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X射线反射式波带片衍射图形的深度误差效应
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作者 乐孜纯 潘守甫 《微细加工技术》 1999年第3期65-68,共4页
研究 X 射线反射式波带片衍射图形制造过程中的深度误差效应。介绍了深度误差允差的计算方法及计算结果。给出实测结果,并讨论了在制造过程中减小深度误差的方法。
关键词 X射线 反射式波带片 深度误差效应 微制造技术
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光的干涉与衍射
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《中国光学》 EI CAS 2000年第5期6-9,共4页
O434.1 2000053033X射线反射式波带片衍射图形的深度误差效应=Erroreffect in depth of diffraction pattern of X-rayreflection zone plate[刊,中]/乐孜纯,潘守甫(吉林大学原子与分子物理研究所.吉林,长春(130012))//微细加工技术.—1... O434.1 2000053033X射线反射式波带片衍射图形的深度误差效应=Erroreffect in depth of diffraction pattern of X-rayreflection zone plate[刊,中]/乐孜纯,潘守甫(吉林大学原子与分子物理研究所.吉林,长春(130012))//微细加工技术.—1999,(2). 展开更多
关键词 光子学 深度误差效应 衍射图形 光纤干涉仪 波带片 原子与分子物理 射线反射 激光 层析成像 全息光栅
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