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新型MEMS流量传感器的设计与制作 被引量：2
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作者 许奎伟 李经民 +2 位作者 李名扬 丁来钱 郭利华 《机电技术》 2020年第5期18-21,共4页
根据鱼类机械侧线感知系统,设计了一种基于压电效应的新型MEMS流量传感器;利用分析软件进行流-固耦合仿真,优化了纤毛的关键尺寸和分布方式;利用微纳加工工艺制作了流量传感器的样机,并对传感器样机进行了初步测试。该微型MEMS传感器的... 根据鱼类机械侧线感知系统,设计了一种基于压电效应的新型MEMS流量传感器;利用分析软件进行流-固耦合仿真,优化了纤毛的关键尺寸和分布方式;利用微纳加工工艺制作了流量传感器的样机,并对传感器样机进行了初步测试。该微型MEMS传感器的可以实现微流体的流速测定,在水下机器人、生物医学和微流体设备的检测等领域,具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 人工侧线 流体感知 压电效应 MEMS传感器
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