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基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统的研究
被引量：
7
1
作者
赵可强
谢芳
+2 位作者
马森
王韵致
陈亮
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期148-155,共8页
提出一种基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统。由宽带光源发出的光通过光纤迈克耳孙干涉仪获取被测量信息,色散光栅将宽谱干涉光束色散成波长在空间连续分布的光片,由线阵CCD探测。将线阵CCD的各个像元探测到的各个波长干涉信号...
提出一种基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统。由宽带光源发出的光通过光纤迈克耳孙干涉仪获取被测量信息,色散光栅将宽谱干涉光束色散成波长在空间连续分布的光片,由线阵CCD探测。将线阵CCD的各个像元探测到的各个波长干涉信号转换成对应的波数干涉信号。对于波数干涉信号,相邻两个干涉信号峰值之间的波数变化量与干涉仪光程差的绝对值呈正比。因此,利用此测量系统可实现对台阶高度等物理量的绝对测量。利用缩短测量系统中光纤迈克耳孙干涉仪的两个干涉臂的长度减小环境干扰对测量系统的影响,获得高测量精度。本测量系统的测量分辨率为6.03 nm。对一个高度为50μm的台阶重复10次测量,测量结果的标准差为6.8 nm。
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关键词
测量
低相干干涉测量
波数
分辨
台阶高度测量
光学色散
原文传递
干涉型光谱仪高精度光谱定标方法
被引量：
1
2
作者
林军
邵俊
+2 位作者
宋超宇
李运伟
雷玉飞
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期3534-3537,共4页
干涉型光谱仪获取光谱的干涉数据信息,数据处理过程中将干涉信息进行一系列光谱复原,最终得到光谱信息数据。光谱定标处理是干涉型光谱仪光谱反演的重要环节,直接决定了光谱信息的可用性和准确度。介绍了干涉型光谱仪光谱定标的基本思路...
干涉型光谱仪获取光谱的干涉数据信息,数据处理过程中将干涉信息进行一系列光谱复原,最终得到光谱信息数据。光谱定标处理是干涉型光谱仪光谱反演的重要环节,直接决定了光谱信息的可用性和准确度。介绍了干涉型光谱仪光谱定标的基本思路,并在此基础上提出了一种基于总光程差精确解算的光谱定标方法。由于干涉型光谱仪总光程差难以精确测量,而总光程差解算是光谱定标的核心和关键,基于此情况,提出了遍历总光程差,分析光谱漂移,最终确定干涉型光谱仪总光程差的总体思路。定标处理中将所有总光程差可能值带入光谱复原流程,进行光谱复原与分析,最终得到光谱漂移最小的总光程差,即为总光程差解算值。该方法可以精确解算干涉型光谱仪的总光程差,进而对干涉型光谱仪进行高精度光谱定标。同时介绍了详细、完整的光谱定标流程,最终得到干涉型光谱仪各个波段的中心波长值、波数分辨率等。最后设计了典型的干涉型光谱仪主要参数,并生成了该光谱仪的模拟干涉数据,利用该方法对模拟数据进行光谱定标,并对光谱定标结果进行了精度分析和验证,证明该方法波数分辨率定标精度优于0.000 25cm-1。
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关键词
干涉型光谱仪
光谱定标
总光程差
波数
分辨
率
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职称材料
题名
基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统的研究
被引量：
7
1
作者
赵可强
谢芳
马森
王韵致
陈亮
机构
北京交通大学理学院物理系
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期148-155,共8页
基金
国家自然科学基金(50975022)
北京市自然科学基金(3132033)
文摘
提出一种基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统。由宽带光源发出的光通过光纤迈克耳孙干涉仪获取被测量信息,色散光栅将宽谱干涉光束色散成波长在空间连续分布的光片,由线阵CCD探测。将线阵CCD的各个像元探测到的各个波长干涉信号转换成对应的波数干涉信号。对于波数干涉信号,相邻两个干涉信号峰值之间的波数变化量与干涉仪光程差的绝对值呈正比。因此,利用此测量系统可实现对台阶高度等物理量的绝对测量。利用缩短测量系统中光纤迈克耳孙干涉仪的两个干涉臂的长度减小环境干扰对测量系统的影响,获得高测量精度。本测量系统的测量分辨率为6.03 nm。对一个高度为50μm的台阶重复10次测量,测量结果的标准差为6.8 nm。
关键词
测量
低相干干涉测量
波数
分辨
台阶高度测量
光学色散
Keywords
measurement
low coherence interferometry
wavenumber resolved
step height measurement
optical dispersion
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
原文传递
题名
干涉型光谱仪高精度光谱定标方法
被引量：
1
2
作者
林军
邵俊
宋超宇
李运伟
雷玉飞
机构
中国资源卫星应用中心
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期3534-3537,共4页
基金
国家自然科学基金项目(41401424)资助
文摘
干涉型光谱仪获取光谱的干涉数据信息,数据处理过程中将干涉信息进行一系列光谱复原,最终得到光谱信息数据。光谱定标处理是干涉型光谱仪光谱反演的重要环节,直接决定了光谱信息的可用性和准确度。介绍了干涉型光谱仪光谱定标的基本思路,并在此基础上提出了一种基于总光程差精确解算的光谱定标方法。由于干涉型光谱仪总光程差难以精确测量,而总光程差解算是光谱定标的核心和关键,基于此情况,提出了遍历总光程差,分析光谱漂移,最终确定干涉型光谱仪总光程差的总体思路。定标处理中将所有总光程差可能值带入光谱复原流程,进行光谱复原与分析,最终得到光谱漂移最小的总光程差,即为总光程差解算值。该方法可以精确解算干涉型光谱仪的总光程差,进而对干涉型光谱仪进行高精度光谱定标。同时介绍了详细、完整的光谱定标流程,最终得到干涉型光谱仪各个波段的中心波长值、波数分辨率等。最后设计了典型的干涉型光谱仪主要参数,并生成了该光谱仪的模拟干涉数据,利用该方法对模拟数据进行光谱定标,并对光谱定标结果进行了精度分析和验证,证明该方法波数分辨率定标精度优于0.000 25cm-1。
关键词
干涉型光谱仪
光谱定标
总光程差
波数
分辨
率
Keywords
Fourier interferometric spectrometer
Spectral calibration
Total optical path difference
Wavenumber resolution
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统的研究
赵可强
谢芳
马森
王韵致
陈亮
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
7
原文传递
2
干涉型光谱仪高精度光谱定标方法
林军
邵俊
宋超宇
李运伟
雷玉飞
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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