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飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞秒时间分辨电子状态的观测研究
被引量:
1
1
作者
王谦豪
赵华龙
+2 位作者
杨小君
温文龙
李益
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第24期1-11,共11页
为研究飞秒激光加工硬脆透明材料时存在的“微裂纹”与“诱导条纹”等共性工艺问题,利用飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像技术,对飞秒激光多脉冲烧蚀石英玻璃过程中的电子动力学过程进行成像,分析了激光脉冲电离材料初期(700 fs之前)等离...
为研究飞秒激光加工硬脆透明材料时存在的“微裂纹”与“诱导条纹”等共性工艺问题,利用飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像技术,对飞秒激光多脉冲烧蚀石英玻璃过程中的电子动力学过程进行成像,分析了激光脉冲电离材料初期(700 fs之前)等离子体丝的演化情况。多脉冲诱导微结构的存在使成丝区域分布在微结构的两侧与光脉冲传播的轴线方向,前者主要是由微结构侧壁对光脉冲的折射造成的,而后者则是由微结构底面与侧壁形貌不同导致的光程差引起的。实验结果揭示了多脉冲加工过程中脉冲串诱导微结构对后续光场的重塑效应,该效应影响了等离子体成丝区域与能量沉积的分布,这是共性工艺问题产生的核心机制。
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关键词
激光技术
飞秒激光微加工
泵浦
探测
阴影
成像
多脉冲烧蚀
等离子体
原文传递
飞秒激光微加工中诱导空气等离子体的超快观测研究
2
作者
王谦豪
杨小君
+2 位作者
温文龙
赵华龙
李益
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第11期13-23,共11页
通过搭建飞秒时间分辨的泵浦探测阴影成像系统,研究了聚焦的飞秒激光脉冲产生空气等离子体的瞬态演化特性,并对不同聚焦条件下空气等离子体的时间特性进行了数值模拟。实验结果表明:聚焦的飞秒激光电离空气等离子体的电子瞬态密度峰值...
通过搭建飞秒时间分辨的泵浦探测阴影成像系统,研究了聚焦的飞秒激光脉冲产生空气等离子体的瞬态演化特性,并对不同聚焦条件下空气等离子体的时间特性进行了数值模拟。实验结果表明:聚焦的飞秒激光电离空气等离子体的电子瞬态密度峰值先升高后缓慢下降;同时得到了高时间分辨下的电离速度变化与电子数密度的空间分布。计算结果显示:更高的单脉冲能量对应更高的饱和电子数密度,高数值孔径聚焦条件下隧穿电离也更早出现,表明飞秒时间分辨的泵浦探测阴影成像可为超快激光微加工的瞬态过程提供观测手段,同时可对超快激光微加工过程中的等离子屏蔽效应提供机理解释与加工工艺的优化参考。
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关键词
超快激光
等离子体
泵浦
探测
阴影
成像
激光微加工
激光电离
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职称材料
飞秒激光诱导微结构中飞秒时间分辨等离子体的时空动力学过程(特邀)
3
作者
黄凤勤
沈天伦
+2 位作者
司金海
陈涛
侯洵
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期50-57,共8页
利用飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像技术研究了不同数值孔径显微物镜聚焦的单脉冲飞秒激光诱导熔融石英微结构中等离子体的瞬态时间-空间演化特性及瞬态电子密度空间分布与激光诱导微结构的联系。实验结果表明显微物镜聚焦的飞秒激光在...
利用飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像技术研究了不同数值孔径显微物镜聚焦的单脉冲飞秒激光诱导熔融石英微结构中等离子体的瞬态时间-空间演化特性及瞬态电子密度空间分布与激光诱导微结构的联系。实验结果表明显微物镜聚焦的飞秒激光在样品中诱导瞬态峰值电子密度随延时的增加先增大后逐渐减小。当显微物镜的数值孔径为0.45时,飞秒激光在样品中诱导瞬态峰值电子密度的空间位置随延时的增加变化不大,基本都在非线性焦点处,激光在样品中诱导的微结构是点状的;当显微物镜的数值孔径为0.3时,飞秒激光在样品中诱导瞬态峰值电子密度的空间位置随延时的增加逐渐向样品内部移动,激光诱导的微结构是长条状的。此外,不同数值孔径显微物镜聚焦飞秒激光在样品中诱导最大瞬态电子密度的空间位置与激光诱导微结构的位置一致,这说明飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像可用于超快激光微加工过程的在线检测,可为超快激光诱导材料微结构的定向调控及加工参数优化提供参考。
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关键词
飞秒激光
泵浦
探测
阴影
成像
等离子体
微纳加工
数值孔径
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职称材料
题名
飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞秒时间分辨电子状态的观测研究
被引量:
1
1
作者
王谦豪
赵华龙
杨小君
温文龙
李益
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所光子制造系统与应用研究中心
中国科学院大学
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第24期1-11,共11页
文摘
为研究飞秒激光加工硬脆透明材料时存在的“微裂纹”与“诱导条纹”等共性工艺问题,利用飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像技术,对飞秒激光多脉冲烧蚀石英玻璃过程中的电子动力学过程进行成像,分析了激光脉冲电离材料初期(700 fs之前)等离子体丝的演化情况。多脉冲诱导微结构的存在使成丝区域分布在微结构的两侧与光脉冲传播的轴线方向,前者主要是由微结构侧壁对光脉冲的折射造成的,而后者则是由微结构底面与侧壁形貌不同导致的光程差引起的。实验结果揭示了多脉冲加工过程中脉冲串诱导微结构对后续光场的重塑效应,该效应影响了等离子体成丝区域与能量沉积的分布,这是共性工艺问题产生的核心机制。
关键词
激光技术
飞秒激光微加工
泵浦
探测
阴影
成像
多脉冲烧蚀
等离子体
Keywords
laser technique
femtosecond laser micromachining
pump-probe shadow imaging
multi-pulse ablation
plasma
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
飞秒激光微加工中诱导空气等离子体的超快观测研究
2
作者
王谦豪
杨小君
温文龙
赵华龙
李益
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所光子制造系统与应用研究中心
中国科学院大学光电学院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第11期13-23,共11页
基金
陕西省自然科学基础研究计划项目(2022JQ-473)。
文摘
通过搭建飞秒时间分辨的泵浦探测阴影成像系统,研究了聚焦的飞秒激光脉冲产生空气等离子体的瞬态演化特性,并对不同聚焦条件下空气等离子体的时间特性进行了数值模拟。实验结果表明:聚焦的飞秒激光电离空气等离子体的电子瞬态密度峰值先升高后缓慢下降;同时得到了高时间分辨下的电离速度变化与电子数密度的空间分布。计算结果显示:更高的单脉冲能量对应更高的饱和电子数密度,高数值孔径聚焦条件下隧穿电离也更早出现,表明飞秒时间分辨的泵浦探测阴影成像可为超快激光微加工的瞬态过程提供观测手段,同时可对超快激光微加工过程中的等离子屏蔽效应提供机理解释与加工工艺的优化参考。
关键词
超快激光
等离子体
泵浦
探测
阴影
成像
激光微加工
激光电离
Keywords
ultrafast lasers
plasma
pump-probe shadow imaging
laser micromachining
laserionization
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
飞秒激光诱导微结构中飞秒时间分辨等离子体的时空动力学过程(特邀)
3
作者
黄凤勤
沈天伦
司金海
陈涛
侯洵
机构
西安交通大学电子科学与工程学院陕西省信息光子技术重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期50-57,共8页
基金
国家重点研发计划(No.2017YFB1104600)
陕西省重点研发计划项目(No.2017ZDXM-GY-120)
航空科学基金(No.20140870002)。
文摘
利用飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像技术研究了不同数值孔径显微物镜聚焦的单脉冲飞秒激光诱导熔融石英微结构中等离子体的瞬态时间-空间演化特性及瞬态电子密度空间分布与激光诱导微结构的联系。实验结果表明显微物镜聚焦的飞秒激光在样品中诱导瞬态峰值电子密度随延时的增加先增大后逐渐减小。当显微物镜的数值孔径为0.45时,飞秒激光在样品中诱导瞬态峰值电子密度的空间位置随延时的增加变化不大,基本都在非线性焦点处,激光在样品中诱导的微结构是点状的;当显微物镜的数值孔径为0.3时,飞秒激光在样品中诱导瞬态峰值电子密度的空间位置随延时的增加逐渐向样品内部移动,激光诱导的微结构是长条状的。此外,不同数值孔径显微物镜聚焦飞秒激光在样品中诱导最大瞬态电子密度的空间位置与激光诱导微结构的位置一致,这说明飞秒时间分辨泵浦探测阴影成像可用于超快激光微加工过程的在线检测,可为超快激光诱导材料微结构的定向调控及加工参数优化提供参考。
关键词
飞秒激光
泵浦
探测
阴影
成像
等离子体
微纳加工
数值孔径
Keywords
Femtosecond laser
Pump-probe shadowgraphy
Plasma
Micro-nano machining
Numerical aperture
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
飞秒激光多脉冲烧蚀过程中飞秒时间分辨电子状态的观测研究
王谦豪
赵华龙
杨小君
温文龙
李益
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
原文传递
2
飞秒激光微加工中诱导空气等离子体的超快观测研究
王谦豪
杨小君
温文龙
赵华龙
李益
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
3
飞秒激光诱导微结构中飞秒时间分辨等离子体的时空动力学过程(特邀)
黄凤勤
沈天伦
司金海
陈涛
侯洵
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
0
下载PDF
职称材料
已选择
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