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溅射深度剖析定量分析及其应用研究进展 被引量：6
1
作者 康红利 简玮 +2 位作者 韩逸山 刘毅 王江涌 《汕头大学学报（自然科学版）》 2016年第2期3-24,2,共23页
溅射深度剖析技术已广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分深度分布的表征,但由于其涉及复杂的溅射过程,样品形貌的多样性,探测信号来自距样品表层不同的深度,新溅射技术的频出,以及其应用范围不断的扩大,使得深度剖析定量分析的研... 溅射深度剖析技术已广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分深度分布的表征,但由于其涉及复杂的溅射过程,样品形貌的多样性,探测信号来自距样品表层不同的深度,新溅射技术的频出,以及其应用范围不断的扩大,使得深度剖析定量分析的研究方兴未艾.本文首先回顾了深度剖析定量分析方法的发展过程,特别对其中的"原子混合(Mixing)-粗糙度(Roughness)-信息深度(Information)"(MRI)模型建立的物理背景,以及为满足高分辨率深度剖析数据的定量分析所进行的拓展进行了详细的论述.给出了利用深度剖析定量分析方法确定深度分辨率、超晶格及分子结构的重构、多层膜界面间粗糙度及薄膜中扩散系数的实例. 展开更多
关键词 深度剖析定量分析 深度分辨率 MRI模型 成分的深度分布 表面分析技术
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三种溅射深度剖析定量分析模型解析表达式的比较
2
作者 钟凤敏 王穗鹏 +4 位作者 郑锦权 杨浩 Siegfried Hofmann 徐从康 王江涌 《真空》 CAS 2023年第3期24-41,共18页
本文系统地讨论了三种广泛应用于溅射深度剖析定量分析的原子混合-粗糙度-信息深度(MRI)模型、上下坡(UDS)模型与粗糙度-级联混合-反冲注入(RMR)模型的解析表达式。先从定义、公式推导、仿真结果分析三方面逐一分析了这三种模型对应的... 本文系统地讨论了三种广泛应用于溅射深度剖析定量分析的原子混合-粗糙度-信息深度(MRI)模型、上下坡(UDS)模型与粗糙度-级联混合-反冲注入(RMR)模型的解析表达式。先从定义、公式推导、仿真结果分析三方面逐一分析了这三种模型对应的剖面特征,再通过其对应的深度分辨率子函数、深度分辨率函数、分析膜层厚度的解析表达式以及实验数据的拟合,将三种模型进行了细致的比较。最后解释了上下坡模型存在的不足,纠正了粗糙度-级联混合-反冲注入模型存在的错误描述,实测/模拟深度剖面的动态特性验证了原子混合-粗糙度-信息深度模型的可靠性和优越性。 展开更多
关键词 深度剖析定量分析 原子混合-粗糙度-信息深度模型 上下坡模型 粗糙度-级联混合-反冲注入模型 解析表达式 动态特性
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辉光放电发射光谱高分辨率深度谱的定量分析 被引量：2
3
作者 杨浩 马泽钦 +4 位作者 蒋洁 李镇舟 宋一兵 王江涌 徐从康 《材料研究与应用》 CAS 2021年第5期474-485,I0002,共13页
介绍了辉光放电发射光谱仪(GDOES)的发展和应用领域,以及测量深度谱定量分析的MRI模型。主要对单晶硅表面自然氧化的SiO2层、单层硫脲分子和Mo/B4C/Si多层光学膜进行了GDOES高分辨率深度谱的定量分析,由此获得了膜层结构、界面粗糙度及... 介绍了辉光放电发射光谱仪(GDOES)的发展和应用领域,以及测量深度谱定量分析的MRI模型。主要对单晶硅表面自然氧化的SiO2层、单层硫脲分子和Mo/B4C/Si多层光学膜进行了GDOES高分辨率深度谱的定量分析,由此获得了膜层结构、界面粗糙度及元素溅射速率等定量信息。同时,对Mo/Si多层膜GDOES与SMIS深度分辨率进行了比较,最后展望了GDOES和MRI模型的发展趋势。 展开更多
关键词 辉光放电发射光谱 纳米多层膜 深度剖析定量分析 MRI模型 深度分辨率 坑道效应 粗糙度
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利用遗传算法定量分析Ni/Cr多层膜俄歇深度谱 被引量：2
4
作者 李静 谭张华 +6 位作者 刘星星 陈颖琳 李豪文 杨浩 王昌林 王江涌 徐从康 《真空》 CAS 2021年第4期6-11,共6页
在MRI模型框架下,将遗传算法与卷积及TV-Tikhonov正则化反卷积方法结合,对Ni/Cr多层膜样品在旋转和非旋转条件下测量的俄歇(AES)深度谱进行了定量分析,确定了膜层间的界面粗糙度,重构的原始膜层结构与高分辨透射电镜测量的结果非常好的... 在MRI模型框架下,将遗传算法与卷积及TV-Tikhonov正则化反卷积方法结合,对Ni/Cr多层膜样品在旋转和非旋转条件下测量的俄歇(AES)深度谱进行了定量分析,确定了膜层间的界面粗糙度,重构的原始膜层结构与高分辨透射电镜测量的结果非常好的吻合。 展开更多
关键词 Ni/Cr多层膜 深度剖析定量分析 MRI模型 遗传算法 TV-Tikhonov正则化方法 卷积 反卷积
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