质量深紫外光学系统的容差要求;采用X射线衍射方法对薄膜应力进行了测量,并采用有限元方法分析了应力对元件面形的影响;针对影响薄膜实用性能的因素,提出了针对性的解决方法,采用紫外辐照方法恢复了环境污染引起的透过率下降,发展了基于晶振监控法的膜厚精确控制方法。基于这些研究的阶段性成果,明确了下一步的研究方向。 展开更多

关键词 深紫外光学 光学薄膜 薄膜沉积 薄膜测量 透过率 面形精度

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大陡度透镜表面膜层折射率均匀性分析 被引量：1

2

作者 张伟丽 冯操 +6 位作者 孙建 朱瑞 王建国 沈雪峰 易葵 朱美萍 邵建达 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期53-61,共9页

集成电路与光刻机系统中通常会设计并使用很多小曲率半径的大陡度透镜,以实现大数值孔径,这对镀制于其表面的紫外薄膜的性能提出了很高的要求。本文分析了行星夹具转动过程中大陡度凸透镜从中心到边缘位置的薄膜沉积角度的变化规律,研究... 集成电路与光刻机系统中通常会设计并使用很多小曲率半径的大陡度透镜,以实现大数值孔径,这对镀制于其表面的紫外薄膜的性能提出了很高的要求。本文分析了行星夹具转动过程中大陡度凸透镜从中心到边缘位置的薄膜沉积角度的变化规律,研究了MgF_(2)膜层的折射率随沉积角度的变化规律,明确了大陡度凸透镜从中心到边缘位置的膜层折射率不均匀性对深紫外增透膜的影响。针对小曲率半径大陡度凸透镜表面的膜层沉积特性,通过升高基底温度提高了折射率分布的均匀性,为大陡度透镜膜层折射率不均匀性修正提供了理论和实验依据。 展开更多

关键词 薄膜 深紫外光学薄膜 大陡度透镜 折射率均匀性 沉积角度

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紫外与深紫外非线性光学晶体的新进展(英文) 被引量：15

3

作者 陈创天 林哲帅 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期455-464,共10页

随着光刻、激光微加工以及激光光谱仪的发展 ,紫外与深紫外光谱区的相干光源变得越来越重要。本文简要地回顾了使用阴离子基团理论发展新型硼酸盐系列紫外与深紫外非线性光学晶体的历史 ,同时系统地介绍了这些硼酸盐系列晶体的线性和非... 随着光刻、激光微加工以及激光光谱仪的发展 ,紫外与深紫外光谱区的相干光源变得越来越重要。本文简要地回顾了使用阴离子基团理论发展新型硼酸盐系列紫外与深紫外非线性光学晶体的历史 ,同时系统地介绍了这些硼酸盐系列晶体的线性和非线性光学性质。最后给出一些产生紫外与深紫外谐波输出的典型例子以及它们的应用。 展开更多

关键词 深紫外非线性光学晶体 硼酸盐晶体 谐波转换 KBBF晶体 激光光谱仪 棱镜耦合技术

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深紫外非线性光学晶体及全固态深紫外相干光源研究进展 被引量：8

4

作者 王晓洋 刘丽娟 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期427-441,共15页

全固态深紫外相干光源在前沿科学、高技术等领域均有重要应用。产生全固态深紫外相干光源的一种有效而可行的技术途径是将商业化的可见、近红外全固态激光作为基频光源,通过非线性光学晶体的多级变频技术产生深紫外激光。本文系统地介... 全固态深紫外相干光源在前沿科学、高技术等领域均有重要应用。产生全固态深紫外相干光源的一种有效而可行的技术途径是将商业化的可见、近红外全固态激光作为基频光源,通过非线性光学晶体的多级变频技术产生深紫外激光。本文系统地介绍了深紫外非线性光学晶体及全固态深紫外相干光源的研究进展。主要以KBBF晶体为代表,详细介绍了发现KBBF晶体的过程,晶体生长技术,棱镜耦合器件技术,KBBF晶体的主要光学性质以及产生深紫外相干光源的能力,同时证实了KBBF晶体是目前能使用直接倍频方法实现深紫外激光输出的非线性光学晶体。此外,文中还详细介绍了基于KBBF晶体及棱镜耦合技术的深紫外相干光源的应用情况,尤其是在超高分辨率光电子能谱仪方面的应用及取得的重要成果。最后,展望了深紫外非线性光学晶体及全固态深紫外激光技术的发展方向。 展开更多

关键词 深紫外非线性光学晶体 深紫外激光 KBBF 晶体生长

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新型深紫外非线性光学晶体研究进展(特邀)

5

作者 潘世烈 张方方 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第1期327-335,共9页

深紫外非线性光学晶体通过非线性光学效应改变激光频率,输出波长短于200 nm的深紫外激光,是全固态深紫外激光源的核心材料,在深紫外激光光刻、半导体芯片缺陷检测、高端科研装备等领域有重要的应用价值。近年来,新型深紫外非线性光学晶... 深紫外非线性光学晶体通过非线性光学效应改变激光频率,输出波长短于200 nm的深紫外激光,是全固态深紫外激光源的核心材料,在深紫外激光光刻、半导体芯片缺陷检测、高端科研装备等领域有重要的应用价值。近年来,新型深紫外非线性光学晶体材料的研究取得了系列进展,涌现出若干具有应用前景的候选材料。本文着重介绍基于实验测得的折射率,相位匹配波长达到深紫外区的晶体材料,综述其在材料设计、晶体制备、基本性能和结构-性能关系等方面的研究进展,探讨了实用化深紫外非线性光学晶体材料的发展趋势。 展开更多

关键词 深紫外非线性光学晶体 材料设计 晶体制备 结构-性能关系

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深紫外非线性光学晶体KBe_2BO_3F_2的研究进展 被引量：4

6

作者 陈创天 刘丽娟 王晓洋 《物理》 CAS 北大核心 2014年第8期520-527,共8页

文章以KBe2BO3F2(KBBF)晶体为代表,系统地介绍了中国深紫外非线性光学晶体的发展。首先简单回顾了KBBF晶体的发现历程,然后介绍了KBBF晶体生长、棱镜耦合器件技术的发展,以及晶体产生深紫外相干光的能力;最后简单介绍了基于KBBF晶体的... 文章以KBe2BO3F2(KBBF)晶体为代表,系统地介绍了中国深紫外非线性光学晶体的发展。首先简单回顾了KBBF晶体的发现历程,然后介绍了KBBF晶体生长、棱镜耦合器件技术的发展,以及晶体产生深紫外相干光的能力;最后简单介绍了基于KBBF晶体的深紫外相干光源在超高分辨率光电子能谱仪等先进科学仪器方面的应用及研究成果,并展望了未来可能的应用领域。 展开更多

关键词 KBe2BO3F2(KBBF) 深紫外非线性光学晶体 棱镜耦合技术 深紫外相干光

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氟硼铍酸钾晶体及深紫外全固态激光 被引量：4

7

作者 王晓洋 刘丽娟 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期131-147,共17页

深紫外(DUV)全固态相干光源(λ<200 nm)在前沿科学、高技术等领域有着重要应用。将商业化的高功率可见/近红外全固态激光通过非线性光学晶体进行多级变频是实现该光源的有效途径。从双折射和色散两个方面阐述了满足深紫外非线性光学... 深紫外(DUV)全固态相干光源(λ<200 nm)在前沿科学、高技术等领域有着重要应用。将商业化的高功率可见/近红外全固态激光通过非线性光学晶体进行多级变频是实现该光源的有效途径。从双折射和色散两个方面阐述了满足深紫外非线性光学晶体的基本条件,介绍了深紫外非线性光学晶体的探索和实用化所需克服的技术困难;重点以氟硼铍酸钾(KBBF)和氟硼铍酸铷(RBBF)晶体为代表,介绍其发现过程、晶体生长技术、棱镜耦合器件技术、光学性质以及深紫外波段倍频能力;还详细介绍了相关的深紫外全固态激光的研究进展,以及该光源在先进科学仪器上的应用,尤其是在超高分辨率光电子能谱仪方面的应用和取得的重要成果。最后展望了深紫外非线性光学晶体及深紫外全固态激光技术的发展方向。 展开更多

关键词 非线性光学 氟硼铍酸钾深紫外非线性光学晶体 棱镜耦合器件 深紫外全固态激光

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KBBF深紫外非线性光学晶体最新研究进展 被引量：2

8

作者 王晓洋 刘丽娟 李如康 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第10期1790-1798,共9页

本文系统介绍了我国KBBF深紫外非线性光学晶体的最新研究进展。包括从KBBF晶体的发现历程,KBBF晶体生长、棱镜耦合器件技术的发展,以及产生深紫外相干光源的能力,到这些深紫外相干光源的应用,尤其在超高分辨率光电子能谱仪方面的应用及... 本文系统介绍了我国KBBF深紫外非线性光学晶体的最新研究进展。包括从KBBF晶体的发现历程,KBBF晶体生长、棱镜耦合器件技术的发展,以及产生深紫外相干光源的能力,到这些深紫外相干光源的应用,尤其在超高分辨率光电子能谱仪方面的应用及最新研究成果。 展开更多

关键词 KBBF 深紫外非线性光学晶体 深紫外激光 晶体生长

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紫外、深紫外非线性光学晶体的最新进展 被引量：3

9

作者 陈创天 林哲帅 王志中 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期24-31,共8页

深紫外相干光源对于光刻技术、光电子能谱仪、激光精密机械加工等均具有十分重要的意义.本文将系统地阐述可产生深紫外谐波光输出的非线性光学晶体是如何被发现的,这些晶体的基本线性、非线性光学性质和使用它们产生深紫外谐波光的方法... 深紫外相干光源对于光刻技术、光电子能谱仪、激光精密机械加工等均具有十分重要的意义.本文将系统地阐述可产生深紫外谐波光输出的非线性光学晶体是如何被发现的,这些晶体的基本线性、非线性光学性质和使用它们产生深紫外谐波光的方法.最后还简单介绍深紫外谐波光的几个典型例子. 展开更多

关键词 深紫外非线性光学晶体 硼酸盐晶体 谐波转换 KBBF晶体 棱镜耦合技术

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新颖深紫外二阶非线性光学材料的研究进展 被引量：2

10

作者 陆静 李成颖 +1 位作者 吴立明 陈玲 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期380-389,共10页

深紫外非线性光学晶体在光刻、微加工及高分辨光电能谱仪等领域有重要的应用.本文将深紫外非线性光学材料按其结构基元的几何特点分为π共轭体系(硼酸盐、碳酸盐和硝酸盐)和非π共轭体系(磷酸盐、硫酸盐和硅酸盐)2大类,并总结和讨论了... 深紫外非线性光学晶体在光刻、微加工及高分辨光电能谱仪等领域有重要的应用.本文将深紫外非线性光学材料按其结构基元的几何特点分为π共轭体系(硼酸盐、碳酸盐和硝酸盐)和非π共轭体系(磷酸盐、硫酸盐和硅酸盐)2大类,并总结和讨论了各类材料的晶体结构、线性和二阶非线性光学性能以及设计合成策略.希望能为探索新一代深紫外非线性光学材料提供有益的帮助. 展开更多

关键词 深紫外非线性光学晶体 π共轭基元 非π共轭基元 非线性光学性质

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A_(7)M^(Ⅱ)RE_(2)(B_(5)O_(10))_(3)系列紫外非线性光学晶体的研究进展

11

作者 何楠 公丕富 林哲帅 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第9期1598-1607,共10页

稀土硼酸盐非线性光学(NLO)材料由于其在激光技术领域的重要应用而备受关注,这主要是因为三价稀土离子如Y^(3+)、Sc^(3+)、Lu^(3+)等可以有效抑制d-d和f-f电子跃迁从而扩宽化合物的透过范围,同时稀土原子与氧原子结合成畸变的多面体可... 稀土硼酸盐非线性光学(NLO)材料由于其在激光技术领域的重要应用而备受关注,这主要是因为三价稀土离子如Y^(3+)、Sc^(3+)、Lu^(3+)等可以有效抑制d-d和f-f电子跃迁从而扩宽化合物的透过范围,同时稀土原子与氧原子结合成畸变的多面体可增强材料的非线性光学效应。A_(7)M^(Ⅱ)RE_(2)(B_(5)O_(10))_(3)系列(RE为稀土金属,A为碱金属、M为二价金属)化合物是稀土硼酸盐中一类重要的材料,其A、M以及RE位点具备灵活的占据方式,近年来得到了广泛关注。通过化学元素取代法,研究者们对该类化合物的种类进行拓展,目前已经合成出数十种属于该体系的化合物。这些化合物的截止边大多处在紫外甚至是波长小于200 nm的深紫外波段,非线性光学效应为0.4~2.1倍KDP,在紫外以及深紫外波段非线性光学领域中展现出了应用潜力。本文对其研究现状进行了总结,分析了其微观结构与光学性能之间的关系,并指出不同位点组分对材料非线性光学性能的影响,以期对此类化合物今后的发展提供参考。 展开更多

关键词 稀土硼酸盐 A_(7)M^(Ⅱ)RE_(2)(B_(5)O_(10))_(3) 紫外/深紫外非线性光学晶体 光学性能

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深紫外倍频用KBBF晶体光栅耦合器设计

12

作者 谭鑫 张嘉航 巴音贺希格 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3041-3047,共7页

分析了氟硼铍酸钾(KBe2BO3F2,KBBF)晶体的倍频特性,结合基波光光栅耦合和KBBF晶体内全反射特性设计了新型KBBF晶体光栅耦合器。介绍了KBBF晶体光栅耦合器设计原理。在KBBF晶体表面制作光栅结构,使其衍射级次满足匹配角进而产生倍频光;... 分析了氟硼铍酸钾(KBe2BO3F2,KBBF)晶体的倍频特性,结合基波光光栅耦合和KBBF晶体内全反射特性设计了新型KBBF晶体光栅耦合器。介绍了KBBF晶体光栅耦合器设计原理。在KBBF晶体表面制作光栅结构,使其衍射级次满足匹配角进而产生倍频光;结合在KBBF晶体内的全反射传输,增大光程,获得高的倍频转化效率。通过计算晶体匹配角、走离角、倍频系数等参数,获得合适的光栅匹配类型。优化设计匹配光栅参数,获得了槽型参数及较高的衍射效率;基于光栅衍射效率与倍频转化率的关系获得了KBBF晶体光栅耦合器的倍频转化率计算公式,并给出它们的适用范围。最后,基于5.2mm×5.2mm×1mm KBBF晶体研制了晶体光栅耦合器,该光栅耦合器能够实现深紫外波段倍频光的输出,总倍频转化效率达到了16.86% 展开更多

关键词 氟硼铍酸钾晶体 深紫外非线性光学晶体 激光晶体 转化率 晶体耦合器 深紫外激光

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新疆理化所在设计具有较强二阶非线性光学效应的晶体研究方面获进展

13

作者 新型 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期290-290,共1页

中国科学院新疆理化技术研究所特殊环境功能材料与器件重点实验室潘世烈研究团队一直致力于硼酸盐新型紫外、深紫外非线性光学晶体的研究。最近,该团队等研究人员成功获得一例硼酸盐新化合物CaZn(BO_(3))_(2)(CZBO),该化合物具有类SBBO... 中国科学院新疆理化技术研究所特殊环境功能材料与器件重点实验室潘世烈研究团队一直致力于硼酸盐新型紫外、深紫外非线性光学晶体的研究。最近,该团队等研究人员成功获得一例硼酸盐新化合物CaZn(BO_(3))_(2)(CZBO),该化合物具有类SBBO结构,即[BO_(3)]基元在[ZnO_(4)]多面体的连接下形成[Zn_(2)(BO_(3))_(2)]双层结构。该晶体结晶于非中心对称的空间群(Aba2)。 展开更多

关键词 硼酸盐 深紫外非线性光学晶体 晶体研究 中国科学院 二阶非线性光学效应 重点实验室 非中心对称 理化技术

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深紫外非线性光学晶体研究获进展

14

《教学考试》 2021年第32期23-23,共1页

中国科学院理化技术研究所研究员林哲帅课题组开展了"类金刚石结构改造工程"和"范德瓦尔斯结构设计策略",在深紫外非线性光学晶体的探索上取得了进展。科研人员通过对类金刚石结构进行结构改造,构建缺陷型类金刚石... 中国科学院理化技术研究所研究员林哲帅课题组开展了"类金刚石结构改造工程"和"范德瓦尔斯结构设计策略",在深紫外非线性光学晶体的探索上取得了进展。科研人员通过对类金刚石结构进行结构改造,构建缺陷型类金刚石结构、引入平面共轭基团和引入羟基等策略. 展开更多

关键词 深紫外非线性光学晶体 类金刚石结构 范德瓦尔斯 科研人员 结构改造 设计策略 缺陷型 中国科学院理化技术研究所

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