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基于MEMS工艺的压电微泵的研究进展
1
作者
李以贵
王一
《应用技术学报》
2024年第1期123-132,共10页
在微纳米尺度流体控制的应用中,压电微泵因其简易结构,高精密度,高力密度,快速响应与良好环境适性成为研究的热点。从致动原理与流体控制方案角度对压电微泵的研究现状进行了归纳总结,介绍了其在药物供给、细胞分离、微量化学检测等领...
在微纳米尺度流体控制的应用中,压电微泵因其简易结构,高精密度,高力密度,快速响应与良好环境适性成为研究的热点。从致动原理与流体控制方案角度对压电微泵的研究现状进行了归纳总结,介绍了其在药物供给、细胞分离、微量化学检测等领域的应用,指出了压电微泵输出功率较小、输出具有蠕变特性、成本偏高等问题,并对压电微泵的发展方向进行了展望。
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关键词
压电微泵
致动原理
流体
控制
方案
腔室
阀
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职称材料
题名
基于MEMS工艺的压电微泵的研究进展
1
作者
李以贵
王一
机构
上海应用技术大学理学院
出处
《应用技术学报》
2024年第1期123-132,共10页
基金
国家自然科学基金项目(62104151)资助。
文摘
在微纳米尺度流体控制的应用中,压电微泵因其简易结构,高精密度,高力密度,快速响应与良好环境适性成为研究的热点。从致动原理与流体控制方案角度对压电微泵的研究现状进行了归纳总结,介绍了其在药物供给、细胞分离、微量化学检测等领域的应用,指出了压电微泵输出功率较小、输出具有蠕变特性、成本偏高等问题,并对压电微泵的发展方向进行了展望。
关键词
压电微泵
致动原理
流体
控制
方案
腔室
阀
Keywords
piezoelectric micropump
actuating principle
microfluidic control scheme
chamber
valve
分类号
TH706 [机械工程—仪器科学与技术]
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作者
出处
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1
基于MEMS工艺的压电微泵的研究进展
李以贵
王一
《应用技术学报》
2024
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