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一种用于硅基MEMS加工的深刻蚀技术 被引量:6
1
作者 陈瑜 吴俊徐 +3 位作者 郭平生 王连卫 M.van der Zwan P.M.Sarro 《微细加工技术》 2005年第4期37-41,共5页
研究了光辅助电化学刻蚀技术,并特别研究了阵列和硅衬底之间的边缘效应。在阵列边缘由于电流分布不均匀以及空穴从孔的侧壁注入,因此可以在边缘区域观察到结构的坍塌,采用一个周期性变化的信号来调制光照的强度,边缘效应会得到一定的抑... 研究了光辅助电化学刻蚀技术,并特别研究了阵列和硅衬底之间的边缘效应。在阵列边缘由于电流分布不均匀以及空穴从孔的侧壁注入,因此可以在边缘区域观察到结构的坍塌,采用一个周期性变化的信号来调制光照的强度,边缘效应会得到一定的抑制。同时,也观察到了硅的电化学深刻蚀工艺中大电流情况下的抛光现象(阳极氧化条件下,硅表面在氢氟酸溶液中快速均匀溶解不形成孔的现象)。光学测试表明,制作的正方格子结构具有光子晶体行为,其光学禁带位于6μm附近。 展开更多
关键词 电化学刻蚀 DRIE 深沟 深孔 光子晶体
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A new early cyprinin from Oligocene of South China 被引量:6
2
作者 CHEN GengJiao CHANG Mee-mann 《Science China Earth Sciences》 SCIE EI CAS 2011年第4期481-492,共12页
Here we describe tHuashancyprinus robustispinus, gen. et sp. nov, a fossil cyprinin fish from the Oligocene of Ningming Ba- sin, Guangxi, South China. It differs from all other cyprinin fishes in the following apomorp... Here we describe tHuashancyprinus robustispinus, gen. et sp. nov, a fossil cyprinin fish from the Oligocene of Ningming Ba- sin, Guangxi, South China. It differs from all other cyprinin fishes in the following apomorphic characters: extremely robust last unbranched dorsal and anal fin rays with very fine serrations along posterior edge, the crowns of pharyngeal teeth A2 and A3 with a number of deep grooves on the lateral wall, rather large A3, and relatively deep infraorbital 2. Among the members of the Tribe Cyprinini sensu stricto, it mostly resembles the extant genus Cyprinus, particularly to species Cyprinus micristius and C. fuxianensis, which are restricted to Yunnan, southwestern China. The discovery of the cyprinin Huashancyprinus from southern China, along with the previously known late Eocene tCyprinus maomingensis, indicates an early branching of the Cyprininae (Cyprinidae) in this area. 展开更多
关键词 new early cyprinin OLIGOCENE South China
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51V GaN基高压LED的热分析 被引量:5
3
作者 俞鑫 郭伟玲 +3 位作者 樊星 白俊雪 程顺波 韩禹 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期213-217,共5页
设计并制备了51 V高压LED。对器件进行了大电流冲击试验并对器件的损毁原因进行了分析。运用有限元分析软件ANSYS对LED关键结构部位进行参数化建模及热分布模拟,得到其稳态的温度场分布;然后经过与红外热像仪成像图对比,得出电极烧毁的... 设计并制备了51 V高压LED。对器件进行了大电流冲击试验并对器件的损毁原因进行了分析。运用有限元分析软件ANSYS对LED关键结构部位进行参数化建模及热分布模拟,得到其稳态的温度场分布;然后经过与红外热像仪成像图对比,得出电极烧毁的原因在于芯粒连接处的电极过薄过窄而导致的电阻过大,为后续设计更可靠的高压LED提供了参考。对芯片分别进行蓝光及色温5 000 K的白光封装,并分别测量了热阻,涂覆荧光粉的白光灯珠的热阻要比没有涂覆荧光粉的蓝光灯珠高约4℃/W。同时,51 V高压LED的热阻比1 W大功率LED要高,说明高压LED的散热性能比常规LED要差,这可能与高压LED具有深沟槽及众多的互联电极结构有关。 展开更多
关键词 高压LED 热分析 ANSYS 热阻 深沟
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基于深沟槽单次外延工艺超级结MOS器件耐压提升与优化
4
作者 田俊 付振 +3 位作者 张泉 肖超 张文敏 王悦 《集成电路与嵌入式系统》 2024年第6期46-54,共9页
介绍了超级结MOS器件的一种主流工艺—深沟槽单次外延工艺,详细介绍了该工艺的工艺流程及特点。基于超级结MOS器件的电荷平衡原理,分析不同P柱浓度条件下器件击穿电压(Breakdown Voltage)的变化规律,揭示击穿电压(BV)偏低的原因,提出一... 介绍了超级结MOS器件的一种主流工艺—深沟槽单次外延工艺,详细介绍了该工艺的工艺流程及特点。基于超级结MOS器件的电荷平衡原理,分析不同P柱浓度条件下器件击穿电压(Breakdown Voltage)的变化规律,揭示击穿电压(BV)偏低的原因,提出一种改善方案,最终通过实验验证该方案的可行性。 展开更多
关键词 超级结MOS 电荷平衡 深沟 P柱宽度调整 耐压BV
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基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备
5
作者 贺龙 李淑娴 +4 位作者 苗斌 李加东 陈颖 苗小浦 吴森 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期409-413,428,共6页
针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探... 针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。 展开更多
关键词 关键尺寸原子力显微镜探针 深沟 大悬垂侧壁 大高宽比 有效高度
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含不透水隔层软土中深沟槽综合降水的施工 被引量:3
6
作者 林文兵 王思源 +1 位作者 林文锋 严永正 《扬州职业大学学报》 2009年第2期49-51,共3页
结合工程实例,阐明采用轻型井点、深井、砂井综合降水的方法,可以有效地解决含不透水隔层软弱淤泥质土中深沟槽降水困难的技术难题。
关键词 深沟 不透水隔层 软弱淤泥质土 施工
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排水管道深沟槽支护施工与计算 被引量:2
7
作者 刘福芳 《公路交通科技(应用技术版)》 CAS CSCD 2009年第4期92-94,共3页
近年来,随着交通建设的迅猛发展,大管径、深沟槽越来越多的应用于排水工程。深沟槽支护技术已经是地基基础领域的一个难点热点问题,文章用实例介绍某深沟槽的分析与计算,可供同行参考。
关键词 道路工程 排水管道 深沟 支护
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少降水深沟槽开挖及拉森钢板桩支护施工技术探究 被引量:2
8
作者 陈鹏 《中小企业管理与科技》 2017年第1期50-51,共2页
本文所研究的少降水深沟槽开挖技术工法是在不采用专门的降水措施的前提下,采用可周转的拉森钢板桩支护体系,进行管道深沟槽施工。这种方法能有效缩短工期、提高效率、降低成本,可以在合适的条件下进行广泛推广。
关键词 少降水 深沟 拉森钢板桩 支护施工 技术研究
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超级结沟槽刻蚀对击穿电压均匀性的改善 被引量:1
9
作者 吴长明 冯大贵 熊淑平 《集成电路应用》 2017年第9期64-74,共11页
超级结器件和传统功率器件相比有导通电阻低击穿电压高的特点,在汽车电子、低压电机、变频器、逆变器、电压控制器件和变压器等领域,具有越来越广泛的应用。本文针对如何改善超级结器件的击穿电压参数问题,从深沟槽的刻蚀工艺参数优化... 超级结器件和传统功率器件相比有导通电阻低击穿电压高的特点,在汽车电子、低压电机、变频器、逆变器、电压控制器件和变压器等领域,具有越来越广泛的应用。本文针对如何改善超级结器件的击穿电压参数问题,从深沟槽的刻蚀工艺参数优化和硬件改造(BSR)等方面开展了研究,最终确定了以SF_6/O_2为主刻蚀气体,反应压力在30~35 mT,温度为15℃等为基准的刻蚀工艺条件。针对晶圆边缘的针状缺陷这一缺陷问题对机台进行了改造,开发了一种称为BSR(bottom shadow ring)的部件,加入这一部件后能够完全消除边缘缺陷同时对均匀性有了进一步的提升。从而改善超级结器件击穿电压参数的均匀性和稳定性同时提高了产品成品率。这一研究为超级结芯片的国产化做出了贡献。 展开更多
关键词 干法刻蚀 击穿电压 深沟 超级结 BSR
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深沟槽的缓进给强力磨削工艺和磨削表面质量
10
作者 郑焕文 马正元 张春元 《磨料磨具与磨削》 1990年第2期23-24,28,共3页
本文介绍了用缓进给强力磨削工艺一次走刀磨削50mm深沟槽成型的工艺方法。研究了磨削深沟楷的尺寸精度和磨削表面质量。
关键词 缓进给磨削 表面质量 深沟
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深沟槽超级结器件的干刻工艺研究 被引量:1
11
作者 吕亚冰 《集成电路应用》 2017年第6期52-56,共5页
功率半导体器件以其优越的电特性在许多领域取代了传统的双极型晶体管。功率半导体器件导通电阻由于受击穿电压限制而存在一个极限即硅限而无法再降低。"超级结理论"的应用,使导通电阻相对于传统技术降低了80%~90%,打破了硅限... 功率半导体器件以其优越的电特性在许多领域取代了传统的双极型晶体管。功率半导体器件导通电阻由于受击穿电压限制而存在一个极限即硅限而无法再降低。"超级结理论"的应用,使导通电阻相对于传统技术降低了80%~90%,打破了硅限,提高了开关速度。通过对腔体压力、温度、RF功率、气体流量、硅片图形密度和刻蚀面积等各种工艺参数的实验,研究其对深沟槽超级结(Deep Trench Super Junction)高压器件干法刻蚀工艺的影响与作用,实现单步干法刻蚀就在硅衬底上形成深沟槽。 展开更多
关键词 芯片制造工艺 干法刻蚀 深沟 超级结
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浅谈钢管桩在市政工程深沟槽支护中的应用 被引量:1
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作者 刘英 李明星 赵坤仑 《四川水力发电》 2017年第4期101-103,共3页
市政工程深沟槽施工对城市中的建筑物、基础设施及地下管线等有较大的影响。如何在周边环境复杂的城市地下空间采取合理的支护方案保障深沟槽施工安全已成为项目管理的重要内容。基于某大街Y2~Y4段雨水管道深沟槽施工,阐述了钢管桩在环... 市政工程深沟槽施工对城市中的建筑物、基础设施及地下管线等有较大的影响。如何在周边环境复杂的城市地下空间采取合理的支护方案保障深沟槽施工安全已成为项目管理的重要内容。基于某大街Y2~Y4段雨水管道深沟槽施工,阐述了钢管桩在环境复杂的城市地下空间内深沟槽支护中的应用,克服了施工过程中存在的难题。 展开更多
关键词 深沟 钢管桩 施工工艺 质量控制
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深沟槽钢板桩支护施工安全 被引量:1
13
作者 罗艳明 《劳动保护》 2010年第9期98-99,共2页
在市政工程建设发生的各类事故中,深沟槽施工事故占90%左右。本文就深沟槽钢板桩支护施工的特点,提出土方开挖、排水、监测中的安全措施。
关键词 钢板桩支护 深沟 施工安全 市政工程建设 支护施工 土方开挖 安全措施 排水
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基于一种新沟槽设计的无缝隙沟槽隔离技术
14
作者 李光涛 田铭 +1 位作者 周思渊 李端松 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第5期340-344,共5页
为了避免深沟槽隔离过程中出现缝隙,提出了一种有利于多晶硅回填的倒梯形沟槽。这种沟槽的开口处宽度比底部宽度大,使用了一种优化的微机械加工工艺,利用各向同性刻蚀形成了一种倒梯形沟槽。另一方面,对于填充效果而言,完全光滑过渡的... 为了避免深沟槽隔离过程中出现缝隙,提出了一种有利于多晶硅回填的倒梯形沟槽。这种沟槽的开口处宽度比底部宽度大,使用了一种优化的微机械加工工艺,利用各向同性刻蚀形成了一种倒梯形沟槽。另一方面,对于填充效果而言,完全光滑过渡的曲线型沟槽好于具有尖锐转角的曲线型沟槽。相比于直线型沟槽,完全光滑过渡的曲线型沟槽可以提高机械连接强度。通过使用新的沟槽设计以及优化的微机械工艺,可以获得无缝隙的深沟槽,最终实现了一种无缝隙的沟槽隔离,保证了两个可动结构之间或一个可动结构和一个固定结构之间的电绝缘。 展开更多
关键词 深沟 隔离 倒梯形 无缝隙 微机械加工工艺
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车床加工圆形工件深沟槽径向尺寸测量方法的改进
15
作者 方万良 《技革通讯》 2005年第1期29-30,共2页
本文对车床加工圆形工件内深沟槽径向尺寸测量器具进行改进,解决了实际测量中存在测量精度低的问题,减少了测量辅助时间,提高了测量精度和工作效率。
关键词 径向尺寸 圆形工件 车床加工 深沟 测量方法 测量精度 测量器具 实际测量 辅助时间 工作效率
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光电化学蚀刻可用于制造氮化镓中高纵横比深沟槽
16
《半导体信息》 2018年第5期9-11,共3页
日本SCIOCS有限公司和法政大学曾报导了在氮化镓(GaN)中利用光电化学(PEC)蚀刻深层高纵横比沟槽的进展[Fumimasa Horikiri et al, Appl. Phys.Express, volll, p091001, 20181]。该团队希望该技术能够在高场中能够利用GaN的高击穿... 日本SCIOCS有限公司和法政大学曾报导了在氮化镓(GaN)中利用光电化学(PEC)蚀刻深层高纵横比沟槽的进展[Fumimasa Horikiri et al, Appl. Phys.Express, volll, p091001, 20181]。该团队希望该技术能够在高场中能够利用GaN的高击穿场和高电子迁移速度为电力电子技术开辟新的器件结构。 展开更多
关键词 电化学蚀刻 深沟 纵横比 氮化镓 电力电子技术 制造 光电化学 器件结构
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废弃老建筑群桩内深沟槽大管径雨水管道施工
17
作者 黄志巍 彭鹏 《中国市政工程》 2009年第2期35-37,共3页
世博会园区沂雨1号~沂雨5号原设计为准3 000 mm顶管施工,深度为9~11 m。因管道顶进方向存在大量原有厂房建筑的准800 mm钻孔灌注桩而改为开深沟槽埋管。介绍了整个沟槽支撑体系、特殊段沟槽开挖、降水及基底加固、拔桩及回填、管道安... 世博会园区沂雨1号~沂雨5号原设计为准3 000 mm顶管施工,深度为9~11 m。因管道顶进方向存在大量原有厂房建筑的准800 mm钻孔灌注桩而改为开深沟槽埋管。介绍了整个沟槽支撑体系、特殊段沟槽开挖、降水及基底加固、拔桩及回填、管道安装等的设计和施工,并对实际施工中遇到的与设计方案出入处的问题作了具体调整。 展开更多
关键词 雨水管 废弃桩 深沟 大管径 施工
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摩擦联结织构化处理的压力偏置及应力集中研究
18
作者 管永强 王建梅 +1 位作者 张伟 侯定邦 《重型机械》 2020年第5期51-56,共6页
摩擦联结作为无键联结件的关键配合方式,广泛应用于冶金装备、新能源汽车等领域。摩擦联结通常存在典型的阶梯状锥面,容易产生压力偏置和应力集中。表面织构化是提升产品使用性能的新型设计方法,已应用于多个系列产品的设计制造。但是,... 摩擦联结作为无键联结件的关键配合方式,广泛应用于冶金装备、新能源汽车等领域。摩擦联结通常存在典型的阶梯状锥面,容易产生压力偏置和应力集中。表面织构化是提升产品使用性能的新型设计方法,已应用于多个系列产品的设计制造。但是,表面织构的作用机理缺乏科学论证,以胀紧套产品为例,通过ABAQUS开展装配模拟,深度探究开槽对胀紧套使用性能的影响。基于力学传递方程,建立胀紧套锥面过盈联结的力学模型,推导出扭矩的计算方法。结果表明:理论计算与仿真结果重合度高,仿真结果可信;表面织构能有效改善胀紧套的应力集中,内环开槽会缓解主轴承载偏置问题,显著提升胀紧套的承载能力和使用寿命。 展开更多
关键词 摩擦联接 胀紧套 表面织构化 深沟
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下水管道工程施工沟槽两侧支护方案浅探
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作者 郭之君 《基建管理优化》 2004年第2期29-33,共5页
在市政建设快速发展的今天。深沟槽或软土基支护施工给我们带来一定难度。通过对虹井路道路、下水道工程施工,并对下水道沟槽支护技术处理中得到很大启发,亦给施工积累一定的经验,现草拟成稿,以供参考。
关键词 下水管道工程 工程施工 深沟 软土地基 工程地质条件
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数控车削深沟槽零件工艺设计与实践探究 被引量:2
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作者 龙创平 曹红伟 《科技资讯》 2018年第2期97-98,共2页
本次研究主要分析数控车削深沟槽零件工艺设计与实践。因为对于数控车床加工来说,沟槽类零件问题是比较常见的,所以需得到足够的重视以及关注,还应重视实现数控车床、选用切槽刀的使用。本次研究使用的是改制之后的刀具,在有效的加工使... 本次研究主要分析数控车削深沟槽零件工艺设计与实践。因为对于数控车床加工来说,沟槽类零件问题是比较常见的,所以需得到足够的重视以及关注,还应重视实现数控车床、选用切槽刀的使用。本次研究使用的是改制之后的刀具,在有效的加工使用之后,可以体现非常显著的先进性、实用性,还可发挥非常显著的经济效益。所以在实践的过程中,需要正确选择合适的刀具和加工工艺,促使数控车削深沟槽零件工艺设计满足实际标准。 展开更多
关键词 数控车削深沟 零件工艺设计 实践
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