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工程表面粗糙度两用测量系统 被引量：5
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作者 谢峰 李建林 +1 位作者 谢铁邦 李柱 《工具技术》 北大核心 1999年第4期28-30,共3页
介绍了一种新型工程表面粗糙度两用测量系统的设计原理、仪器结构及测试结果。该系统可采用接触法和非接触法两种测量方式，接触法测量范围达±１００μｍ，最小分辨率为０．００５μｍ；非接触法测量范围达±２５０μｍ，最小... 介绍了一种新型工程表面粗糙度两用测量系统的设计原理、仪器结构及测试结果。该系统可采用接触法和非接触法两种测量方式，接触法测量范围达±１００μｍ，最小分辨率为０．００５μｍ；非接触法测量范围达±２５０μｍ，最小分辨率为０．０１μｍ。 展开更多
关键词 表面粗糙度 接触测量法 聚焦探测法 测面系统
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