期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作
被引量：
6
1
作者
冯飞
焦继伟
+1 位作者
熊斌
王跃林
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期125-130,共6页
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双...
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析 ,得出了可动微镜的最大热 机械灵敏度、机械 光灵敏度及其温度响应分别为 6 .4 7× 10 -9m/K、1.5 3× 10 8m-1、2 .0 5× 10 -4.对系统噪声分析表明 :在目前的设计中 ,系统的噪声等效温差 (NETD)为 5 .1K ,而其极限值有望达到 5 8mK .采用体硅MEMS工艺 ,制作出了 5 0× 5 0的Fabry Perot微腔列阵 .实验表明 ,在红外辐射作用下 ,可动微镜有明显的位移 。
展开更多
关键词
徽电子机械技术
法布里-泊罗
微
腔
红外
探测器
列阵
噪声等效温差
光读出热成像
机械-光灵敏度
热-机械灵敏度
下载PDF
职称材料
题名
一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作
被引量：
6
1
作者
冯飞
焦继伟
熊斌
王跃林
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期125-130,共6页
基金
国家"九七三"集成微光机电系统研究资助项目 (G19990 3 3 10 1)
文摘
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析 ,得出了可动微镜的最大热 机械灵敏度、机械 光灵敏度及其温度响应分别为 6 .4 7× 10 -9m/K、1.5 3× 10 8m-1、2 .0 5× 10 -4.对系统噪声分析表明 :在目前的设计中 ,系统的噪声等效温差 (NETD)为 5 .1K ,而其极限值有望达到 5 8mK .采用体硅MEMS工艺 ,制作出了 5 0× 5 0的Fabry Perot微腔列阵 .实验表明 ,在红外辐射作用下 ,可动微镜有明显的位移 。
关键词
徽电子机械技术
法布里-泊罗
微
腔
红外
探测器
列阵
噪声等效温差
光读出热成像
机械-光灵敏度
热-机械灵敏度
Keywords
micro-electro-mechanical system(MEMS)
optically readable thermal imaging
Fabry-Perot Micro-Cavity Infrared Detector Array
noise-equipment temperature difference
分类号
TN216 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作
冯飞
焦继伟
熊斌
王跃林
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
6
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
