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基于MEMS工艺的硅基四电极电导率与温度集成传感器芯片的研制 被引量：5
1
作者 张高燕 吴少华 赵湛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期966-969,共4页
水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义。基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度... 水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义。基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度部分和电导率部分进行测试,得到了较好的测量结果。良好的线性曲线有利于后续的标定与应用。这款集成芯片避免了已有此类集成芯片的复杂工艺过程,通过批量制造技术可以使传感器成本降低,一致性提高。 展开更多
关键词 硅基集成传感器芯片 水参数监测 MEMS 四电极式电导率测量
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基于STM32的水域监测系统实验平台设计 被引量：1
2
作者 聂影影 《电子技术（上海）》 2021年第7期294-296,共3页
基于嵌入式课程内容,设计水域监测系统的综合实验,该实验平台采用STM32F103ZET6作为核心控制,采用防水型温度传感器DS18bB20测水温,采用TDS传感器模块反映水质情况,采用浊度传感器模块反映水的污浊程度,利用QT设计上位机界面,显示水环... 基于嵌入式课程内容,设计水域监测系统的综合实验,该实验平台采用STM32F103ZET6作为核心控制,采用防水型温度传感器DS18bB20测水温,采用TDS传感器模块反映水质情况,采用浊度传感器模块反映水的污浊程度,利用QT设计上位机界面,显示水环境参数。 展开更多
关键词 综合实验设计 STM32 水参数监测
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