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加窗加权插值离散傅里叶变换在波长扫描干涉仪中的应用
被引量：
3
1
作者
刘晓军
周广
+1 位作者
卢文龙
郭佳辉
《华中科技大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第6期41-47,共7页
针对现有的波长扫描干涉仪在采样范围内信号周期数较少时含有比较严重的信号频谱泄漏,导致较大的恢复误差的问题,提出一种基于加窗加权插值离散傅里叶变换(DFT)的频率估计的光程差恢复算法,该算法在信号采样长度为2~3个周期时仍能很好...
针对现有的波长扫描干涉仪在采样范围内信号周期数较少时含有比较严重的信号频谱泄漏,导致较大的恢复误差的问题,提出一种基于加窗加权插值离散傅里叶变换(DFT)的频率估计的光程差恢复算法,该算法在信号采样长度为2~3个周期时仍能很好地抑制频谱泄漏.仿真结果显示:当周期数较少时,该算法恢复精度相比于现有的傅里叶变换相位斜率法有很大提高.对平面镜及单刻线标准样板的测量实验显示:加窗加权插值离散傅里叶变换算法达到约10 nm的恢复精度,进一步验证了该算法在波长扫描干涉仪的光程差恢复中有很好的应用价值.
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关键词
波长
扫描干涉仪
傅里叶变换相位斜率法
加窗
插值离散傅里叶变换
频谱泄漏
原文传递
题名
加窗加权插值离散傅里叶变换在波长扫描干涉仪中的应用
被引量：
3
1
作者
刘晓军
周广
卢文龙
郭佳辉
机构
华中科技大学机械科学与工程学院
出处
《华中科技大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第6期41-47,共7页
基金
国家自然科学基金面上项目(51975233)。
文摘
针对现有的波长扫描干涉仪在采样范围内信号周期数较少时含有比较严重的信号频谱泄漏,导致较大的恢复误差的问题,提出一种基于加窗加权插值离散傅里叶变换(DFT)的频率估计的光程差恢复算法,该算法在信号采样长度为2~3个周期时仍能很好地抑制频谱泄漏.仿真结果显示:当周期数较少时,该算法恢复精度相比于现有的傅里叶变换相位斜率法有很大提高.对平面镜及单刻线标准样板的测量实验显示:加窗加权插值离散傅里叶变换算法达到约10 nm的恢复精度,进一步验证了该算法在波长扫描干涉仪的光程差恢复中有很好的应用价值.
关键词
波长
扫描干涉仪
傅里叶变换相位斜率法
加窗
插值离散傅里叶变换
频谱泄漏
Keywords
wavelength scanning interferometer
Fourier transform phase slope method
windows
interpolation discrete Fourier transform(DFT)
spectrum leakage
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
加窗加权插值离散傅里叶变换在波长扫描干涉仪中的应用
刘晓军
周广
卢文龙
郭佳辉
《华中科技大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
3
原文传递
已选择
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参考文献
引证文献
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