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LDMOS器件静电放电失效原理及防护方法
被引量:
3
1
作者
陈蕾
宋李梅
+1 位作者
刘梦新
杜寰
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期968-973,共6页
探讨了LDMOS器件在静电放电脉冲作用下的失效现象和机理,阐述了LDMOS器件受到静电放电脉冲冲击后出现的软击穿现象,和由于寄生npn管导通产生的大电流引起器件局部温度过高,导致金属接触孔熔融的器件二次击穿现象。分析对比了不同栅宽、...
探讨了LDMOS器件在静电放电脉冲作用下的失效现象和机理,阐述了LDMOS器件受到静电放电脉冲冲击后出现的软击穿现象,和由于寄生npn管导通产生的大电流引起器件局部温度过高,导致金属接触孔熔融的器件二次击穿现象。分析对比了不同栅宽、不同LOCOS长度和埋层结构LDMOS器件的静电放电防护性能,证实了带埋层的深漏极注入双RESURF结构LDMOS器件在静电放电防护方面的显著优势。
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关键词
横向双扩散场效应晶体管
静电放电防护
深
漏
极
注入
击穿现象
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职称材料
题名
LDMOS器件静电放电失效原理及防护方法
被引量:
3
1
作者
陈蕾
宋李梅
刘梦新
杜寰
机构
中国科学院微电子研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期968-973,共6页
文摘
探讨了LDMOS器件在静电放电脉冲作用下的失效现象和机理,阐述了LDMOS器件受到静电放电脉冲冲击后出现的软击穿现象,和由于寄生npn管导通产生的大电流引起器件局部温度过高,导致金属接触孔熔融的器件二次击穿现象。分析对比了不同栅宽、不同LOCOS长度和埋层结构LDMOS器件的静电放电防护性能,证实了带埋层的深漏极注入双RESURF结构LDMOS器件在静电放电防护方面的显著优势。
关键词
横向双扩散场效应晶体管
静电放电防护
深
漏
极
注入
击穿现象
Keywords
LDMOS
ESD protection
deep drain implantation
breakdown phenomenon
分类号
TN386.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
LDMOS器件静电放电失效原理及防护方法
陈蕾
宋李梅
刘梦新
杜寰
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
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