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方形孔径微透镜阵列的泰伯效应
被引量：
6
1
作者
张宝昊
周素梅
+1 位作者
杨晓铭
郑三超
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期235-241,共7页
从理论和实验两方面讨论了方形孔径微透镜阵列的泰伯效应,利用传递函数法分析了该阵列的菲涅耳衍射区的光场复振幅分布,讨论了泰伯像成像的条件。实验中,在特定位置处可观察到三种交替出现的清晰成像,实验测得的成像距离与理论值吻合。...
从理论和实验两方面讨论了方形孔径微透镜阵列的泰伯效应,利用传递函数法分析了该阵列的菲涅耳衍射区的光场复振幅分布,讨论了泰伯像成像的条件。实验中,在特定位置处可观察到三种交替出现的清晰成像,实验测得的成像距离与理论值吻合。选用不同参数的方形孔径微透镜阵列,泰伯子像成像规律总体不变,当中心距大于孔径边长且小于两倍孔径边长时泰伯子像像元间出现交叠现象。方形孔径微透镜阵列在分数泰伯平面可观察到清晰的呈棋盘状分布的泰伯子像,这将拓展微透镜阵列的实际应用。
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关键词
光学器件
微透镜阵列
泰伯
效应
菲涅耳衍射
泰伯
子
像
原文传递
一种基于泰伯子像的光刻系统并由期望图案设计掩膜板的方法
2
作者
荣南楠
张宝昊
+3 位作者
何张登
刘帅
李凯强
吕俊君
《集成电路应用》
2019年第11期5-7,共3页
提出一种基于泰伯效应利用泰伯子像实现光刻,并利用反演光刻技术由期望图案设计掩膜板的方 法。泰伯子像是在分数倍泰伯距离上出现的一种像元倍增且呈棋盘状分布的自成像。根据菲涅耳衍射理 论分析可知,泰伯子像是两种泰伯像在同一平面...
提出一种基于泰伯效应利用泰伯子像实现光刻,并利用反演光刻技术由期望图案设计掩膜板的方 法。泰伯子像是在分数倍泰伯距离上出现的一种像元倍增且呈棋盘状分布的自成像。根据菲涅耳衍射理 论分析可知,泰伯子像是两种泰伯像在同一平面的叠加,像元数量是两种泰伯像像元之和,即像元倍 增,由于叠加的两种泰伯像相位差 180°,呈现出棋盘状分布的现象。基于泰伯子像的成像现象,研究一 种掩膜板设计方法,针对一些特定的工艺窗口,将其转化为期望图案,由期望图案利用反演光刻技术设 计掩膜板图案。将期望的图案作为泰伯子像的结果利用反演算法推算出掩膜板的图案分布以及参数。
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关键词
泰伯
效应
泰伯
子
像
掩膜板
Talbot
光刻机
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职称材料
题名
方形孔径微透镜阵列的泰伯效应
被引量：
6
1
作者
张宝昊
周素梅
杨晓铭
郑三超
机构
西南大学物理科学与技术学院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期235-241,共7页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金(XDJK2016C123)
重庆市基础与前沿研究计划项目(cstc2013jcyjA00016)
重庆市研究生科研创新项目(CYS14052)
文摘
从理论和实验两方面讨论了方形孔径微透镜阵列的泰伯效应,利用传递函数法分析了该阵列的菲涅耳衍射区的光场复振幅分布,讨论了泰伯像成像的条件。实验中,在特定位置处可观察到三种交替出现的清晰成像,实验测得的成像距离与理论值吻合。选用不同参数的方形孔径微透镜阵列,泰伯子像成像规律总体不变,当中心距大于孔径边长且小于两倍孔径边长时泰伯子像像元间出现交叠现象。方形孔径微透镜阵列在分数泰伯平面可观察到清晰的呈棋盘状分布的泰伯子像,这将拓展微透镜阵列的实际应用。
关键词
光学器件
微透镜阵列
泰伯
效应
菲涅耳衍射
泰伯
子
像
Keywords
optical devices
microlens array
Talbot effect
Fresnel diffraction
Talbot sub-image
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
一种基于泰伯子像的光刻系统并由期望图案设计掩膜板的方法
2
作者
荣南楠
张宝昊
何张登
刘帅
李凯强
吕俊君
机构
重庆京东方光电科技有限公司
出处
《集成电路应用》
2019年第11期5-7,共3页
基金
重庆市科技企业科技创新课题项目
文摘
提出一种基于泰伯效应利用泰伯子像实现光刻,并利用反演光刻技术由期望图案设计掩膜板的方 法。泰伯子像是在分数倍泰伯距离上出现的一种像元倍增且呈棋盘状分布的自成像。根据菲涅耳衍射理 论分析可知,泰伯子像是两种泰伯像在同一平面的叠加,像元数量是两种泰伯像像元之和,即像元倍 增,由于叠加的两种泰伯像相位差 180°,呈现出棋盘状分布的现象。基于泰伯子像的成像现象,研究一 种掩膜板设计方法,针对一些特定的工艺窗口,将其转化为期望图案,由期望图案利用反演光刻技术设 计掩膜板图案。将期望的图案作为泰伯子像的结果利用反演算法推算出掩膜板的图案分布以及参数。
关键词
泰伯
效应
泰伯
子
像
掩膜板
Talbot
光刻机
Keywords
Talbot effect
Talbot sub-image
mask
Talbot
photolithography.
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN383.1
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
方形孔径微透镜阵列的泰伯效应
张宝昊
周素梅
杨晓铭
郑三超
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
6
原文传递
2
一种基于泰伯子像的光刻系统并由期望图案设计掩膜板的方法
荣南楠
张宝昊
何张登
刘帅
李凯强
吕俊君
《集成电路应用》
2019
0
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职称材料
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